一种掩模版导轨片贴合装置制造方法及图纸

一种掩模版导轨片贴合装置，其包括第一面夹具和第二面夹具，所述第一面夹具与所述第二面夹具铰接；所述第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，各个第一位置调节旋钮相互配合以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定；所述第二面夹具设有至少两个校准标点，第二面夹具还设有驱动机构，驱动机构的运动端设有固定板，驱动机构用于驱动固定板来回运动；所述固定板用于装载导轨片；第一面夹具与第二面夹具合拢后，所述第二面夹具上的校准标点与掩膜版上的校准标点重合。由于在第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，调节第一位置调节旋钮可以将掩膜版上的校准标点与第二面夹具上的校准标点重合，提高粘贴精度。

【技术实现步骤摘要】
一种掩模版导轨片贴合装置
本申请涉及芯片制造
，具体涉及一种掩模版导轨片贴合装置。
技术介绍
掩膜版为一种由表面金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板，在曝光过程中这些图形文字等信息将被传递到芯片上。导轨片是粘贴在掩膜版的玻璃面下方左右两角的两块金属片，用于掩膜版在半导体曝光机上的装载。现有技术在将导轨片粘贴在掩膜版上后具有以下缺陷：贴合位置精度低，难以达到用户的精度要求；在贴合的过程中胶水容易将导轨片和夹具粘合，造成贴合失败；贴合效率低。
技术实现思路
本申请提供一种掩模版导轨片贴合装置，以提高导轨片在掩膜版上的粘贴精度和效率。根据第一方面，一种实施例中提供一种掩模版导轨片贴合装置，其包括：第一面夹具和第二面夹具，所述第一面夹具与所述第二面夹具铰接；所述第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，各个第一位置调节旋钮相互配合以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定；所述第二面夹具设有至少两个校准标点，第二面夹具还设有驱动机构，驱动机构的运动端设有固定板，驱动机构用于驱动固定板来回运动；所述固定板用于装载导轨片；第一面夹具与第二面夹具合拢后，所述第二面夹具上的校准标点与掩膜版上的校准标点重合。优选地，所述固定板设有至少两个。优选地，所述驱动机构为气缸或电机。优选地，所述固定板上还设有吸气阀，固定板的凹槽底部设有空腔；吸气阀与空腔连通。优选地，所述固定板上还设有第二位置调节旋钮，第二位置调节旋钮的作用在导轨片上，用于在凹槽内对导轨片的位置进行微调，使导轨片与凹槽内的校准点精准对位。优选地，各个第一位置调节旋钮作用在掩膜版的边框上以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定。优选地，还包括CCD显示器，CCD显示器镜头的校准标点与掩膜版上的校准标点、第二面夹具上的校准标点在同一直线上。优选地，所述CCD显示器镜头的校准标点为“十”字标的交叉点。优选地，凹槽的深度小于导轨片的厚度，所述第一位置调节旋钮将掩膜版竖立固定于第一面夹具上，所述固定板的凹槽与掩膜版平行。优选地，所述第二面夹具上的校准标点为“十”字标的交叉点。依据上述实施例的掩模版导轨片贴合装置，由于在第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，调节第一位置调节旋钮可以使得掩膜版上的校准标点与第二面夹具上的校准标点重合，两个校准标点重合后，使得导轨片在驱动机构的带动下可以快速地贴在掩膜版上，且具有极高的粘贴精度。进一步，由于掩膜版竖立固定于第一面夹具上，而装载导轨片的凹槽与掩膜版平行，且凹槽的深度小于导轨片的厚度，在导轨片与掩膜版粘贴的过程中，如果涂在导轨片上的胶水过量，会因为重力的作用向下流，不会导致导轨片和固定板相互粘连。附图说明图1为一实施例掩模版导轨片贴合装置两面夹具打开时的结构视图；图2为一实施例掩模版导轨片贴合装置两面夹具合拢时的侧面视图；图3为一实施例掩模版导轨片贴合装置两面夹具合拢时的正面视图；图4为固定板放大视图；图5为一实施例第二面夹具局部放大视图；图6为一实施例固定板另一视角放大视图。具体实施方式下面通过具体实施方式结合附图对本专利技术作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。实施例一：请参考图1-3，掩模版导轨片贴合装置包括第一面夹具A、第二面夹具B，第一面夹具A与第二面夹具B相互铰接，第一面夹具A上设有6个用于调节掩膜版1位置并在位置校准后将掩膜版1固定的第一位置调节旋钮2，各个第一位置调节旋钮2作用在掩膜版1的边框上，将掩膜版1竖立固定于第一面夹具上A。当然在其它实施例中，也可以设置其它数量的第一位置调节旋钮，例如2个、4个、8个、10个等，可以对掩膜版位置进行调整并将掩膜版固定即可。