一种气体介质阻挡放电等离子体产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种气体介质阻挡放电等离子体产生装置，包括供电模块、放电间距调节器、放电腔体、高压电极、地电极、气流装置及供气模块。放电腔体内具有环境气体。高压电极与地电极彼此正对地设在放电腔体内，其间具有电极间隙，高压电极固定连接至放电间距调节器且与供电模块相连，可通过调节放电间距调节器调整电极间隙。气流装置包含与供气模块相连的工作气体通路和绝缘气体通路，用于向电极间隙平行通入绝缘气体和工作气体，绝缘气体和环境气体的击穿电压比工作气体击穿电压高。本发明专利技术移除了传统介质阻挡放电的固体介质，用气体绝缘层替代，避免了固体介质表面电荷累积影响，可应用于等离子体点火助燃和多层气体介质击穿等领域。

A Gas Dielectric Barrier Discharge Plasma Generator

The invention discloses a gas dielectric barrier discharge plasma generating device, which comprises a power supply module, a spacing regulator, a discharge chamber, a high voltage electrode, a ground electrode, a gas flow device and a gas supply module. There is ambient gas in the discharge chamber. The high voltage electrode and the ground electrode are positively positioned in the discharge chamber, and there is an electrode gap between them. The high voltage electrode is fixed to the spacing regulator and connected to the power supply module. The electrode gap can be adjusted by adjusting the spacing regulator. The air flow device consists of working gas path and insulating gas path connected with the gas supply module. It is used for parallel access of insulating gas and working gas to the electrode gap. The breakdown voltage of insulating gas and environmental gas is higher than that of working gas. The invention removes the solid medium of traditional dielectric barrier discharge, replaces it with gas insulating layer, avoids the effect of charge accumulation on the surface of solid medium, and can be applied in the fields of plasma ignition, combustion-supporting and multi-layer gas dielectric breakdown, etc.

【技术实现步骤摘要】
一种气体介质阻挡放电等离子体产生装置
本专利技术属于气体放电与放电等离子体
，特别涉及了一种气体介质阻挡放电等离子体产生装置。
技术介绍
等离子体是物质的第四态，是由大量正负带电粒子和中性粒子组成的，并表现出集体行为的一种中性集合体。根据电离程度的不同可以分为热平衡等离子体和低温等离子体。介质阻挡放电(DBD,DielectricBarrierDischarge)是工业上产生低温等离子体的主要手段。它可以在大气压或高于大气压条件下，方便地产生大面积的低温等离子体，不需要真空设备就能在较低的温度下，获得化学反应所需的活性粒子，在近百年的研究中，DBD被广泛应用于材料的表面处理、臭氧合成、紫外光源、环境保护等领域。DBD基本的电极结构是在两个金属电极之间的放电间隙上插入一个或者多个绝缘介质层。DBD中通常采用固体绝缘介质材料，如玻璃、有机薄膜、陶瓷等，绝缘介质层主要起到防止放电电流增长过快，阻止发生弧光甚至火花放电的作用。气体介质阻挡放电(GBD，Gas-confinedBarrierDischarge)是以气体作为绝缘介质，将放电气体与电极隔离开的一种放电形式。实质上就是以气体介本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体介质阻挡放电等离子体产生装置，其特征在于，包括供电模块、放电间距调节器、放电腔体、高压电极、地电极、气流装置及供气模块，其中，所述放电腔体封闭，设有进气口、出气口，用来设置放电时的环境气体；所述供电模块用于供应高压电，其电连接至放电间距调节器；放电间距调节器穿过放电腔体的腔壁伸入放电腔体内部，与设在放电腔体内的高压电极电连接且固定连接，地电极固定设在放电腔体内且接地，高压电极与地电极彼此正对且具有间隙，在放电间距调节器的调节下，高压电极在放电腔体内移动，从而改变高压电极与地电极之间的间隙；气流装置穿过放电腔体的腔壁伸入放电腔体内部，气流装置包含沿平行于电极表面的轴线延伸的工作气体通...

【技术特征摘要】
2018.07.20 CN 20181080067331.一种气体介质阻挡放电等离子体产生装置，其特征在于，包括供电模块、放电间距调节器、放电腔体、高压电极、地电极、气流装置及供气模块，其中，所述放电腔体封闭，设有进气口、出气口，用来设置放电时的环境气体；所述供电模块用于供应高压电，其电连接至放电间距调节器；放电间距调节器穿过放电腔体的腔壁伸入放电腔体内部，与设在放电腔体内的高压电极电连接且固定连接，地电极固定设在放电腔体内且接地，高压电极与地电极彼此正对且具有间隙，在放电间距调节器的调节下，高压电极在放电腔体内移动，从而改变高压电极与地电极之间的间隙；气流装置穿过放电腔体的腔壁伸入放电腔体内部，气流装置包含沿平行于电极表面的轴线延伸的工作气体通路，所述工作气体通路的一端靠近电极间隙并且开放以作为气体出口，另一端设有与供气模块连接的气体入口，工作气体通路的气体出口在电极间隙宽度方向上与高压电极间隔开；供气模块包括存储工作气体的工作气体存储器，将所述工作气体存储器连接至所述工作气体通路的气体入口的气体导管以及与气体导管相应的流量控制器，其中，所述流量控制器控制工作气体的输出流量，使得工作气体在高压电极与地电极之间的间隙中流动且不接触高压电极；其中，环境气体的击穿电压比工作气体击穿电压高。2.根据权利要求1所述的气体介质阻挡放电等离子体产生装置，其特征在于：气流装置还包括与工作气体通路相邻分层排列且沿平行于电极表面的轴线延伸的一个以上绝缘气体通路，绝缘气体通路的一端靠近电极间隙并且开放以作为气体出口，另一端设有与供气模块连接的气体入口，绝缘气体通路的气体出口在电极间隙宽度方向上介于工作气体通路的气体出口与高压电极之间，绝缘气体通路的气体出口在电极宽度方向上的尺寸不小于工作气体通路的气体出口在电极宽度方向上的尺寸，工作气体通路和绝缘气体通路...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴淑群，刘雪原，刘畅，董熙，陈文，张潮海，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32