一种单面冷光源曝光机制造技术

本发明专利技术提供了一种单面冷光源曝光机，包括支架、载片台、凸镜、机械式快门和LED紫外光源；所述载片台水平固定在所述支架的下端，所述LED紫外光源固定在所述支架的上端，该LED紫外光源的光线依次穿过水平固设在支架上的机械式快门和凸镜照射在载片台上。本发明专利技术所述的单面冷光源曝光机，通过LED紫外光源的设置，避免了使用汞灯光源时由于功率过大造成的热过量积累问题。

【技术实现步骤摘要】
一种单面冷光源曝光机
本专利技术属于曝光机
，尤其是涉及一种单面冷光源曝光机。
技术介绍
普通曝光机采用汞灯光源，由于汞灯光源功率过大，容易造成热面积累积，对曝光机造成较大损耗，且普通曝光机对光源和凸镜之间的距离调节不便，影响曝光效果。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术旨在提出一种单面冷光源曝光机，通过使用LED冷光源替换汞灯光源，避免了曝光机载片台上的热面积累积，且使用可调节架安装光源和凸镜，方便了对光源和凸镜之间距离的调节，提升了曝光效率。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：一种单面冷光源曝光机，包括支架、载片台、凸镜、机械式快门和LED紫外光源；所述载片台水平固定在所述支架的下端，所述LED紫外光源固定在所述支架的上端，该LED紫外光源的光线依次穿过水平固设在支架上的机械式快门和凸镜照射在载片台上。进一步的，所述凸镜为双平凸镜组。进一步的，所述单片冷光源曝光机还包括光源距离调节尺，所述光源距离调节尺竖直固定在所述支架上，并位于所述LED紫外光源及双平凸镜组的一侧。进一步的，所述单面冷光源曝光机还包括水冷式散热器，所述水冷式散热器包括水循环管和水箱，所述水循环管环绕LED紫外光源固定，其进出口接入水箱，且所述水箱固定在支架的外侧。进一步的，所述LED紫外光源通过距离调节机构固定在所述支架上。进一步的，所述距离调节机构包括螺杆、螺杆套筒、齿轮、齿轮轴和旋钮；所述支架的上端水平设有两相互平行的支撑板，位于下方的支撑板的中部设有一固定通孔；所述螺杆套筒竖直固定在所述固定通孔中；所述螺杆插在所述螺杆套筒内，并与所述螺杆套筒螺纹配合，该螺杆的上端固定有与该螺杆同轴转动的齿轮；所述齿轮轴竖直可转动固定在两支撑板之间，并与所述齿轮啮合；所述旋钮可转动固定在位于上方的支撑板上，并穿过该位于上方的支撑板与所述齿轮轴同轴固定连接。进一步的，所述LED紫外光源的侧面上可转动卡设有一测量杆，所述测量杆末端的下侧与所述LED紫外光源的下端齐平，所述光源距离调节尺的一侧设有一竖直方向的滑行框，所述测量杆末端可上下滑动地卡设在所述滑行框内。相对于现有技术，本专利技术所述的单面冷光源曝光机具有以下优势：(1)本专利技术所述的单面冷光源曝光机，通过LED紫外光源的设置，避免了使用汞灯光源时由于功率过大造成的热过量积累问题。(2)本专利技术所述的单面冷光源曝光机，通过双屏透镜组的设置，实现了对光源平行度的调整，简便易行，提升了曝光质量。(3)本专利技术所述的单面冷光源曝光机，采用外置式水冷散热器，对比一般光刻机的散热效果显著。附图说明构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为本专利技术实施例所述的单面冷光源曝光机结构示意图。附图标记说明：1-支架；2-载片台；3-凸镜；4-机械式快门；5-LED紫外光源；6-光源距离调节尺；61-滑行框；7-水冷式散热器；71-水循环管；72-水箱；8-距离调节机构；81-螺杆；82-螺杆套筒；83-齿轮；84-齿轮轴；85-旋钮；9-测量杆。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。如图1所示，本专利技术提供一种单面冷光源曝光机，包括支架1、载片台2、凸镜3、机械式快门4和LED紫外光源5；所述载片台2水平固定在所述支架1的下端，所述LED紫外光源5固定在所述支架1的上端，该LED紫外光源5的光线依次穿过水平固设在支架1上的机械式快门4和凸镜3照射在载片台2上。