当设置两个第一位置调节旋钮时，可以仅对掩膜版位置进行调整，而当设置六个第一位置调节旋钮时，不仅可以调整掩膜版的位置，还可以调整掩膜版的姿态。第二面夹具B上设有两个校准标点3，校准标点为“十”字标的交叉点，当然在其它实施例中，也可以设置3个、4个甚至更多的校准标点，一般来说，两个校准标点即可以完成第一面夹具A和第二面夹具B的对准，校准标点也不仅限于“十”字标的交叉点，例如还可以是“丰”字形的其中一个“十”字的中心点，也可以是“×”字形的交叉点等，容易找到校准标点并准确定位即可。第二面夹具B上还装设有驱动机构，驱动机构可以是两个气缸或两个电机。如图2所示，每个气缸8的运动端都固定有一个固定板4，固定板4的侧面设有用于装载导轨片5的凹槽，固定板4在气缸8的作用下将装载在固定板4上的导轨片5推送到掩膜版1的一侧，通过胶水将导轨片粘贴在掩膜版上。上述实施例中，设置了一对固定板4，并在两个驱动机构作用下进行运动。在其它实施例中，也可以根据具有的需求设置三个、四个甚至更多的固定板。而各个固定板的驱动方式可以采用公共一个驱动机构来驱动所有固定板运动，也可以采用多个驱动机构来驱动各个固定板运动。掩膜版1上也设有两个校准标点10，第一面夹具A与第二面夹具B合拢时，第二面夹具上的两个校准标点3分别与掩膜版上的两个校准标点10重合。上面描述了第一面夹具A与第二面夹具B合拢时，第二面夹具上的两个校准标点3分别与掩膜版上的两个校准标点10重合。但是两点之间的重合随两点间的距离和视线角度变化而产生精度问题，因此，作为优选实施例还包括了CCD显示器C，CCD显示器镜头上的校准标点12与掩膜版上的校准标点10、第二面夹具上的校准标点3在同一直线上。由于导轨片可能存在尺寸公差，不一定能够刚好嵌入固定板4上的卡槽中，因此，导轨片可能固定在固定板的不同位置，那么这种情况下，即使第二面夹具上的两个校准标点3分别与掩膜版上的两个校准标点10重合，也会影响到导轨片在掩膜版上的粘贴精度。因此作为优选，请参考图4-5，固定板4上还设有两个第二位置调节旋钮9，固定板4的侧面设有用于装载导轨片的凹槽，固定板4的凹槽内设有校准点6，在本实施例中，校准点6设置凹槽的一角，第二位置调节旋钮9作用在导轨片5上，将导轨片的一角推挤到校准点6以实现导轨片在凹槽内的位置校准，进一步提高粘贴精度。凹槽的深度小于导轨片5的厚度，固定板4的凹槽与掩膜版1平行，而掩膜版竖立固定，如此设计使得多余的胶水会因为重力的作用向下流，而不会导致导轨片5和固定板4相互粘连。请参考图6，在一优选实施例中，固定板4上还设有吸气阀7，固定板4的凹槽底部设有空腔11；吸气阀7与空腔11连通，吸气阀用于在粘贴之前将导轨片吸附在固定板的凹槽内。下面结合附图对本申请的工作原理(将导轨片贴到掩膜版上)进行说明：将掩模版1的玻璃面朝外装载到第一面夹具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模版导轨片贴合装置，其特征在于包括：第一面夹具和第二面夹具，所述第一面夹具与所述第二面夹具铰接；所述第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，各个第一位置调节旋钮相互配合以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定；所述第二面夹具设有至少两个校准标点，第二面夹具还设有驱动机构，驱动机构的运动端设有固定板，驱动机构用于驱动固定板来回运动；所述固定板用于装载导轨片；第一面夹具与第二面夹具合拢后，所述第二面夹具上的校准标点与掩膜版上的校准标点重合。

【技术特征摘要】
1.一种掩模版导轨片贴合装置，其特征在于包括：第一面夹具和第二面夹具，所述第一面夹具与所述第二面夹具铰接；所述第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，各个第一位置调节旋钮相互配合以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定；所述第二面夹具设有至少两个校准标点，第二面夹具还设有驱动机构，驱动机构的运动端设有固定板，驱动机构用于驱动固定板来回运动；所述固定板用于装载导轨片；第一面夹具与第二面夹具合拢后，所述第二面夹具上的校准标点与掩膜版上的校准标点重合。2.如权利要求1所述的掩模版导轨片贴合装置，其特征在于，所述固定板设有至少两个。3.如权利要求1所述的掩模版导轨片贴合装置，其特征在于，所述驱动机构为气缸或电机。4.如权利要求1所述的掩模版导轨片贴合装置，其特征在于，所述固定板上还设有吸气阀，固定板的凹槽底部设有空腔；吸气阀与空腔连通。5.如权利要求1所述的掩模版导轨片贴合装置，其特征在于，所述固定板上还设有第二位置调节旋钮，第...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢超，侯广杰，
申请(专利权)人：深圳市龙图光电有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44