显示面板及其制作方法技术

本发明专利技术披露了一种显示面板及其制作方法。所述显示面板通过在阵列基板的下边框区域设置深孔区，以使所述下边框区沿深孔区而整体向后弯折，实现显示面板的窄边框化，同时在显示区设置应力释放孔，用于释放显示区弯折时产生的应力，使得整个阵列基板在弯折时不易产生裂纹或破孔，大幅度提高显示面板的弯折性能。另外，弯折区的柔性衬底通过特殊工艺进行减薄化，用来调整弯折区在弯折时的中性面，使得用于跨接信号走线的金属走线层正好落在中性面上，金属走线层受到的弯折应力最小，从而增强弯折区的弯折半径与弯折性能。另外，根据不同需求使用不同的方法进行柔性衬底的减薄，控制刻蚀工艺，在进行柔性衬底减薄的同时进行光罩掩模板的节省。

Display panel and its fabrication method

The invention discloses a display panel and a manufacturing method thereof. The display panel is narrowed and framed by setting a deep hole area in the lower border area of the array substrate to make the lower border area bend backward along the deep hole area. At the same time, a stress release hole is arranged in the display area to release the stress generated by the bending of the display area, which makes the whole array substrate not easy to crack or break when bending, and greatly improves the display. Bending performance of panel. In addition, the flexible substrate in the bending zone is thinned by a special process to adjust the neutral surface of the bending zone in the bending process, so that the metal traveling layer for the spanning signal traveling falls on the neutral surface, and the bending stress of the metal traveling layer is the smallest, thus enhancing the bending radius and bending performance of the bending zone. In addition, according to different requirements, different methods are used to thin flexible substrates, control etching process, and save mask template while thinning flexible substrates.

