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本发明提供的一种波导阵列的相差测量装置，包括监控波导、片外耦合器和探测器；所述监控波导设于相邻阵列波导之间，与所述阵列波导之间通过倏逝波耦合形成耦合光束；所述耦合光束通过所述片外耦合器传输至所述探测器；所述探测器将所述耦合光束转化并输出电流...
该专利属于中科天芯科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科天芯科技（北京）有限公司授权不得商用。

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