测量装置和测量系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供可获取多样的驱动信息、可实现正确的动作状况分析的测量装置和测量系统。一实施方式的测量装置包括：本体，包括具有对于被测对象物可相对地移动的测量头的探针和使测量头移动的移动机构；以及控制单元，控制移动机构的驱动，包括根据移动机构的驱动，将本体的驱动信息与探针的识别信息相关联地生成的生成单元和记录驱动信息的记录单元。

【技术实现步骤摘要】
测量装置和测量系统
本专利技术涉及实施测量处理的测量装置和测量系统。
技术介绍
以往，已知使测量头沿轴方向(例如，XYZ轴方向)移动，用该测量头测量被测对象物的三维测量机这样的测量装置(例如，参照专利文献1)。这样的测量装置通常包括用于控制测量装置的控制器，通过连接到控制器的主计算机处理实验数据。若在测量动作中发生错误，则错误消息通常被显示在连接到控制器的显示器等的显示装置上。还已知除了错误发生时的错误消息显示之外，将错误日志与时刻信息一起获取并存储的测量装置(例如，参照专利文献2)。对于错误日志的获取，这样的测量装置掌握测量装置的驱动状况，有时还使用测量数据，以预测将来可能发生的故障。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001－21303号公报专利文献2：日本特开2012－78214号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1那样的测量装置中，通常使错误消息只不过暂时显示在显示装置上，若经过一段时间则被删除而不显示。因此，在先前造成的错误的原因追查和解决为止需要时间。特别是，在错误频度较低的测量装置中，由于错误消息的输出频度也较少，所以在用户未关注监视器的画面的情况下，有忽略错误消息的风险。此外，在专利文献2那样的测量装置中，作为错误日志可获取的数据项目是有限的。具体地说，是记录与测量装置包括的移动机构的驱动时间和驱动距离等这样的指定部分有关的累计数据的程度。此外，由于获取的累计的数据是有限的，所以故障的预测也是有限的，该数据对用户只不过是辅助性的。因此，测量装置的动作状况的掌握和故障预测缺少灵活性。鉴于上述这样的课题的至少一部分，本专利技术的目的在于，提供对于测量装置的动作，可获取多样的驱动信息、可实现正确的动作状况分析的测量装置和测量系统。解决课题的方案〔方式1〕根据方式1，提供测量装置。该测量装置包括：本体，具有对于被测对象物可相对地移动的测量头的探针和使测量头移动的移动机构；以及控制单元，是控制移动机构的驱动的控制单元，包括根据移动机构的驱动，将本体的驱动信息与探针的识别信息相关联地生成的生成单元，以及记录驱动信息的记录单元。根据这样的结构，可以获取与探针有关的驱动信息，可以生成多样的驱动信息。多样的驱动信息可以用于更详细的驱动状况的分析。特别是，有关探针的驱动信息，可以用于当前安装的探针的使用状况的掌握，即，对探针消耗了哪种程度、应何时更换，用于合适的分析。〔方式2〕根据方式2，在方式1的测量装置中，控制单元也可以还包括基于测量头与被测量对象的抵接，判定探针的探针输入的输入判定单元。而且，在判定了探针输入时，生成单元也可以增加驱动信息中包含的累计探针测量次数。这样的话，可以将生成的探针的累计测量次数的信息用于探针的使用状况、特别是探针模块(probemodule)的消耗状况的分析。〔方式3〕根据方式3，在方式2的测量装置中，探针中前端具有测量头的触针(stylus)可拆装地安装在探针本体上。而且，增加的累计探针测量次数也可以还与安装在探针本体上的触针的识别信息相关联。这样的话，除了探针的使用状况、特别是探针模块的消耗状况之外，可以将生成的探针的累计测量次数的信息用于安装在探针上的触针的消耗状况的分析。〔方式4〕根据方式4，在方式1至3的任何一个的测量装置中，控制单元也可以包括：将使探针头仅旋转给予的角度的旋转指令供给到探针头的探针头指令单元。而且，在探针头指令单元中供给了旋转指令时，生成单元也可以将探针头累计动作次数增加，并记录在记录单元中。这样的话，可以将生成的探针头的累计动作次数的信息用于探针头的消耗状况的分析。〔方式5〕根据方式5，在方式1至4的任何一个的测量装置中，控制单元还包括：探针类别判定单元，用于判定探针的类别是否为仿形测量用的仿形探针；以及仿形距离计算单元，在探针的类别是仿形探针的情况下，基于每规定的样本时间的测量头的坐标位置，计算仿形距离。而且，在算出了仿形距离时，生成单元也可以将仿形距离与累计仿形距离相加并记录在记录单元中。这样的话，可以将生成的累计仿形距离的信息用于仿形探针的使用状况、特别是仿形探针模块的消耗状况和安装在仿形探针上的触针的消耗状况的分析。〔方式6〕根据方式6，在方式1至5的任何一个的测量装置中，控制单元也可以包括：输入判定单元，基于测量头与被测量对象的抵接，判定探针中的探针输入；以及模式判定单元，判定探针是否在以规定的模式动作。而且，在判定了探针输入，并且判定是规定的模式时，生成单元也可以增加累计碰撞次数，记录在记录单元中。这样的话，可以将生成的累计碰撞次数的信息用于起因于对被测量对象的碰撞的本体的消耗状况的分析。〔方式7〕根据方式7，在方式1至6的任何一个的测量装置中，控制单元也可以包括：基于由时钟确定的时刻计算接通本体的电源后至关断为止的通电时间的通电时间计算单元。而且，在算出了通电时间时，生成单元也可以在累计通电时间信息中相加通电时间并记录在记录单元中。这样的话，可以将生成的累计通电时间用于本体的运转率的分析。〔方式8〕根据方式8，提供测量系统。该测量系统包括：本体装置，包括具有对于被测对象物可相对地移动的测量头的探针、和使探针移动的移动机构；控制用计算机，连接到本体装置，驱动移动机构；以及主计算机，连接到控制用计算机，记录本体装置的寿命信息。而且，控制用计算机根据移动机构的驱动，生成本体装置的驱动信息，记录驱动信息。此外，若从控制用计算机接受驱动信息，则主计算机基于寿命信息和驱动信息，生成本体装置的动作状况信息，输出动作状况信息。而且，寿命信息和驱动信息与探针的识别信息相关联。根据这样的结构，可以获取与探针有关的驱动信息，可以生成多样的驱动信息。多样的驱动信息可以用于更详细驱动状况的分析。特别是，对于当前安装的探针的使用状况的掌握，即，对探针哪种程度消耗、应何时更换，有关探针的驱动信息可以用于合适的分析。另外，根据该结构，用户可以掌握有关探针的动作状况信息。而且，可进行基于正确的维护时期的推断的有效的预防保护。此外，可以对用户在适当的定时提醒维护，此外，容易地进行测量系统中实际地产生动作不良时的原因的阐明等的处理。而且，根据该结构，用户可以在主计算机上参照寿命信息，自由地变更它。用户可以根据利用的实际状态而独自地变更寿命信息，可进行作为预防保护的灵活的应对。〔方式9〕根据方式9，在方式8的测量系统中，在控制计算机驱动移动机构时，也可以从主计算机接受探针的识别信息，识别信息与驱动信息相关联。这样的话，通过与主计算机的协同，可以在控制用计算机中生成每个探针的驱动信息。附图说明图1是三维测量机的概略结构图。图2是移动机构上安装的探针的概略结构图。图3是三维测量机本体上安装的功能块图。图4是移动控制器上安装的功能块图。图5是主计算机上安装的功能块图。图6是三维测量机中的整体处理流程图。图7是三维测量机中的整体处理流程图。图8(a)是移动控制器中的处理流程图。图8(b)是移动控制器中的处理流程图。图8(c)是移动控制器中的处理流程图。图9是移动控制器中的处理流程图。图10是主计算机中的处理流程图。具体实施方式以下，参照附图说明实施方式的测量装置和测量系统。本专利技术不限定于这些例示，而由权利要求书表示，意图在于包含在权利要求书和均等意义及范围内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量装置，包括：本体，包括具有对于被测对象物可相对地移动的测量头的探针和使所述测量头移动的移动机构；以及控制单元，控制所述移动机构的驱动，包括根据所述移动机构的驱动，将所述本体的驱动信息与所述探针的识别信息相关联地生成的生成单元和记录所述驱动信息的记录单元。

