加热器内置阀制造技术

本发明专利技术提供一种与以往的加热器内置阀相比，能够使从阀中通过的气体的液化、蒸发更少的加热器内置阀。本发明专利技术的加热器内置阀(1)包括：阀体(10)，其具有气体的入口流路(11)、出口流路(12)及在这些流路之间形成的阀座(13)；阀杆(20)，其在下端部具有相对于阀座(13)抵接/分离的阀芯(21)；盖部件(31)，其气密地固定于阀体(10)的上部，所述阀杆(20)贯穿该盖部件(31)；以及波纹管(39)，其焊接固定于阀杆(20)及盖部件(31)，其中，盖部件(31)具有至少一个加热器插入孔(34)，在加热器插入孔(34)中插入配置至少一个杆状加热器(36)。

【技术实现步骤摘要】
加热器内置阀
本专利技术涉及加热器内置阀。
技术介绍
在半导体制造工序中将真空腔内与真空泵连接的流路的中途设置的阀，包括内置加热器且在超过200℃的高温条件下使用的装置。专利文献1记载的阀是高温用的波纹管阀，进行从外部的加热，并在阀芯中内置有加热器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4923105号公报
技术实现思路
在高温条件下使用阀的情况下，根据在阀中流动的不同种类气体，会由于温度不均匀而在阀内部发生气体的液化、蒸发。加热器内置阀用于解决这类课题，但对于专利文献1所示在阀芯中内置有加热器的阀而言，也由于阀内部的温度不均匀性而存在根据条件不同发生气体的液化、蒸发的情况。此时，液化、蒸发主要在波纹管(bellows)上部发生，因此希望防止从阀上方的散热而对阀内部整体均匀地加热。本专利技术(1)的加热器内置阀包括：阀体，其具有气体的入口流路、出口流路及在这些流路之间形成的阀座；阀杆，其在下端部具有相对于所述阀座抵接/分离的阀芯；盖部件，其气密地固定于所述阀体的上部，所述阀杆贯通该盖部件；以及波纹管，其焊接固定于所述阀杆及所述盖部件，在加热器内置阀中，所述上部盖部件具有至少一个加热器插入孔，至少一个杆状加热器插入配置在所述加热器插入孔中。本专利技术(1)由于具有上述构造，因此能够修正阀内部的温度的不均匀性，防止在波纹管上部从阀中通过的气体的液化和蒸发。另外，盖部件上设有加热器插入孔，只要在该加热器插入孔中插入杆状加热器即可，因此加热器的更换容易。本专利技术(2)在本专利技术(1)所述的加热器内置阀的基础上，进一步设置有在所述阀杆内部配置的加热器。本专利技术(2)除了本专利技术(1)的在盖部件内部设置的杆状加热器以外，还在阀杆内部设置有加热器。因此与本专利技术(1)相比，加热器内部的温度更加均匀，阀内部的温度的不均匀性得到改善，能够进一步防止从阀中通过的气体的液化和蒸发。本专利技术(3)在本专利技术(1)或(2)所述的加热器内置阀的基础上，将所述加热器插入孔设置在所述盖部件的侧面。根据本专利技术(3)，由于加热器插入孔设置在盖部件的侧面，因此在加热器的更换或修理等时需要将加热器拔出后再插入的情况下，不需要进行阀的分解，其作业容易。本专利技术(4)在本专利技术(3)所述的加热器内置阀的基础上，所述加热器插入孔为贯通孔。根据本专利技术(4)，由于加热器插入孔两端开口，因此加热器无论从哪一侧的开口部均能够进行插入/拔出，能够减少由阀的设置环境引起的加热器插拔的困难。本专利技术(5)在本专利技术(3)所述的加热器内置阀的基础上，加热器插入孔是隔着阀杆平行设置的至少两个孔。根据本专利技术(5)，由于加热器插入孔隔着阀杆设置两个以上，因此若预先穿设预想数量的加热器插入孔，则在阀中流动与其他种类的气体相比液化、蒸发性高的气体的情况下，能够将加热器插入未使用的加热器插入孔中，容易地进行加热器增设。专利技术效果根据本专利技术的具有对波纹管加热的加热器的加热器内置阀，与以往的加热器内置阀相比，能够减少从阀中通过的气体的液化、蒸发，还能够容易地进行加热器的更换等。附图说明图1表示本专利技术的加热器内置阀的实施例1。图2表示从上面观察实施例1的加热器内置阀的盖部件时的俯视图。图3表示实施例2的加热器内置阀的阀体、盖部件周围的立体图。附图标记说明1；加热器内置阀10；阀体11；入口流路12；出口流路13；阀座20；阀杆21；阀芯31；盖部件34；加热器插入贯通孔35；第1筒形加热器36；第2筒形加热器39；波纹管具体实施方式以下参照附图例示地对本专利技术的优选实施例进行详细说明。其中，本实施例记载的构成部件的相对配置等只要没有特别地特定记载，都只不过是简单的说明例，而并非将本专利技术的范围限定于此。