本专利技术利用LED紫外光源作为曝光光源，避免了汞灯光源功率过大导致的热过量积累问题。进一步的，所述凸镜3为双平凸镜组。进一步的，所述单片冷光源曝光机还包括光源距离调节尺6，所述光源距离调节尺6竖直固定在所述支架1上，并位于所述LED紫外光源5及双平凸镜组的一侧。在该装置中，利用光源距离调节尺定位，实现光源与双平凸镜组之间的距离调节，进而实现对光源的平行度调整，简便易行，提高了曝光质量。进一步的，所述单面冷光源曝光机还包括水冷式散热器7，所述水冷式散热器7包括水循环管71和水箱72，所述水循环管71环绕LED紫外光源5固定，其进出口接入水箱72，且所述水箱72固定在支架1的外侧，利用外置式水冷式散热器，通过水泵实现水箱到水循环管之间的水循环，对比一般光刻机的散热效果显著。进一步的，所述LED紫外光源5通过距离调节机构8固定在所述支架1上。进一步的，所述距离调节机构8包括螺杆81、螺杆套筒82、齿轮83、齿轮轴84和旋钮85；所述支架1的上端水平设有两相互平行的支撑板，位于下方的支撑板的中部设有一固定通孔；所述螺杆套筒82竖直固定在所述固定通孔中；所述螺杆81插在所述螺杆套筒82内，并与所述螺杆套筒82螺纹配合，该螺杆81的上端固定有与该螺杆81同轴转动的齿轮83；所述齿轮轴84竖直可转动固定在两支撑板之间，并与所述齿轮83啮合；所述旋钮85可转动固定在位于上方的支撑板上，并穿过该位于上方的支撑板与所述齿轮轴84同轴固定连接。拧动旋钮，则旋钮带动齿轮轴转动，齿轮轴带动齿轮转动，齿轮带动螺杆在螺杆套筒内转动，进而实现螺杆带动LED紫外光源的上升和下降，实现LED紫外光源到双平凸镜组之间距离的调整。进一步的，所述LED紫外光源5的侧面上可转动卡设有一测量杆9，所述测量杆9末端的下侧与所述LED紫外光源5的下端齐平，所述光源距离调节尺6的一侧设有一竖直方向的滑行框61，所述测量杆9末端可上下滑动地卡设在所述滑行框61内。测量杆可转动卡设，此处LED紫外光源呈圆柱状，在该实施例中可以通过在LED紫外光源的外侧面设置环形槽，环形槽开口方向水平，在该环形槽内可转动套设一支撑环，测量杆沿LED紫外光源的径向插入环形槽内与支撑环固定连接，由于环形槽具有一定深度，故测量杆会保持水平，由于LED紫外光源的轴心不动，当使用人员转动旋钮带动LED紫外光源转动时，测量杆由于其末端卡设在滑行框内，故其在水平面上的位置不动，但是会随着LED紫外光源的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单面冷光源曝光机，其特征在于：包括支架、载片台、凸镜、机械式快门和LED紫外光源；所述载片台水平固定在所述支架的下端，所述LED紫外光源固定在所述支架的上端，该LED紫外光源的光线依次穿过水平固设在支架上的机械式快门和凸镜照射在载片台上。

【技术特征摘要】
1.一种单面冷光源曝光机，其特征在于：包括支架、载片台、凸镜、机械式快门和LED紫外光源；所述载片台水平固定在所述支架的下端，所述LED紫外光源固定在所述支架的上端，该LED紫外光源的光线依次穿过水平固设在支架上的机械式快门和凸镜照射在载片台上。2.根据权利要求1所述的单面冷光源曝光机，其特征在于：所述凸镜为双平凸镜组。3.根据权利要求1所述的单面冷光源曝光机，其特征在于：还包括光源距离调节尺，所述光源距离调节尺竖直固定在所述支架上，并位于所述LED紫外光源及双平凸镜组的一侧。4.根据权利要求1所述的单面冷光源曝光机，其特征在于：还包括水冷式散热器，所述水冷式散热器包括水循环管和水箱，所述水循环管环绕LED紫外光源固定，其进出口接入水箱，且所述水箱固定在支架的外侧。5.根据权利要求1所述的单面冷光源曝光机，其特征在于：所述LED紫外光源通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：初亚东，
申请(专利权)人：天津天物金佰微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12