The invention belongs to the technical field of vacuum reaction equipment, and specifically relates to a vacuum breaking device for vacuum reaction equipment. The device comprises a first end face and a second end face. The first end face and the second end face are provided with a number of air holes. The air holes on the first end face and the second end face are all connected. When the vacuum breaks, the device is used in vacuum reaction equipment. In the cavity, the first end face is connected with the face of the intake hole, the first end face is connected with the intake hole, and the total area of the stoma on the second end face is larger than the total area of the stoma on the first end face. The device can effectively shorten the breaking time of vacuum and improve the manufacturing efficiency of products.
【技术实现步骤摘要】
一种用于真空反应设备的破真空装置
本专利技术属于真空反应设备
,具体涉及一种用于真空反应设备的破真空装置。
技术介绍
真空反应设备被广泛应用于多个领域,例如半导体芯片加工,光学镀膜等。以半导体芯片加工为例,很多芯片制造工艺流程需要在低压(真空)反应室内完成,例如:离子注入、LPCVD(低压力化学气相沉积法)、蒸发和溅射工艺等。离子注入是在真空系统中向晶圆中注入掺杂离子,同时使用高分辨率的质量分析器,保证掺杂离子具有极高的纯度。在离子注入过程完毕后,需要通过进气口向真空反应设备中吹入气体,使得内外气压达到一致之后才可以取出晶圆,这就是破真空的过程。在这个过程中,理想状态下进气速度越快越好,这样可以提高芯片制造效率。但实际上进气速度不能过快,因为真空反应设备长期使用导致其内壁附着较多杂质,进气速度过快会导致将真空反应设备中的杂质吹落在晶圆上,导致晶圆被污染,因此破真空通常需要几个小时的时间,这制约了芯片加工的效率,提高了加工成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于真空反应设备的破真空装置,可以有效缩短破真空的时间,提高产品制造效率。本专利技术的技术方案为:提供一种用于真空反应设备的破真空装置,所述装置包括第一端面和第二端面,所述第一端面和所述第二端面上均设有若干气孔,所述第一端面上的气孔和所述第二端面上的气孔均相通,破真空时,所述装置在真空反应设备腔体内,所述第一端面与所述进气孔所在面相连,所述第一端面上的气孔与所述进气孔相通,所述第二端面上的气孔总面积大于所述第一端面上的气孔总面积。优选地,所述装置的形状为长方体,所述第一端面和第二端面为长方体 ...
【技术保护点】
1.一种用于真空反应设备的破真空装置,其特征在于,所述装置包括第一端面和第二端面,所述第一端面和所述第二端面上均设有若干气孔,所述第一端面上的气孔和所述第二端面上的气孔均相通,破真空时,所述装置在真空反应设备腔体内,所述第一端面与所述进气孔所在面相连,所述第一端面上的气孔与所述进气孔相通,所述第二端面上的气孔总面积大于所述第一端面上的气孔总面积。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空反应设备的破真空装置,其特征在于,所述装置包括第一端面和第二端面,所述第一端面和所述第二端面上均设有若干气孔,所述第一端面上的气孔和所述第二端面上的气孔均相通,破真空时,所述装置在真空反应设备腔体内,所述第一端面与所述进气孔所在面相连,所述第一端面上的气孔与所述进气孔相通,所述第二端面上的气孔总面积大于所述第一端面上的气孔总面积。2.根据权利要求1所述的用于真空反应设备的破真空装置,其特征在于,所述装置的形状为长方体,所述第一端面和第二端面为长方体装置上相对的两个面。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘京京,林大野,何进,李春来,胡国庆,
申请(专利权)人:深港产学研基地,北京大学深圳研究院,
类型:发明
国别省市:广东,44
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