使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统，方法包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、第二光学系统及平面反射镜；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。(3)、通过所述干涉仪进行装调检测。本发明专利技术在使用装调用平板对光学系统进行装调检测，可以在不改变本来光学系统结构的情况下，降低设计难度，同时简化光学系统降低成本。

Installation Detection Method and System of Non-achromatic Optical System Using Interferometer

The invention discloses a detection method and system for the alignment of non-achromatic optical systems using interferometers. The method comprises the following steps: (1) providing the alignment detection optical path of a standard beam expanding optical system, which comprises a visible light interferometer arranged in turn from left to right, a first optical system, a second optical system and a plane mirror; (2) providing the alignment detection optical path of a standard beam expanding optical system. The standard beam expanding optical system assembly and adjustment detection optical path is added to the assembly and invocation plate, and the assembly and invocation plate is installed between the first optical system and the second optical system. (3) Installation and testing by the interferometer. The invention uses a mounting and transferring plate to carry out the mounting and adjusting detection of an optical system, which can reduce the design difficulty without changing the original optical system structure, and simplify the optical system and reduce the cost.

【技术实现步骤摘要】
使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统
本专利技术涉及高精密光学系统设计制造
，特别涉及一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统。
技术介绍
在实际设计制造高精密光学系统过程中，不光需要对光学系统进行较好的设计，同时在加工制造过程中，需要控制加工公差等保证实际光学系统具有良好的成像质量。其中，对光学系统装调是其重要的一步。由于现在所使用的常见的高精度仪器为可见光干涉仪，其干涉仪发射的光线波长为632.8nm。而光学系统实际使用波长不一定包括此波段。如果光学系统针对此波段进行色差校正，则会导致光学系统更复杂，成本增加。本专利技术提出一种方法，通过设计光路使用装调补偿器的方式，在光学系统不校正色差的情况下，可以使用干涉仪进行装调检测，保证光学系统精度。
技术实现思路
本专利技术旨在克服现有技术的缺陷，提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：本专利技术提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。(3)、通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧针对干涉仪波长的平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。通过所述装调用平板进行光程补偿，使所述第一光学系统及第二光学系统组成的扩束光学系统可以通过所述干涉仪进行装调检测。所述第一光学系统与第二光学系统组成平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统。所述平面反射镜可以通过球面反射镜替代。本专利技术还提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，包括：标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间。通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。通过所述装调用平板进行光程补偿，使所述第一光学系统及第二光学系统可以通过所述干涉仪进行装调检测。所述第一光学系统与第二光学系统组成为平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统，此时所述平面反射镜可以通过球面反射镜替代。本专利技术的有益效果在于：本专利技术在使用装调用平板对光学系统进行装调检测，可以在不改变本来光学系统结构的情况下，降低设计难度，同时简化光学系统降低成本。附图说明图1是本专利技术优选实施例平行光扩束光学系统装调检测光路示意图；附图标记说明：1、可见光干涉仪；2、光学系统；3、装调用平板；4、平面反射镜。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，而不构成对本专利技术的限制。本专利技术公开了一种使用干涉仪对非消色差扩束系统装调方法，该方法旨在提供一种方法解决一些光学系统在未消色差的情况下无法使用可见光干涉仪进行装调检测的问题。本专利技术提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪1、第一光学系统2、装调用平板3、第二光学系统4及平面反射镜5，所述第一光学系统2与第二光学系统4组成标准扩束光学系统；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板3，将所述装调用平板3安装于所述第一光学系统2及第二光学系统4之间。(3)、通过所述干涉仪1进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪1波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。如光学系统设计时不考虑消色差，则使用干涉仪对光学系统进行检测时，另一侧出射并不是平行光，故无法使用干涉仪进行装调检测。本专利技术通过在光路中加入装调用平板，使光学系统在使用干涉仪检测时对于干涉仪的波长可以保持两侧都是平行光。本专利技术通过使用装调平板，使在设计加工时不需要考虑消色差，降低设计难度，同时使系统简单化并降低成本。如图1所示的实施例中，通过所述装调用平板3进行光程补偿，使所述第一光学系统2与第二光学系统4组成的扩束系统可以通过所述干涉仪1进行装调检测。如图1所示的实施例中，所述第一光学系统2及与第二光学系统4组成平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统。如图1所示的实施例中，所述平面反射镜5可以通过球面反射镜替代。本实施例通过使用装调用平板使未消色差光学系统可以使用干涉仪进行装调检测，降低设计难度，同时简化光学系统降低成本。本专利技术实施例还提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，包括：该系统旨在解决一些光学系统在未消色差的情况下无法使用可见光干涉仪进行装调检测的问题。本专利技术提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，包括：标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪1、第一光学系统2、装调用平板3、第二光学系统4及平面反射镜5，所述第一光学系统2与第二光学系统4组成标准扩束光学系统；在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板3，将所述装调用平板3安装于所述第一光学系统2及第二光学系统4之间；通过所述干涉仪1进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪1波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。如光学系统设计时不考虑消色差，则使用干涉仪对光学系统进行检测时，另一侧出射并不是平行光，故无法使用干涉仪进行装调检测。本专利技术通过在光路中加入装调用平板，使光学系统在使用干涉仪检测时对于干涉仪的波长可以保持两侧都是平行光。本专利技术通过使用装调平板，使在设计加工时不需要考虑消色差，降低设计难度，同时使系统简单化并降低成本。如图1所示的实施例中，通过所述装调用平板3进行光程补偿，使所述第一光学系统2与第二光学系统4组成的扩束系统可以通过所述干涉仪1进行装调检测。如图1所示的实施例中，所述第一光学系统2及与第二光学系统4组成平行光扩束光路，也可以为校正像差的球面波光学系统。如图1所示的实施例中，所述平面反射镜5可以通过球面反射镜替代。以上所述仅为本专利技术的优选实施例而已，并不用于限制本专利技术，对于本领域的技术人员来说，本专利技术可以有各种更改和变化。凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间；(3)、通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。

【技术特征摘要】
1.一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)、提供标准扩束光学系统装调检测光路，所述标准扩束光学系统装调检测光路包括从左到右依次排列的可见光干涉仪、第一光学系统、装调用平板、第二光学系统及平面反射镜，所述第一光学系统与第二光学系统组成标准扩束光学系统；(2)、在所述标准扩束光学系统装调检测光路加入装调用平板，将所述装调用平板安装于所述第一光学系统及第二光学系统之间；(3)、通过所述干涉仪进行装调检测，此时光学系统两侧均针对干涉仪波长保持平行光，装调完成后，拿走装调平板，此时为设计使用标准扩束光学系统。2.如权利要求1所述的使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，通过所述装调用平板进行光程补偿，使所述第一光学系统及第二光学系统可以通过所述干涉仪进行装调检测。3.如权利要求1所述的使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，所述第一光学系统与第二光学系统组成为平行光扩...

【专利技术属性】
技术研发人员：何锋赟，胡玥，张春林，贾庆莲，赵新令，刘扬，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22