另外，为了方便，存在根据图面上的方向将部件等的方向称为上下左右的情况，但这些方向也并不是对本专利技术的范围加以限定。图1是表示本专利技术的加热器内置阀的实施例1的图，该阀1也被称为加热器内置真空开闭阀。在阀体10的内部具备入口流路11和出口流路12，在二者之间形成有阀座13。流体构成为从左方流入，在阀打开的状态下朝向下方流动。阀的开闭状态通过与阀座13抵接的阀芯21的移动来控制，在阀座13与阀芯21紧贴时，流体的流动被阻断，在阀座13与阀芯21分离时，流体从左方流入阀，并向阀的下方流出。阀芯21形成在阀杆20的下端部，在阀杆20的内部形成有加热器收容空间22，在该加热器收容空间22中嵌入有第1筒形加热器35。并且，加热器只要能在阀杆内部进行加热，可以是任意构造，也可以使用护套式加热器等。在阀体10的上部设置有阀杆20贯穿的盖部件31。波纹管39的一端焊接在盖部件31上，另一端焊接于在阀杆上设置的波纹管凸缘30上，从而防止流体向外部泄漏。盖部件31上设置有供杆状的第2筒形加热器36C、36D插入的加热器插入贯通孔34C、34D。加热器插入贯通孔34包括沿从正面朝向背面的方向在左右穿孔的两个加热器插入贯通孔34A、34B、沿从左方朝向右方的方向(以虚线表示的)加热器插入贯通孔34C、以及隐藏在贯通孔34C背后侧(在图1中是纸面后侧)的34D。图1示出下述状态：在前侧的加热器插入贯通孔34C中从右侧插入有第2筒形加热器36C，在后侧的加热器插入贯通孔34D中从左侧插入有第2筒形加热器36D，而在左侧的加热器插入贯通孔34A及右侧的加热器插入贯通孔34B未插入第2筒形加热器36。并且，插入了的第2筒形加热器36与动力线40a连接。并且，插入到加热器插入贯通孔34中的加热器不限于筒形加热器，只要是杆状构造即可。致动器(省略附图标记)借助拉杆51支承于罩部14，借助芯柱50利用电力或电磁力使阀杆20沿上下方向动作。在阀体10的外周卷绕有入口流路用带式加热器43a、出口流路用带式加热器43b及阀体用带式加热器43c。利用这些带式加热器也能够从阀体10的外部对阀体10的内部进行加热。另外，根据流动的气体的种类，存在为了防止流动气体的液化、蒸发而希望追加加热器的情况。在本实施例1的专利技术中，由于盖部件31具有追加的加热器插入贯通孔34A、34B，因此不需要为了设置新的加热器插入孔的设计变更或追加加工。图2是从A－A观察的向视图。在盖部件31上穿设有四个加热器插入贯通孔34(34A、34B、34C、34D)，在图中纵向为34A、34B两个，横向为34C、34D两个，纵向穿孔的34A、34B和横向穿孔的34C、34D在图1所示的加热器内置阀1的上下方向上位于不同高度。盖部件31利用螺栓44固定在阀体10上。在实施例1中，由于第2筒形加热器36A及36B未插入，因此在图2中以双点划线示出。在盖部件31的上表面安装罩部14，盖部件31和罩部14利用螺栓42固定，杆51的下端部固定于罩部14的上表面。在盖部件31的右侧面插入有热电偶45，对第2筒形加热器36附近的温度进行监视。图3是阀体10、盖部件31附近的立体图，局部示出剖面。对于基于图1及图2已说明的内容省略说明。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器内置阀，其包括：阀体，其具有气体的入口流路、出口流路及在这些流路之间形成的阀座；阀杆，其在下端部具有相对于所述阀座抵接/分离的阀芯；盖部件，其气密地固定于所述阀体的上部，所述阀杆贯穿该盖部件；以及波纹管，其焊接固定于所述阀杆及所述盖部件，该加热器内置阀的特征在于，所述盖部件具有至少一个加热器插入孔，至少一个杆状加热器插入配置在所述加热器插入孔中。

【技术特征摘要】
2017.09.29 JP 2017-1917701.一种加热器内置阀，其包括：阀体，其具有气体的入口流路、出口流路及在这些流路之间形成的阀座；阀杆，其在下端部具有相对于所述阀座抵接/分离的阀芯；盖部件，其气密地固定于所述阀体的上部，所述阀杆贯穿该盖部件；以及波纹管，其焊接固定于所述阀杆及所述盖部件，该加热器内置阀的特征在于，所述盖部件具有至少一个加热器...

【专利技术属性】
技术研发人员：平松浩司，曾我尾昌彦，药师神忠幸，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP