纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件技术

一种纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件，该方法包括如下步骤：提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；将基板与母板分离；将基片与弹性支撑层分离。该制作方法能够避免母板上纳米压印胶的残存，提高母板的使用次数，降低成本。

Fabrication method of nanoimprint elastic template, nanoimprint elastic template and components

The method comprises the following steps: providing a substrate, arranging elastic support layer, tackifying layer and nano-imprint layer on one side of the substrate to form a substrate; providing a motherboard to form a nano-imprint structure on the motherboard; and nano-imprinting on the side where the nano-imprint is located in the substrate and in the motherboard. One side of the printing structure contacts; the nano-imprint structure is printed on the nano-imprint adhesive layer; the substrate and the motherboard are separated; the substrate and the elastic support layer are separated. The method can avoid the residue of nano-imprint on the motherboard, improve the use times of the motherboard and reduce the cost.

【技术实现步骤摘要】
纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件
本专利技术涉及机械领域，尤其是一种纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及纳米压印组件。
技术介绍
纳米压印是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术，其能够把纳米图形从模板“复制”到基片上，具有产量高、成本低和工艺简单的优点。为实现一些特殊形状的压印，需要提供一种具有纳米结构的弹性模板。在现有技术中，为了制作纳米压印弹性模板，一般是提供一具有纳米压印结构的母板，继而将纳米压印胶均匀地涂覆到沉积了抗粘层的母板上，然后再在纳米压印胶层远离母板的一侧涂覆形成有一弹性支撑层，在弹性支撑层固化后，将弹性支撑层与母板分开。由于纳米压印胶与弹性支撑层之间的粘合力与纳米压印胶与母板之间的粘合力不同，因此，即可将纳米压印胶与弹性支撑层一同与母板脱离，从而使母板上的纳米压印结构反向复制到纳米压印胶层中。然而，由于母板上存在有纳米压印结构，这使得母板的表面积大大增加，并且纳米压印胶与母板之间的接触面积也会远大于纳米压印胶与弹性支撑层之间的接触面积，在将弹性支撑层与母板分离后，母板上会残留纳米压印胶，这破坏了母板上纳米压印结构的完整性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及纳米压印组件，该制作方法能够避免母板上纳米压印胶的残存，提高母板的使用次数，降低成本。本专利技术提供一种纳米压印弹性模板的制作方法，包括如下步骤：提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；将基板与母板分离；将基片与弹性支撑层分离。进一步地，在基片与弹性支撑层之间还形成有抗黏剂层。进一步地，所述抗黏剂层由全氟辛基三氯硅烷和/或全氟癸基三氯硅烷形成。进一步地，所述基片由硅片、玻璃、石英片或聚四氟乙烯形成。进一步地，在将所述基板中纳米压印胶层所在的一侧与所述母板中纳米压印结构所在的一侧接触，并将所述纳米压印结构印制于所述纳米压印胶层上的步骤中，其还包括如下步骤：将所述基板中纳米压印胶层所在的一侧与所述母板中第一纳米压印结构所在的一侧接触，以形成纳米压印组件；将所述纳米压印组件放置于密封工作室内；提供柔性覆盖膜，将所述柔性覆盖膜盖设于所述纳米压印组件上，并跨过所述纳米压印组件的边缘后与所述密封工作室的底板接触，使所述柔性覆盖膜与所述密封工作室的底板之间形成一容置纳米压印组件的容置腔；降低所述密封工作室内的气压，使所述容置腔内的气压小于初始状态密封工作室内的气压；增加所述密封工作室内的气压，使所述密封工作室内的气压大于所述容置腔内的气压；使所述纳米压印胶层固化。进一步地，通过紫外线照射和/或加热的方法对所述纳米压印组件中的纳米压印胶进行固化。本专利技术还提供了一种纳米压印弹性模板，包括弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，所述增粘层形成于所述弹性支撑层上，所述纳米压印胶层形成于所述增粘层上，在纳米压印胶层上形成有纳米压印结构。进一步地，所述弹性支撑层为聚二甲基硅氧烷制成的弹性支撑层。进一步地，所述弹性支撑层的弹性模量为1-20MPa。进一步地，所述纳米压印胶层固化后的弹性模量为20-500MPa。进一步地，所述增粘层由3-丙烯酰氧基丙基甲基二氯硅烷材料制成的增粘层。本专利技术还提供了一种纳米压印组件，包括：基板，包括基片、在基片一侧上依次设置的弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层；母板，在母板上形成有纳米压印结构；通过将基板中纳米压印胶层所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触，纳米压印结构印制于纳米压印胶层上。综上所述，本专利技术通过基片的设置，能够使得弹性支撑层及纳米压印胶层直接设置于基片上，而不再按照现有的工艺，使纳米压印胶层形成于母板上，这能够使得纳米压印胶层在形成时更加的平整，且能够使纳米压印胶层在压印成型阶段与母板的结合更加的均匀；进一步地，通过在弹性支撑层与纳米压印胶层之间设置增加结合强度的增粘层，使得弹性支撑层与纳米压印胶层之间有共价键连接，由于共价键的作用远远大于纳米压印胶与纳米压印结构之间的非共价键(如氢键或范德华力)的作用力，这能够使得弹性支撑层和纳米压印胶层的结合更加紧密，有利于后续基板与母板之间的分离，防止纳米压印胶层在母板上出现残余，也即，该制作方法能够避免母板上纳米压印胶的残存，提高母板的使用次数，降低成本。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1a-图1e为本专利技术第一实施例提供的纳米压印弹性模板制作方法中各步骤的结构示意图。图2为本专利技术第二实施例提供的将母板上的纳米压印结构复制到基板上时的结构示意图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本专利技术进行详细说明如下。本专利技术的目的在于提供一种纳米压印弹性模板的制作方法及纳米压印弹性模板及纳米压印组件，该制作方法能够避免母板上纳米压印胶的残存，提高母板的使用次数，降低成本。图1a-图1e为本专利技术第一实施例提供的纳米压印弹性模板制作方法中各步骤的结构示意图。本专利技术实施例提供的纳米压印弹性模板的制作方法包括如下步骤：提供一基片111，在基片111的一侧上依次设置弹性支撑层113、增粘层114及纳米压印胶层115，形成基板11；提供一具有纳米压印结构121的母板12；将基板11中纳米压印胶层115所在的一侧与母板12中纳米压印结构121所在的一侧接触；将纳米压印结构121印制于纳米压印胶层115上；将基板11与母板12分离；将基片111与弹性支撑层113分离，以形成纳米压印弹性模板，此时，纳米压印弹性模板上形成有从母板12上复制过来的纳米压印结构121。在本专利技术中，通过基片111和弹性支撑层113的设置，能够使得纳米压印胶层115直接设置于弹性支撑层113上，而不再按照现有的工艺，使纳米压印胶层115形成于母板12上，这能够使得纳米压印胶层115在形成时更加的平整，且能够使纳米压印胶层115在压印成型阶段与母板12的结合更加的均匀；进一步地，通过在弹性支撑层113与纳米压印胶层115之间设置增加结合强度的增粘层114，使得弹性支撑层113与纳米压印胶层115之间有共价键连接，由于共价键的作用远远大于纳米压印胶层115与纳米压印结构121之间的非化学键(如氢键或范德华力)的作用力，这能够使得弹性支撑层113与纳米压印胶层115的结合更加紧密，有利于后续基板11与母板12之间的分离，防止纳米压印胶层115在母板12上出现残余，也即，该制作方法能够避免母板12上纳米压印胶的残存，提高母板12的使用次数，降低成本。进一步地，在本实施例中，基片111可以但不限于为硅片、玻璃或石英片，为了在基片111与弹性支撑层113在分离时，防止对弹性支撑层113远离纳米压印胶层115的一侧造成损害，以及防止因为弹性支撑层113的内应力而发生卷曲的现象。在本实施例中，在基片111与弹性支撑层113之间还可以形成有一层抗黏剂层1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米压印弹性模板的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；将基板与母板分离；将基片与弹性支撑层分离。

