The embodiment of the invention discloses a method for surface treatment of a quartz boat, which comprises the following steps: pouring gallium liquid into a quartz tube, heating it to 35 A quartz boat with alpha-cristobalite spherical crystal is formed on the inner wall of the boat when the temperature is kept constant for 2 3 hours. In the process of drawing GaAs single crystal, the surface treated quartz boat can effectively avoid the infiltration of GaAs with the inner surface and the upper surface of the quartz boat, and make the back surface of GaAs single crystal have the same mirror gloss as the front surface. It can effectively avoid the bonding phenomenon between the quartz boat and GaAs single crystal, and avoid the influence of bonding on the growth of GaAs single crystal.
【技术实现步骤摘要】
石英舟表面处理方法、石英舟及应用
本专利技术实施例涉及表面处理
，特别涉及一种石英舟表面处理方法、石英舟及应用。
技术介绍
水平布里奇曼法，简称HB法，是生长砷化镓(GaAs)单晶的一种主要方法之一。HB法的原理是将生长单晶的原料放在一种器皿中，器皿放入圆管中，抽真空后封闭管口，采用定向区熔法生长单晶。这种器皿一般称之为“舟”，而外管称之为生长管。生长管和舟使用的材料都选择石英，有两个原因：(1)石英耐高温。在GaAs熔点1238℃的高温下，不软化而且能承受一定的蒸气压力。(2)石英透明度好。在GaAs熔点1238℃的高温下不失去其透明性，可以观察单晶的生长状态。单晶制备过程中，砷化镓晶体与石英发生浸润现象，在凝固后的冷却过程中，因两者热膨胀系数的差异，经常使砷化镓晶体断裂。另外，更为严重的是砷化镓结晶过程中的浸润作用会增强舟壁对熔体的影响，增加生长多晶的机会，使单晶生长失败。目前为了减少GaAs熔体“浸润”石英舟，通常会采取以下方法处理石英舟：(1)石英舟烧制成以后，使用前用压缩机空气或惰性气体吹带金刚砂，将其内表面“打毛”(加工成毛面)。经喷砂打毛后，在...
【技术保护点】
1.一种石英舟表面处理的方法，其特征在于，包括以下步骤：将镓液体倒入石英管内，加热到35℃‑40℃，去除所述镓液体表面上的氧化膜；将若干个喷砂打毛处理后的石英舟浸没于所述镓液内；抽真空2‑5分钟；将保护气体充入所述石英管内，将所述镓液升温至1230℃‑1260℃，恒温保持2‑3小时，即得内壁形成α‑方石英球晶体的石英舟。
【技术特征摘要】
1.一种石英舟表面处理的方法，其特征在于，包括以下步骤：将镓液体倒入石英管内，加热到35℃-40℃，去除所述镓液体表面上的氧化膜；将若干个喷砂打毛处理后的石英舟浸没于所述镓液内；抽真空2-5分钟；将保护气体充入所述石英管内，将所述镓液升温至1230℃-1260℃，恒温保持2-3小时，即得内壁形成α-方石英球晶体的石英舟。2.根据权利要求1所述的石英舟表面处理的方法，其特征在于，在所述将若干个喷砂打毛处理后的石英舟浸没于所述镓液之前还包括以下步骤：将若干个喷砂打毛处理后的石英舟依次叠放形成类圆柱体。3.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵静敏，林泉，许兴，周晓霞，于洪国，易见伟，刘宁，
申请(专利权)人：有研光电新材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：河北,13
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