【技术实现步骤摘要】
一种流体泵及激振元件
本专利技术属于流体输送设备
，具体涉及一种流体泵。
技术介绍
微型流体泵在医药生物、精细化工、航空航天、微机电系统等领域有着广泛的应用需求。现今随着应用目标的电子产品通常都具有小型化的趋势，这也要求微型流体泵在保证其输出能力(输出压力和输出流量)的同时更加小型化或是在不大型化的前提下提高其输出能力。目前的气体微泵主要有利用电机凸轮机构驱动的电磁隔膜泵、利用压电振子驱动的压电隔膜泵以及利用挤压膜效应的微泵。压电泵是向压电元件施加交变电压使隔膜弯曲变形的隔膜泵，而弯曲变形的隔膜具有结构简单、轻薄、且耗电量低等优点。其中，电磁隔膜泵在实际应用过程中会存在结构复杂、成本高、噪声大等问题；而压电隔膜泵在出入口处都设有单向阀，单向阀长期使用可靠性会降低，而且在使用过程中也会有灰尘等异物附着在阀上使压电泵不能充分输送流体；单向阀上附着灰尘等异物会造成压电驱动元件的驱动频率的升高，而单向阀又会由于滞后效应无法在高频下工作使压电泵失效；现有的利用挤压膜效应的压电微泵的结构也存在着极限工作压力不足、进一步提升其输出能力的限度。
技术实现思路
本专利技术的目的是...
【技术保护点】
1.一种流体泵，其特征在于：包括：压电振子(10)，所述压电振子(10)包括振动基板(2)和设于所述振动基板(2)一侧的压电元件(1)；振动隔膜(3)，所述振动隔膜(3)配置于所述振动基板(2)的另一侧，所述振动基板(2)靠近所述振动隔膜(3)的一侧设有沉腔(21)；平面部(4)，所述平面部(4)以靠近且相对的方式配置于所述振动隔膜(3)远离振动基板(2)的一侧，所述平面部(4)与所述沉腔相对的区域内至少设有一个通气孔(41)；通过对所述压电元件(1)施加一定频率的交变电压，振动基板(2)发生弯曲变形，使振动隔膜(3)产生谐振并随着振动基板(2)朝着相同的方向弯曲变形，从所...
【技术特征摘要】
1.一种流体泵，其特征在于：包括：压电振子(10)，所述压电振子(10)包括振动基板(2)和设于所述振动基板(2)一侧的压电元件(1)；振动隔膜(3)，所述振动隔膜(3)配置于所述振动基板(2)的另一侧，所述振动基板(2)靠近所述振动隔膜(3)的一侧设有沉腔(21)；平面部(4)，所述平面部(4)以靠近且相对的方式配置于所述振动隔膜(3)远离振动基板(2)的一侧，所述平面部(4)与所述沉腔相对的区域内至少设有一个通气孔(41)；通过对所述压电元件(1)施加一定频率的交变电压，振动基板(2)发生弯曲变形，使振动隔膜(3)产生谐振并随着振动基板(2)朝着相同的方向弯曲变形，从所述通气孔(41)吸入流体，从通气孔(41)的周向方向排出。2.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述平面部(4)与所述沉腔(21)对应的部分为弹性板，所述平面部(4)位于所述沉腔(21)的周向部分为刚性板或者做固定约束。3.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述振动隔膜(3)固定于所述振动基板(2)，所述振动隔膜(3)与所述沉腔(21)相对的部分能够弯曲振动，所述振动隔膜(3)位于所述沉腔(21)的周向部分作固定约束。4.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述压电元件(1)和振动基板(2)对中设置并粘接为一体构成压电振子(10)，所述压电振子(10)从其中心部位到周边部位能够发生弯曲振动。5.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述沉腔(21)置于所述振动基板(2)的中心部位，所述沉腔(21)为圆形。6.根据权利要求1所述的一种流体泵，其特征在于：所述流体泵还包括支撑板(5)和上盖板(6)，支撑板(5)设置在平面部(4)上，且二者密封连接，上盖板(6)设置在支撑板(5)上，同样地上盖板(6)与支撑板(5)也为密封连接，从而构建了空腔(51)，其中，...
【专利技术属性】
技术研发人员：周京京，钟德坤，焦会萌，韦东东，吴垠，
申请(专利权)人：常州威图流体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。