The utility model discloses a silicon wafer insert detection device, which comprises a signal transmitter arranged on both sides of the front of the flower basket and a signal receiver arranged on the back of the flower basket. The signal reflector and the signal receiver are relatively arranged and the connection between the two devices passes through the slot of the flower basket. The silicon insert detection device of the utility model transmits signals using multiple laser transmitters and laser receivers on the same horizontal plane. When the signal transmission is interrupted when the flower basket is deformed, the deformation of the insert slot can be judged. The device can be adjusted according to the size of flower basket and silicon wafer. It has high applicability and detection accuracy. It does not require staff to process cards. It liberates labor force, reduces labor intensity, and improves the efficiency of production insert.
【技术实现步骤摘要】
一种硅片插片检测装置
本技术属于单晶制造
，具体涉及一种硅片插片检测装置。
技术介绍
现有插片机在长期插片过程中，虽然花篮的结构、使用方法、使用寿命等不同，但在长期使用后均会有不同程度的局部变形情况的发生，导致花篮四个珠子不在同一平面，而花篮在运行过程中都是通过丝杆进行垂直等距运行，这种局部变形花篮在插片过程中非常容易导致变形部位发生卡片故障，影响生产效率及硅片品质。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片插片检测装置，在插片过程中，可以检测花篮插片槽是否发生形变，从而避免卡片情况的发生。本技术所采用的技术方案是：一种硅片插片检测装置，包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信号接收器，所述信号反射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。进一步地，所述硅片插片检测装置还包括分别相对设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器，设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器的连线也穿过花篮的插片槽，而且设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器与设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信号接收器处于同一平面。事例性地，所述信号发射器和信号接收器分...
【技术保护点】
1.一种硅片插片检测装置，其特征在于，包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及对应设置于花篮背部的信号接收器，所述信号发射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。
【技术特征摘要】
1.一种硅片插片检测装置，其特征在于，包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及对应设置于花篮背部的信号接收器，所述信号发射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。2.如权利要求1所述的一种硅片插片检测装置，其特征在于，所述硅片插片检测装置还包括分别相对设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器，设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器的连线也穿过花篮的插片槽，而且设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器与设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴仕通，杨建国，吴小伟，申朝锋，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61
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