线缆支撑机构制造技术

本发明专利技术提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。

【技术实现步骤摘要】
线缆支撑机构
本专利技术涉及光刻装置领域，尤其是涉及一种线缆支撑机构。
技术介绍
在光刻机装置中，随着对光刻机的特征线宽的要求的不断提升，则需要工件台实现高速，高精度的运动。在光刻机工作台中有大量电气线缆以及水，气路管线用以支持工作台中的大量电机，传感器，冷却板和气动等元件功能的实现。因而，需要在有限空间内对特定运动轨迹的大量线缆提供稳定的支撑，使之在高速，高频的运动过程中，始终稳定快速的跟工作台运动。在工作台运动的过程中，这些电缆、管路会跟随工件台作同步往复运动，这个过程中会出现U型线缆极限位置大面积悬空的状态，因而需要相应的支撑结构，提供支撑，使线缆不会与底部框架干涉摩擦，而现有的线缆支架结构为支架布置在线缆两侧，中间是断开的，无直接连接，且转轴结构过细过小，整个线缆支架结构刚性不够，导致安装后线缆依然会与底部摩擦的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种线缆支撑机构，以解决现有技术中线缆支架结构过软，刚性不够，导致安装后线缆依然会与底部摩擦的问题。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在所述底部框架上；所述随动模块固定在所述线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。可选的，所述固定模块为固定线夹，所述随动模块为随动线夹，所述支撑转接模块包括第一连杆、第二连杆及连杆连接件；所述第一连杆的两端分别连接所述固定线夹和所述第二连杆的一端，所述连杆连接件连接所述随动线夹和所述第二连杆的另一端。可选的，所述随动线夹固定在整个线缆重心处，在线缆的整个运动过程中，所述随动线夹首先处于静止不动状态，然后做圆周和垂向合成运动，最后再沿水平方向做直线运动。可选的，所述随动线夹带有调节螺孔，所述调节螺孔用于放置调节螺栓，所述调节螺栓用于调节随动线夹在垂直方向的位置。可选的，所述连杆连接件带有凸台，所述凸台用来配合所述调节螺栓调节所述随动线夹的高度。可选的，所述连杆连接件带有腰型沉孔，所述腰型沉孔用来放置固定螺栓，所述固定螺栓在所述调节螺栓调节好随动线夹高度时，将所述连杆连接件固定在所述随动线夹上。可选的，所述连杆连接件为所述线缆支撑机构整体结构的调节环，可以通过调节所述调节环的尺寸实现对整体结构的调整。可选的，所述固定线夹包括第一固定架和第二固定架；所述第一固定架连接所述第一连杆和所述第二固定架，所述第二固定架固定在底部框架上。可选的，所述第一固定架带有矩形凸台，所述第一固定架和所述第一连杆通过固定端转接块连接，所述固定端转接块设置有矩形凹槽接口，所述矩形凹槽接口与所述第一固定架矩形凸台形成配合，保证了所述线缆支撑机构的垂向精度。可选的，所述第二固定架上设置有第一固定架连接接口以及第二固定架接地连接接口，所述第二固定架通过第一固定架连接接口连接所述第一固定架，同时通过第二固定架接地接口将自身固定在所述底部框架上，所述第一固定架连接接口的尺寸和形状与所述第一固定架的尺寸和形状相匹配。本专利技术还提供了一种工作台，包括如权利要求1～10中任一权利要求所述的线缆支撑机构。在本专利技术提供的线缆支撑机构及工作台中，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在所述底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。所述随动模块固定在整个悬空线缆的重心处，在线缆的整个运动过程中，所述随动模块首先处于静止不动状态，然后做圆周和垂向合成运动，最后再沿水平方向做直线运动。原线缆支撑机构中支架布置在线缆两侧，中间是断开的，无直接连接，且转轴结构过细过小，而本专利技术中支架两端的轴承直接连接在一根较粗的转轴上，因而显著提升了结构垂向刚度，实现支撑线缆，并使线缆不与底部框架摩擦。实现了多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间。同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。附图说明图1为运动工作台及U型线缆示意图；图2为运动工作台及U型线缆运动参数方程示意图；图3为随动线夹运动轨迹仿真示意图；图4为本专利技术实施例1线缆支撑机构结构示意图；图5为本专利技术实施例1随动线夹端结构示意图；图6为本专利技术实施例1连杆连接件结构示意图；图7为本专利技术实施例1固定线夹结构示意图；图8为本专利技术实施例2的线缆支撑机构结构示意图；图9为本专利技术实施例2线缆支撑机构俯视图；图10为本专利技术实施例2中固定线夹与第一连杆的连接结构示意图；图11为本专利技术实施例3中随动线夹处截断线缆的侧视图。其中，11-底部框架，12-工作台，13-U型线缆，14-移动线夹，15-线缆支撑机构，16-固定线夹，31-固定线夹，32-第一连杆，33-第二连杆，34-随动线夹运动路线，35-U型线缆，36-随动线夹，37-连杆连接件，41-随动线夹，42-U型线缆，43-第二连杆，44-第一连杆，45-固定端转接块，46-第一固定架，461-螺栓，47-第二固定架，471-第一固定架连接接口，472-第二固定架接地连接接口，51-支撑高度调节螺栓，52-连杆连接件，521-调整环第一尺寸，522-调整环第二尺寸，53-连杆件固定螺栓，61-第一连杆，62-第二连杆，63-三角位置，64-固定线夹，71-随动线夹，72-U型线缆，73-滚球，74-凹槽，75-底部框架。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。实施例1如图1所示，本专利技术提供了一种线缆支撑机构15，在线缆随工作台12运动的过程中，用以支撑U型线缆13的重力，使线缆不会与底部框架干涉摩擦。所述U型线缆13包括多层排线和排管，所述U型线缆13一端通过固定线夹16固定在底部框架11上，另一端通过移动线夹14与工作台12连接，工作台12在运动装置磁钢矩阵上面做高速，高精度运动，所述U型线缆13跟随工作台12一起运动。参照图1至图3，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在所述底部框架11上；所述随动模块固定在U型线缆35的可活动部分上；所述支撑传接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述U型线缆35。所述固定模块为固定线夹31，所述随动模块为随动线夹36，所述随动线夹36夹紧所述U形线缆35最内一侧排线或排管，并且固定在整个悬空U形线缆35重心处，，在U型线缆35的整个运动过程中，所述随动线夹36首先处于静止不动状态，然后做圆周和垂向合成运动，最后再沿水平方向做直线运动。所述支撑转接模块包括第一连杆32、第二连杆33及连杆连接件37；所述第一连杆的两端分别连接所述固定线夹31和所述第二连杆33的一端，所述连杆连接件37连接所述随动线夹36和所述第二连杆33的另一端。如图2所示，Y为水平运动方向，X为垂直运动方向，对于随动线夹的固定位置，可以根据建立如下参数方程来确定：R*θ+(y-Rsin(θ))＝L/2(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线缆支撑机构，所述线缆的一端固定在一底部框架上，其特征在于，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在所述底部框架上；所述随动模块固定在所述线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。

