本实用新型专利技术涉及一种掩模版外形尺寸测量装置，包括：底座、螺旋测微器、第一放置槽、第二放置槽以及移动组件，第一放置槽和第二放置槽的宽度不同。本申请提供的上述方案，当需要测量掩模版的长度时，只需要将掩模版放入到对应的第一放置槽或者第二放置槽内，然后转动螺旋测微器，当螺旋测微器上的连接杆伸入到第一放置槽或者第二放置槽内与掩模版侧边抵接时，通过第一放置槽或者第二放置槽减去螺旋测微器上的读数就可以快速得到掩模版的长度，整体装置测量方便，明显提高了测量效率；同时由于第二放置槽的宽度可调，从而进一步方便测量不同厚度的掩模版。厚度的掩模版。厚度的掩模版。
【技术实现步骤摘要】
掩模版外形尺寸测量装置
[0001]本技术涉及掩模版用设备
，特别是涉及一种掩模版外形尺寸测量装置。
技术介绍
[0002]掩模版是一种表面用金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板，一般情况下载板为透明玻璃。
[0003]现有的掩模版尺寸测量装置在使用过程中，需要对掩模版进行固定，然后经过多次对焦，找边，对外形和尺寸进行测量，在测量过程中需要用显微镜对焦，依次检测掩模版两边或四边切割情况，测量四边的尺寸，操作复杂费时，且人工检测重复性高，效率低，无法满足高效生产的需求。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对现有的掩模版尺寸测量装置不方便测量外形尺寸的问题，提供一种掩模版外形尺寸测量装置。
[0005]本技术提供了一种掩模版外形尺寸测量装置，包括：底座、螺旋测微器、第一放置槽、第二放置槽以及移动组件，所述第一放置槽和所述第二放置槽的宽度不同；
[0006]所述底座的侧面设置有第一凹槽，所述螺旋测微器固定在所述第一凹槽内，所述第一放置槽设置在所述底座上，所述第二放置槽设置在所述底座上，所述移动组件与所述第二放置槽连接，用于调节所述第二放置槽的宽度；
[0007]所述第一凹槽分别与所述第一放置槽和所述第二放置槽连通，所述螺旋测微器上的连接杆能够伸入到所述第一放置槽或所述第二放置槽内。
[0008]在其中一个实施例中，所述移动组件包括柱体和伸缩杆，所述柱体固定在所述底座的中心；
[0009]所述第二放置槽朝向所述柱体一侧为活动板，所述伸缩杆的一端与所述柱体连接，另一端与所述活动板连接。
[0010]在其中一个实施例中，所述底座的上表面设置有第二凹槽，所述第二凹槽的底部与所述第一放置槽连通。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一放置槽朝向所述底座外侧面的一侧上设置有斜坡。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一放置槽上的水平槽与竖直槽的交界处设有第一圆弧。
[0013]在其中一个实施例中，所述第二放置槽上的水平槽与竖直槽的交界处设有第二圆弧。
[0014]在其中一个实施例中，还包括第一限位块，所述第一放置槽内沿所述底座高度方向设置有第一卡槽，所述第一限位块与所述第一卡槽相配合。
[0015]在其中一个实施例中，还包括第二限位块，所述第二放置槽内沿所述底座高度方向设置有第二卡槽，所述第二限位块与所述第二卡槽相配合。
[0016]在其中一个实施例中，还包括机械臂和真空吸盘，所述机械臂设置在所述底座上，所述真空吸盘设置在所述机械臂上。
[0017]本技术的有益效果包括：
[0018]本申请提供的掩模版外形尺寸测量装置，当需要测量掩模版的长度时，只需要将掩模版放入到对应的第一放置槽或者第二放置槽内，然后转动螺旋测微器，当螺旋测微器上的连接杆伸入到第一放置槽或者第二放置槽内与掩模版侧边抵接时，通过第一放置槽或者第二放置槽减去螺旋测微器上的读数就可以快速得到掩模版的长度，整体装置测量方便，明显提高了测量效率；同时由于第二放置槽的宽度可调，从而进一步方便测量不同厚度的掩模版。
附图说明
[0019]图1为本技术一实施例提供的掩模版外形尺寸测量装置的示意图；
[0020]图2为图1的又一示意图；
[0021]图3为螺旋测微器与掩模版的安装示意图；
[0022]图4为图3的又一示意图。
[0023]图中标记如下：
[0024]10、底座；101、第一凹槽；102、第二凹槽；20、螺旋测微器；201、连接杆；30、第一放置槽；301、第一圆弧；40、第二放置槽；401、第二圆弧；402、活动板；50、第一限位块；60、第二限位块；70、柱体；80、伸缩杆；90、掩模版。
具体实施方式
[0025]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固
定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0031]如图1并结合图2所示，本技术一实施例中，提供了一种掩模版外形尺寸测量装置，包括：底座10、螺旋测微器20、第一放置槽30、第二放置槽40以及移动组件，第一放置槽30和第二放置槽40的宽度不同，其中，底座10的侧面设置有第一凹槽101，螺旋测微器20固定在第一凹槽101内，第一放置槽30设置在底座10上，第二放置槽40设置在底座10上，移动组件与第二放置槽40连接，用于调本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩模版外形尺寸测量装置，其特征在于，包括：底座(10)、螺旋测微器(20)、第一放置槽(30)、第二放置槽(40)以及移动组件，所述第一放置槽(30)和所述第二放置槽(40)的宽度不同；所述底座(10)的侧面设置有第一凹槽(101)，所述螺旋测微器(20)固定在所述第一凹槽(101)内，所述第一放置槽(30)设置在所述底座(10)上，所述第二放置槽(40)设置在所述底座(10)上，所述移动组件与所述第二放置槽(40)连接，用于调节所述第二放置槽(40)的宽度；所述第一凹槽(101)分别与所述第一放置槽(30)和所述第二放置槽(40)连通，所述螺旋测微器(20)上的连接杆(201)能够伸入到所述第一放置槽(30)或所述第二放置槽(40)内。2.根据权利要求1所述的掩模版外形尺寸测量装置，其特征在于，所述移动组件包括柱体(70)和伸缩杆(80)，所述柱体(70)固定在所述底座(10)的中心；所述第二放置槽(40)朝向所述柱体(70)一侧为活动板(402)，所述伸缩杆(80)的一端与所述柱体(70)连接，另一端与所述活动板(402)连接。3.根据权利要求1所述的掩模版外形尺寸测量装置，其特征在于，所述底座(10)的上表...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯广杰，崔嘉豪，
申请(专利权)人：深圳市龙图光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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