【技术特征摘要】
2017.10.04 JP 2017-1943741.一种测量装置，包括：本体，包括具有对于被测对象物可相对地移动的测量头的探针和使所述测量头移动的移动机构；以及控制单元，控制所述移动机构的驱动，包括根据所述移动机构的驱动，将所述本体的驱动信息与所述探针的识别信息相关联地生成的生成单元和记录所述驱动信息的记录单元。2.如权利要求1所述的测量装置，所述控制单元还包括：输入判定单元，基于所述测量头与所述被测量对象的抵接，判定所述探针的探针输入，在判定了所述探针输入时，所述生成单元增加在所述驱动信息中包含的累计探针测量次数。3.如权利要求2所述的测量装置，所述探针中前端具有所述测量头的触针可拆卸地安装在探针本体上，所述增加的累计探针测量次数还与所述探针本体上安装的触针的识别信息相关联。4.如权利要求1至3的任意一项所述的测量装置，所述控制单元还包括：探针头指令单元，将使探针头仅旋转给予的角度的旋转指令供给所述探针头，在所述探针头指令单元中供给了所述旋转指令时，所述生成单元增加探针头累计动作次数，记录在所述记录单元中。5.如权利要求1至4的任意一项所述的测量装置，所述控制单元还包括：探针类别判定单元，用于判定所述探针的类别是否为仿形测量用的仿形探针；以及仿形距离计算单元，在所述探针的类别是所述仿形探针的情况下，基于每规定的样本时间的所述测量头的坐标位置，计算仿形距离，在算出了所述仿形距离时，所述生...

【专利技术属性】
技术研发人员：柄泽侑利，福田满，水上一己，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP