下载一种硅片插片检测装置的技术资料

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本实用新型公开的一种硅片插片检测装置,包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信号接收器,所述信号反射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。本实用新型的硅片插片检测装置利用处于同一水平面的多个激光发射器和激光接收...
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