下载一种流体泵及激振元件的技术资料

文档序号:21001077

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一种流体泵及激振元件,本发明属于流体输送技术领域,涉及一种流体泵,包括:压电振子,所述压电振子包括振动基板和设于所述振动基板一侧的压电元件;振动隔膜,所述振动隔膜配置于所述振动基板的另一侧,所述振动基板靠近所述振动隔膜的一侧设有沉腔;平面部...
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