The utility model discloses a gas heating device for a gas annealing furnace, which comprises a gas chamber, a heating layer, a pressure opening, an oxygen cylinder and a gas cylinder. The heating layer is arranged outside the gas chamber, a tail pipe is arranged above the right end of the heating layer, the tail pipe is connected with the exhaust pipe of the annealing furnace, a reciprocating pipe is arranged inside the heating layer, the reciprocating pipe is wound around the outside of the gas chamber, and the right end of the gas chamber is arranged. There are fans, pressure nozzles at the left end of the chamber, heaters at the inside of the pressure nozzle, nozzles at the left end of the pressure nozzle, temperature monitors at the bottom of the nozzle, gas pipes at the bottom of the heater, oxygen cylinders and gas cylinders at the bottom of the gas pipe, gas flow valves at the connecting points of the gas pipe, oxygen cylinders and gas cylinders respectively. The gas heating device has simple structure. It is easy to operate and safe to use. It can automatically control the temperature of internal gas. It can reduce the waste of fuel by utilizing the heat in tail gas. It plays the role of energy saving and environmental protection. It is especially used in gas heating of gas annealing furnace.
【技术实现步骤摘要】
一种燃气退火炉的气体加热装置
本技术涉及燃气退火炉
,尤其是涉及一种燃气退火炉的气体加热装置。
技术介绍
退火是一种金属热处理工艺,指的是将金属缓慢加热到一定温度,保持足够时间,然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度,改善切削加工性;消除残余应力,稳定尺寸,减少变形与裂纹倾向;细化晶粒,调整组织,消除组织缺陷。准确的说,退火是一种对材料的热处理工艺,包括金属材料、非金属材料。而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构。传统退火炉的废气管道和保护气管道是两条独立的管道。退火炉产生的废气温度高达几百摄氏度,没有得到有效的利用。而相对低温的保护气氛注入炉中会造成炉内温度降低,为保持炉内的高温状态,会燃烧更多的燃气,导致燃气消耗增加。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种燃气退火炉的气体加热装置。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种燃气退火炉的气体加热装置,包括气室、加热层、加压口、氧气瓶和燃气瓶,所述加热层设置在所述气室外部,所述加热层右端上方设置有尾气管,所述尾气管与退 ...
【技术保护点】
1.一种燃气退火炉的气体加热装置,包括气室(11)、加热层(10)、加压口(1)、氧气瓶(12)和燃气瓶(13),其特征在于,所述加热层(10)设置在所述气室(11)外部,所述加热层(10)右端上方设置有尾气管(8),所述尾气管(8)与退火炉排气管连接在一起,所述加热层(10)内部设置有往复管道(9),所述往复管道(9)缠绕在所述气室(11)外部,所述气室(11)右端设置有风扇(7),所述气室(11)左端设置有所述加压口(1),所述加压口(1)内部设置有加热器(2),所述加压口(1)左端设置有喷头(3),所述喷头(3)下方设置有温度监测仪(4),所述加热器(2)下方连接有气体管(5),所述气体管(5)下端连接有所述氧气瓶(12)和所述燃气瓶(13),所述气体管(5)与所述氧气瓶(12)和所述燃气瓶(13)连接处分别设置有气体流量阀(6)。
【技术特征摘要】
1.一种燃气退火炉的气体加热装置,包括气室(11)、加热层(10)、加压口(1)、氧气瓶(12)和燃气瓶(13),其特征在于,所述加热层(10)设置在所述气室(11)外部,所述加热层(10)右端上方设置有尾气管(8),所述尾气管(8)与退火炉排气管连接在一起,所述加热层(10)内部设置有往复管道(9),所述往复管道(9)缠绕在所述气室(11)外部,所述气室(11)右端设置有风扇(7),所述气室(11)左端设置有所述加压口(1),所述加压口(1)内部设置有加热器(2),所述加压口(1)左端设置有喷头(3),所述喷头(3)下方设置有温度监测仪(4),所述加热器(2)下方连接有气体管(5),所述气体管(5)下端连接有所述氧气瓶(12)和所述燃气瓶(13),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵烨,
申请(专利权)人:大连烨龙特钢有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。