【技术特征摘要】
1.一种线缆支撑机构，所述线缆的一端固定在一底部框架上，其特征在于，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在所述底部框架上；所述随动模块固定在所述线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。2.如权利要求1所述的线缆支撑机构，其特征在于，所述固定模块为固定线夹，所述随动模块为随动线夹，所述支撑转接模块包括第一连杆、第二连杆及连杆连接件；所述第一连杆的两端分别连接所述固定线夹和所述第二连杆的一端，所述连杆连接件连接所述随动线夹和所述第二连杆的另一端。3.如权利要求2所述的线缆支撑机构，其特征在于，所述随动线夹固定在线缆重心处，在线缆的运动过程中，所述随动线夹首先处于静止不动状态，然后做圆周和垂向合成运动，最后再沿水平方向做直线运动。4.如权利要求2所述的线缆支撑机构，其特征在于，所述随动线夹带有调节螺孔，所述调节螺孔用于放置调节螺栓，所述调节螺栓用于调节随动线夹在垂直方向的位置。5.如权利要求4所述的线缆支撑机构，其特征在于，所述连杆连接件带有凸台，所述凸台用来配合所述调节螺栓调节所述随动线夹的高度。6.如权利要求5所述的线缆支撑机构，其特征在于，所述连杆连接件带有...

【专利技术属性】
技术研发人员：管博然，刘屈武，黄亚庆，李志龙，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31