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本实用新型公开了一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室，所述真空室内腔呈圆筒形，真空室内壁间隔设有六道挡边并形成连续的四个镀膜工位与两个预备工位，所述挡边朝真空室中心弧形凸起并对称设有两导向斜面；每个镀膜工位上部设有用于安装靶材的阴极工作台...
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