【技术特征摘要】
1.一种纳米压印弹性模板的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；将基板与母板分离；将基片与弹性支撑层分离。2.根据权利要求1所述的纳米压印弹性模板的制作方法，其特征在于：在基片与弹性支撑层之间还形成有抗黏剂层。3.根据权利要求2所述的纳米压印弹性模板的制作方法，其特征在于：所述抗黏剂层由全氟辛基三氯硅烷和/或全氟癸基三氯硅烷形成。4.根据权利要求1所述的纳米压印弹性模板的制作方法，其特征在于：所述基片由硅片、玻璃、石英片或聚四氟乙烯形成。5.根据权利要求1所述的纳米压印弹性模板的制作方法，其特征在于：在将所述基板中纳米压印胶层所在的一侧与所述母板中纳米压印结构所在的一侧接触，并将所述纳米压印结构印制于所述纳米压印胶层上的步骤中，其还包括如下步骤：将所述基板中纳米压印胶层所在的一侧与所述母板中第一纳米压印结构所在的一侧接触，以形成纳米压印组件；将所述纳米压印组件放置于密封工作室内；提供柔性覆盖膜，将所述柔性覆盖膜盖设于所述纳米压印组件上，并跨过所述纳米压印组件的边缘后与所述密封工作室的底板接触，使所述柔性覆盖膜与所述密封工作室的底板之间形成一容置纳米压印组件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：童美魁，段晓东，
申请(专利权)人：上海安翰医疗技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31