PVD电弧离子镀检测烧弧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其包括绝缘座、直流中间继电器、引入电杆、连接片和连接螺杆，连接片的一端通过连接螺杆固定在屏敝罩的边缘，绝缘座对应连接片的另一端位置固定在弧靶底座上，引入电杆固定绝缘座的安装孔上，且该引入电杆的一端与连接片的另一端相连接，引入电杆的另一端与直流中间继电器相连接，直流中间继电器与电弧电源相连接；当屏蔽罩有烧弧现象时，直流中间继电器动作，进而切断电弧电源的控制线路，电弧靶停止工作，避免了烧弧现象进一步发生，不仅可以避免屏蔽罩完全烧熔的问题，减少损失，还可以避免烧到绝缘材料，不产生大量杂质气体，避免工件污染，另外整体结构简单，易于实现，利于广泛推广应用。

【技术实现步骤摘要】
PVD电弧离子镀检测烧弧装置
本技术属于PVD电弧离子镀
，尤其涉及一种PVD电弧离子镀过程检测烧弧的PVD电弧离子镀检测烧弧装置。
技术介绍
多弧离子镀是PVD技术中应用最广泛的一种，过程是在真空条件下，利用气体放电使工作气体或蒸发物质部分离化，在工作气体离子或被蒸发物质的离子轰击作用下，把蒸发材料或者反应后的物质沉积在被镀物品表面的过程。其蒸发结构有水冷阴极、引弧电极、磁场、屏蔽罩等组成。其中屏蔽罩起到约束弧斑，避免弧斑运行到靶的侧面及阴极座的重要装置，其与靶的间隙约在1毫米左右，太小或者太大都会引起不良后果，鉴于离子镀过程中是采用低电压高电流的方式来维持弧光放电过程，如果在屏蔽罩和靶之间由于膜层沉积累或膜层掉入形成短路，会使弧斑跑到屏蔽罩上放电蒸发，烧融屏蔽罩（无冷却水）甚至绝缘材料，使杂质材料蒸发出来，导致膜层不良。为此，市场上需要一种可以及时检测到烧弧现象，以切断电源，避免屏蔽罩和其他部件烧融的PVD电弧离子镀检测烧弧装置。
技术实现思路
针对上述不足，本技术的目的在于，提供一种结构设计巧妙、合理，能检测到烧弧现象，以及时切断电源，避免屏蔽罩和其他部件烧融的PVD电弧离子镀检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其特征在于，其包括绝缘座、直流中间继电器、引入电杆、连接片和连接螺杆，连接片的一端通过连接螺杆固定在屏敝罩的边缘，所述绝缘座对应连接片的另一端位置固定在弧靶底座上，该绝缘座上设有用来安装所述引入电杆的安装孔，引入电杆固定该安装孔上，且该引入电杆的一端与连接片的另一端相连接，引入电杆的另一端与直流中间继电器相连接，直流中间继电器与电弧电源相连接。

【技术特征摘要】
1.一种PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其特征在于，其包括绝缘座、直流中间继电器、引入电杆、连接片和连接螺杆，连接片的一端通过连接螺杆固定在屏敝罩的边缘，所述绝缘座对应连接片的另一端位置固定在弧靶底座上，该绝缘座上设有用来安装所述引入电杆的安装孔，引入电杆固定该安装孔上，且该引入电杆的一端与连接片的另一端相连接，引入电杆的另一端与直流中间继电器相连接，直流中间继电器与电弧电源相连接。2.根据权利要求1所述的PVD电弧离子镀检测烧弧装置，其特征在于，所述直流中间继电器的工作线圈负极端与引入电杆相连接，直流中间继电器的工作线圈正极端与真空炉体相连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈家锐，陈万久，
申请(专利权)人：东莞索坤莱工业装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44