一种多层复合膜真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室，所述真空室内腔呈圆筒形，真空室内壁间隔设有六道挡边并形成连续的四个镀膜工位与两个预备工位，所述挡边朝真空室中心弧形凸起并对称设有两导向斜面；每个镀膜工位上部设有用于安装靶材的阴极工作台，每个镀膜工位外壁连接有电源箱，阴极工作台连接电源箱；所述真空室底部中心安装有转筒，转筒下端连接驱动机构，转筒侧面按六等分间隔安装有两根导杆，导杆端部滑动套装有伸入至真空室内壁的阳极工作台，阳极工作台与转筒之间连接有设于导杆外周的弹簧，阳极工作台外端面为弧面，弧面顶部连接有与阳极工作台电连的触头，且镀膜工位内壁对应设有与电源箱电连的触头。

A Vacuum Coating Device for Multilayer Composite Films

The utility model discloses a multi-layer composite film vacuum coating device, which comprises a vacuum chamber, the vacuum chamber is cylindrical, and the vacuum chamber wall is separated by six barriers, forming four consecutive plating stations and two preparatory stations. The barriers arc upward toward the center of the vacuum chamber and are symmetrically provided with two guiding inclined planes; the upper part of each plating station is provided with Yin for installing target materials. The outer wall of each plating station is connected with a power box, and the cathode table is connected with a power box. The bottom center of the vacuum chamber is provided with a rotary drum, and the lower end of the rotary drum is connected with a driving mechanism. Two guide rods are installed at six-half intervals on the side of the rotary drum. The sliding sleeve at the end of the guide rod is equipped with an anode worktable extending into the wall of the vacuum chamber, and the anode worktable is connected with the rotary drum. The outer end of the anode worktable is arc, and the top of the arc is connected with a contact connected with the anode worktable, and the inner wall of the coating workstation is correspondingly provided with a contact connected with the power box.

【技术实现步骤摘要】
一种多层复合膜真空镀膜装置
本技术涉及真空镀膜
，具体为一种多层复合膜真空镀膜装置。
技术介绍
溅射镀膜是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。如专利CN205662593U公开了一种高效光学镜片真空溅射镀膜装置，开启高压电源后，工作气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极工作台的靶材，击出靶材原子或分子，飞向伸缩阳极工作台的镜片基体，沉积成薄膜。而现有的多层复合膜真空镀膜装置，是通过多个真空镀膜装置或在一个镀膜装置里横向设置多个靶材工位，在多个工件连续镀膜的情况下，为防止靶材相互污染，相邻靶材工位之间设置隔板，且隔板下方设有连通两个工位的通道，基材跟随传输机构经通道顺序经过若干工位。但是上述设备隔板通道高度高于靶材，相邻工位同时镀膜时，容易相互干扰，而且，现有的设备结构不合理，设备占用空间较大。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种多层复合膜真空镀膜装置，解决了目前真空镀膜装置工位之间相互干扰，设备占地较大，不紧凑的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多层复合膜真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室(1)，所述真空室(1)连接真空泵，并设有带有阀门的进气管；其特征在于，所述真空室(1)内腔呈圆筒形，真空室(1)内壁间隔设有六道挡边(2)并形成连续的四个镀膜工位(3)与两个预备工位(4)，所述挡边(2)朝真空室(1)中心弧形凸起并对称设有两导向斜面(5)；每个镀膜工位(3)上部内壁连接设有用于安装靶材的阴极工作台(12)，每个镀膜工位(3)外壁连接有电源箱(11)，阴极工作台(12)连接电源箱(11)；所述真空室(1)底部中心安装有转筒(6)，转筒(6)下端连接驱动机构(14)，转筒(6)侧面按六等分间隔安装有两根导杆(7)，导杆(7)端部滑动套装...

【技术特征摘要】
1.一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室(1)，所述真空室(1)连接真空泵，并设有带有阀门的进气管；其特征在于，所述真空室(1)内腔呈圆筒形，真空室(1)内壁间隔设有六道挡边(2)并形成连续的四个镀膜工位(3)与两个预备工位(4)，所述挡边(2)朝真空室(1)中心弧形凸起并对称设有两导向斜面(5)；每个镀膜工位(3)上部内壁连接设有用于安装靶材的阴极工作台(12)，每个镀膜工位(3)外壁连接有电源箱(11)，阴极工作台(12)连接电源箱(11)；所述真空室(1)底部中心安装有转筒(6)，转筒(6)下端连接驱动机构(14)，转筒(6)侧面按六等分间隔安装有两根导杆(7)，导杆(7)端部滑动套装有伸入至真空室(1)内壁的阳极工作台(8)，阳极工作台(8)与转筒(6)之间连接有设于导杆(7)外周的弹簧(9)，阳极工作台(8)外端面为弧面，弧面...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨程，
申请(专利权)人：浙江摩鼎纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33