一种集成电路掩模版用新型多片盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集成电路掩模版用新型多片盒，包括盒体、盒盖和减震条，盒体的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡头，盒盖的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡口，盒体的内侧固定连接有四个限位块，四个限位块之间固定安装有塑胶垫，盒盖的内壁上均匀分布有若干限位条，盒盖顶部设有减震条，减震条的两端均设有两个矩形槽，减震条的中部设有若干圆形槽，减震条的两个相对侧边上分别固定连接有若干第一翘起部和若干第二翘起部，矩形槽套接在矩形卡柱上，圆形槽套接在圆形卡柱上，本实用新型专利技术一种集成电路掩模版用新型多片盒，将盒体卡槽原有硬塑料材质改成为橡胶材质，使得集成电路掩模版运输途中不易撞伤。

A New Multiplex Box for Integrated Circuit Mask

The utility model discloses a new type multi-chip box for integrated circuit mask, which comprises a box body, a box cover and a shock absorber bar. Two opposite sides of the box body are fixedly connected with one chuck, and two opposite sides of the box cover are fixedly connected with one chuck respectively. The inner side of the box body is fixedly connected with four limit blocks. Plastic pads are fixed between the four limit blocks and the inner side of the box cover is fixed. There are several limit strips evenly distributed on the wall, two rectangular grooves at the top of the box cover, two rectangular grooves at both ends of the shock absorber strip, and several circular grooves at the middle of the shock absorber strip. The two opposite sides of the shock absorber strip are fixedly connected with a number of first and second warping parts respectively. The rectangular groove is sleeved on the rectangular clamping column, and the circular groove is sleeved on the circular clamping column. A new type of multi-chip box for integrated circuit mask is introduced. The original hard plastic material of the box chute is changed into rubber material, which makes the integrated circuit mask not easy to be damaged during transportation.

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路掩模版用新型多片盒
本技术涉及一种多片盒，特别涉及一种集成电路掩模版用新型多片盒，属于集成电路存储设备

技术介绍
在半导体、集成电路、光伏产品等电子产品制造过程中，需要对以半导体晶片和光掩模版为代表的各种基板进行光刻处理，而掩模的光刻技术就是将客户的图形文件写入到掩模版的光刻胶上，然后进行显影、蚀刻，由于光刻工艺对污染很敏感，需要严格控制光刻工艺的洁净度，通常掩模版都需存放在多片盒中，以免传输过程中受到损坏以及污染，而现有多片盒采用硬塑料材质的卡槽作为减震材料，而硬塑料材质的卡槽无法有效确保光掩模版的安全，极容易导致光掩模版受到剐蹭和损伤。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种集成电路掩模版用新型多片盒。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术一种集成电路掩模版用新型多片盒，包括盒体、盒盖和减震条，所述盒体的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡头，所述盒盖的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡口，所述盒体的内侧固定连接有四个限位块，四个所述限位块之间固定安装有塑胶垫，所述盒盖的内壁上均匀分布有若干限位条，所述盒盖顶部设有减震条，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路掩模版用新型多片盒，包括盒体(1)、盒盖(2)和减震条(3)，其特征在于，所述盒体(1)的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡头(5)，所述盒盖(2)的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡口(4)，所述盒体(1)的内侧固定连接有四个限位块(6)，四个所述限位块(6)之间固定安装有塑胶垫(7)，所述盒盖(2)的内壁上均匀分布有若干限位条(8)，所述盒盖(2)顶部设有减震条(3)，所述减震条(3)的两端均设有两个矩形槽(11)，所述减震条(3)的中部设有若干圆形槽(12)，所述减震条(3)的两个相对侧边上分别固定连接有若干第一翘起部(13)和若干第二翘起部(14)，所述矩形槽(11)套...

【技术特征摘要】
1.一种集成电路掩模版用新型多片盒，包括盒体(1)、盒盖(2)和减震条(3)，其特征在于，所述盒体(1)的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡头(5)，所述盒盖(2)的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡口(4)，所述盒体(1)的内侧固定连接有四个限位块(6)，四个所述限位块(6)之间固定安装有塑胶垫(7)，所述盒盖(2)的内壁上均匀分布有若干限位条(8)，所述盒盖(2)顶部设有减震条(3)，所述减震条(3)的两端均设有两个矩形槽(11)，所述减震条(3)的中部设有若干圆形槽(12)，所述减震条(3)的两个相对侧边上分别固定连接有若干第一翘起部(13)和若干第二翘起部(14)，所述矩形槽(11)套接在矩形卡柱(9)上，所述圆形槽(12)套接在圆形卡柱(10)上，所述矩形卡柱(9)和圆形卡柱(10)均与盒盖(2)固定连接，所述第一翘起部(13)的上侧设有若干凸起(15)，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘浩，尤春，刘维维，朱希进，杨长华，莫金圻，韦庆宇，张月圆，薛文卿，陈青，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32