【技术实现步骤摘要】
一种波导阵列的相差测量装置及测量方法
本专利技术涉及波导阵列
，具体涉及一种波导阵列的相差测量装置及测量方法。
技术介绍
相控阵芯片的输出光束扫描是通过动态调整阵列波导之间的位相差实现的，位相差由输入光波长、波导有效折射率、波导长度三个因素决定，因此，利用电光或热光效应调制波导有效折射率，或利用波长可调激光器调整入射光波长，即可实现位相差的调制。由于芯片加工条件限制，阵列波导中的不同波导之间的初始相差呈随机分布，在光束方向扫描前，需要通过相位调制方法进行相差修正，使不同阵列波导之间的相差为零。因此，波导阵列之间的相差测量和调节是集成芯片相控阵芯片的关键技术之一。目前波导间相差测量的常用方案是在相邻波导中的每一根波导上通过定向耦合器提取一部分光束，两束光通过合束器叠加，在出射端形成干涉，由于干涉强度与两根波导中光束的相差呈余弦关系，通过干涉强度的测量，可以推算出两根波导之间的相位差。现有技术的相差测量是在相邻波导间通过定向耦合器引出光束，再合束测量干涉强度，此方法存在以下缺点：1、测量装置结构复杂，尺寸较大。这意味着，相邻波导间距不可能很小。然而，相控阵光束的...
【技术保护点】
1.一种波导阵列的相差测量装置，其特征在于，包括监控波导和探测器(3)；所述监控波导设于相邻阵列波导(4)之间，与所述阵列波导(4)之间通过倏逝波耦合形成耦合光束；所述耦合光束通过所述片外耦合器(2)传输至所述探测器(3)；所述探测器(3)将所述耦合光束转化并输出电流信号。
【技术特征摘要】
1.一种波导阵列的相差测量装置，其特征在于，包括监控波导和探测器(3)；所述监控波导设于相邻阵列波导(4)之间，与所述阵列波导(4)之间通过倏逝波耦合形成耦合光束；所述耦合光束通过所述片外耦合器(2)传输至所述探测器(3)；所述探测器(3)将所述耦合光束转化并输出电流信号。2.根据权利要求1所述的波导阵列的相差测量装置，其特征在于，所述探测器(3)设置于所述监控波导的末端。3.根据权利要求1所述的波导阵列的相差测量装置，其特征在于，所述监控波导末端设置有光反射镜，所述探测器(3)对应设置于所述监控波导相对于所述光反射镜的另一侧。4.根据权利要求3所述的波导阵列的相差测量装置，其特征在于，所述光反射镜为光栅反射镜(5)。5.根据权利要求3所述的波导阵列的相差测量装置，其特征在于，所述监控波导与所述探测器(3)之间设置有第一宽波导(6)和第二宽波导(7)...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘敬伟，李文玲，田立飞，张新群，
申请(专利权)人：中科天芯科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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