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制作方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种显示面板及其制作方法。
技术介绍
相比于液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)，有机发光二极管显示器(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)的最大优势在于可以在柔性衬底上制作，由于OLED有机发光材料具有耐弯折性，使得OLED显示面板可以实现弯曲化和折叠化。如果将OLED显示面板的下边框(border)部分折叠到显示器背面，就可以将OLED显示面板的下边框进一步缩小，达到极窄边框或者无边框的效果。如果将OLED显示面板的显示区域以固定弯曲半径弯折，则可以实现OLED显示面板的曲面化。有鉴于此，如何实现OLED显示面板的曲面化成为了相关研究人员的重要研究课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种显示面板及其制作方法。所述显示面板通过在阵列基板的下边框区域(即弯折区)设置深孔区，以使所述下边框区沿深孔区而整体向后弯折，实现显示面板的窄边框化，同时在显示区设置应力释放孔，用于释放显示区弯折时产生的应力，使得整个阵列基板在弯折时不易产生裂纹或破孔，大幅度提高显示面板的弯折性能。另外，弯折区的深孔内的无机膜层被刻蚀，且弯折区的柔性衬底通过特殊工艺进行减薄化，用来调整弯折区在弯折时的中性面，使得用于跨接信号走线的金属走线层正好落在中性面上，金属走线层受到的弯折应力最小，从而增强弯折区的弯折半径与弯折性能。另外，根据不同的需求使用不同的方法进行柔性衬底的减薄，控制刻蚀工艺，可以在进行柔性衬底减薄的同时进行显示光罩掩模板的节省。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种显示面板，其包括一柔性衬底，在所述柔性衬底上设置有一功能层，所述柔性衬底划分为一非弯折区及一弯折区；在所述弯折区的功能层还具有一深孔区，一第一填充层填充于所述深孔区的深孔；在所述弯折区的第一填充层上设有一金属走线层，所述金属走线层位于中性面上。在本专利技术的一实施例中，所述第一填充层的底部位于所述柔性衬底内。在本专利技术的一实施例中，所述非弯折区包括一显示区，在所述显示区的功能层具有至少一应力释放孔，一第二填充层填充于所述应力释放孔，所述第二填充层的底部设置在所述功能层中的阻隔层上。在本专利技术的一实施例中，所述第一填充层和所述第二填充层采用有机材料制成。根据本专利技术的另一方面，本专利技术提供一种如上述显示面板的制作方法，所述方法包括以下步骤：(1)提供一柔性衬底，在所述柔性衬底上形成一阻隔层；(2)对所述阻隔层进行曝光刻蚀，以去除位于弯折区的所述阻隔层；(3)对刻蚀过的柔性衬底进行氧电浆处理，使得所述弯折区的柔性衬底形成一凹槽，以使所述弯折区的柔性衬底变薄；(4)对弯折区具有凹槽的柔性衬底填充有机材料；(5)在变薄的柔性衬底上依次形成缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极层和层间绝缘层；(6)对所述层间绝缘层进行曝光显影，以形成位于弯折区的深孔和位于显示区的应力释放孔，其中所述显示区位于非弯折区中；(7)对所述深孔和所述应力释放孔进行有机材料填充，以分别形成第一填充层和第二填充层。在本专利技术的一实施例中，在步骤(3)中，所述凹槽的深度是根据所述氧电浆的流量和处理时间而确定的。在本专利技术的一实施例中，在步骤(6)中，使用同一道刻蚀工艺同时对位于所述弯折区的层间绝缘层和位于所述显示区的层间绝缘层进行曝光刻蚀，以分别形成位于弯折区的深孔和位于显示区的应力释放孔，所述深孔和所述应力释放孔的深度相同。根据本专利技术的又一方面，本专利技术提供一种如上述显示面板的制作方法，所述方法包括以下步骤：(1)提供一柔性衬底，在所述柔性衬底上依次形成阻隔层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极层和层间绝缘层；(2)对弯折区进行曝光显影，以暴露出柔性衬底；(3)利用层间绝缘层作为阻挡层，通过氧电浆处理方式对弯折区暴露出的柔性衬底进行刻蚀，并形成一深孔；(4)对具有深孔的柔性衬底进行有机材料涂覆处理，并进行曝光显影，以使所述有机材料覆盖所述深孔，并形成第一填充层；(5)对显示区进行曝光，以显影出位于显示区的应力释放孔；(6)对所述应力释放孔进行有机材料涂覆处理，并进行曝光显影，以使所述有机材料填充于所述应力释放孔，并形成第二填充层。在本专利技术的一实施例中，在步骤(3)中，弯折区的柔性衬底被刻蚀的深度是根据所述氧电浆的流量和处理时间而确定的。本专利技术的优点在于，本专利技术所述显示面板及其制作方法。所述显示面板通过在阵列基板的下边框区域(即弯折区)设置深孔区，以使所述下边框区沿深孔区而整体向后弯折，实现显示面板的窄边框化，同时在显示区设置应力释放孔，用于释放显示区弯折时产生的应力，使得整个阵列基板在弯折时不易产生裂纹或破孔，大幅度提高显示面板的弯折性能。另外，弯折区的深孔内的无机膜层被刻蚀，且弯折区的柔性衬底通过特殊工艺进行减薄化，用来调整弯折区在弯折时的中性面，使得用于跨接信号走线的金属走线层正好落在中性面上，金属走线层受到的弯折应力最小，从而增强弯折区的弯折半径与弯折性能。另外，根据不同的需求使用不同的方法进行柔性衬底的减薄，控制刻蚀工艺，可以在进行柔性衬底减薄的同时进行显示光罩掩模板的节省。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一实施例中的显示面板的阵列基板的结构示意图。图2是本专利技术所述实施例中的显示面板的结构示意图。图3是本专利技术所述实施例中的显示面板因柔性衬底减薄而产生影响的效果示意图。图4是本专利技术一实施方式中的显示面板的制作方法的步骤流程图。图5A至图5I是本专利技术所述实施方式中的显示面板的制作方式的工艺流程图。图6是本专利技术另一实施方式中的显示面板的制作方法的步骤流程图。图7A至图7H是本专利技术所述另一实施方式的显示面板的制作方式的工艺流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的说明书和权利要求书以及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解，这样描述的对象在适当情况下可以互换。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。在本专利文档中，下文论述的附图以及用来描述本专利技术公开的原理的各实施例仅用于说明，而不应解释为限制本专利技术公开的范围。所属领域的技术人员将理解，本专利技术的原理可在任何适当布置的系统中实施。将详细说明示例性实施方式，在附图中示出了这些实施方式的实例。此外，将参考附图详细描述根据示例性实施例的终端。附图中的相同附图标号指代相同的元件。本专利技术说明书中使用的术语仅用来描述特定实施方式，而并不意图显示本专利技术的概念。除非上下文中有明确不同的意义，否则，以单数形式使用的表达涵盖复数形式的表达。在本专利技术说明书中，应理解，诸如“包括”、“具有”以及“含有”本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板，其特征在于，包括一柔性衬底，在所述柔性衬底上设置有一功能层，所述柔性衬底划分为一非弯折区及一弯折区；在所述弯折区的功能层具有一深孔区，一第一填充层填充于所述深孔区的深孔；在所述弯折区的第一填充层上设有一金属走线层，所述金属走线层位于中性面上。

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括一柔性衬底，在所述柔性衬底上设置有一功能层，所述柔性衬底划分为一非弯折区及一弯折区；在所述弯折区的功能层具有一深孔区，一第一填充层填充于所述深孔区的深孔；在所述弯折区的第一填充层上设有一金属走线层，所述金属走线层位于中性面上。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一填充层的底部位于所述柔性衬底内。3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述非弯折区包括一显示区，在所述显示区的功能层具有至少一应力释放孔，一第二填充层填充于所述应力释放孔，所述第二填充层的底部设置在所述功能层中的一阻隔层上。4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第一填充层和所述第二填充层采用有机材料制成。5.一种如权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)提供一柔性衬底，在所述柔性衬底上形成一阻隔层；(2)对所述阻隔层进行曝光刻蚀，以去除位于弯折区的所述阻隔层；(3)对刻蚀过的柔性衬底进行氧电浆处理，使得所述弯折区的柔性衬底形成一凹槽，以使所述弯折区的柔性衬底变薄；(4)对弯折区具有凹槽的柔性衬底填充有机材料；(5)在变薄的柔性衬底上依次形成一缓冲层、一有源层、一栅极绝缘层、一栅极层和一层间绝缘层；(6)对所述层间绝缘层进行曝光显影，以形成位于弯折区的深孔和位于显示区的应力释放孔，其中所述显示区位于非弯折区中；(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜呈浩，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42