一种新型环状靶材结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型环状靶材结构，其结构包括装置本体、固定块和靶材，所述装置本体的底部设有夹板，所述夹板的内部中间位置设有插销，所述插销与夹板之间的连接方式为可拆卸连接，所述夹板的上部位置设有固定轴，所述固定轴的上部位置设有传动轮，所述传动轮与固定轴之间的连接方式为转动连接，所述传动轮位于装置本体的中部位置，所述传动轮的上部位置设有转动杆，所述转动杆与传动轮之间的连接方式为固定连接，所述转动杆的上部位置设有保护板，所述转动杆与保护板之间通过固定块连接。该一种新型环状靶材结构，通过装置本体上设有的储液板及内部设有的冷却杆，可以提高装置的冷却性能的同时提高了装置的工作时间，经济实用性较强。

A New Ring Target Structure

The utility model discloses a novel annular target structure, which comprises a device body, a fixing block and a target material. The bottom of the device body is provided with a splint, and the internal middle position of the splint is provided with a pin. The connection mode between the pin and the splint is removable. The upper part of the splint is provided with a fixing shaft, and the upper part of the fixing shaft is provided with a transmission. The connection mode between the transmission wheel and the fixed shaft is rotational connection, the transmission wheel is located in the middle part of the device body, the upper part of the transmission wheel is provided with a rotating rod, the connection mode between the rotating rod and the transmission wheel is fixed connection, the upper part of the rotating rod is provided with a protective plate, and the rotating rod and the protective plate are connected by a fixed block. The new annular target structure can improve the cooling performance of the device and the working time of the device through the liquid storage plate on the device body and the cooling rod inside, which is economical and practical.

【技术实现步骤摘要】
一种新型环状靶材结构
本技术涉及磁控溅射
，具体为一种新型环状靶材结构。
技术介绍
随着电弧放电真空镀膜技术的应用越来越广泛，人们开始对靶材的利用率及设备生产效率的追求也不断提高，特别是对贵重材料，靶材的利用率直接影响生产成本，而设备的定期维修周期的长短对设备的生产效率的提高起了关键性的作用。现有的靶材包括圆盘型靶材和圆柱型靶材，其中圆盘型靶材结构简单，冷却效果好，磁场线圈容易安置，设备工作性能稳定，但由于靶材厚度高，在进行长时间连续的生产后容易产生较高的热量，容易造成安全事故的发生。且现有的装置不能够进行内部的冷却液的更换，导致冷却液在使用一段时间后冷却液不能进行更换导致装置的使用寿命降低，不利于使用者的使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种新型环状靶材结构，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型环状靶材结构，其结构包括装置本体、夹板、插销、固定轴、传动轮、转动杆、冷却杆、储液板、内膜盘、保护板、固定块和靶材，所述装置本体的底部设有夹板，所述夹板的内部中间位置设有插销，所述插销与夹板之间的连接方式为可拆卸连接，所述夹板的上部位置设有固定轴，所述固定轴的上部位置设有传动轮，所述传动轮与固定轴之间的连接方式为转动连接，所述传动轮位于装置本体的中部位置，所述传动轮的上部位置设有转动杆，所述转动杆与传动轮之间的连接方式为固定连接，所述转动杆的上部位置设有保护板，所述转动杆与保护板之间通过固定块连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述保护板位于装置本体的上部位置，所述保护板的上部中间位置设有靶材，所述靶材与保护板之间的连接方式为可拆卸连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述装置本体的上部中间位置设有储液板，所述储液板位于靶材的内部位置，所述储液板与靶材之间的连接方式为可拆卸连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述储液板的内部中间位置设有降温孔，所述降温孔与储液板之间的连接方式为嵌入式连接，所述储液板的底部两侧位置设有冷却杆，所述冷却杆位于保护板的内部。作为本技术的一种优选实施方式，所述保护板的内部两侧位置设有内膜盘，所述内膜盘位于冷却杆的上部位置。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：该一种新型环状靶材结构，通过装置上设有的冷却杆，可以在提高装置的工作时间的同时提高装置的冷却效果，方便了装置的使用。该一种新型环状靶材结构，通过装置上设有的储液板，可以方便使用者进行冷却液的更换，提高了装置的生产效率，方便了装置的使用。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术一种新型环状靶材结构的整体结构示意图；图2为本技术一种新型环状靶材结构的俯视结构示意图；图3为本技术一种新型环状靶材结构的结构示意图；图中:装置本体-1、夹板-2、插销-3、固定轴-4、传动轮-5、转动杆-6、冷却杆-7、储液板-8、内膜盘-9、保护板-10、固定块-11、靶材-12，降温孔-13。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：装置本体1、夹板2、传动轮5、转动杆6、储液板8、内膜盘9、固定块11和靶材12，所述装置本体1的底部设有夹板2，所述夹板2的内部中间位置设有插销3，所述插销3与夹板2之间的连接方式为可拆卸连接，所述夹板2的上部位置设有固定轴4，所述固定轴4的上部位置设有传动轮5，所述传动轮5与固定轴4之间的连接方式为转动连接，所述传动轮5位于装置本体1的中部位置，所述传动轮5的上部位置设有转动杆6，所述转动杆6与传动轮5之间的连接方式为固定连接，所述转动杆6的上部位置设有保护板10，所述转动杆6与保护板10之间通过固定块11连接。请参阅图2，所述保护板10位于装置本体1的上部位置，所述保护板10的上部中间位置设有靶材12，所述靶材12与保护板10之间的连接方式为可拆卸连接,方便了靶材12工作的同时通过保护板10可以很好的对靶材12进行保护，提高了装置本体1的使用时间。请参阅图2，所述装置本体1的上部中间位置设有储液板8，所述储液板8位于靶材12的内部位置，所述储液板8与靶材12之间的连接方式为可拆卸连接，方便了储液板8的储液，同时方便了靶材12的工作，方便了装置本体1的使用。请参阅图2，所述储液板8的内部中间位置设有降温孔13，所述降温孔13与储液板8之间的连接方式为嵌入式连接，所述储液板8的底部两侧位置设有冷却杆7，所述冷却杆7位于保护板10的内部，方便了冷却杆对装置本体1的冷却，同时方便了对装置本体1内部的冷却液进行更换，方便了装置本体1的使用。请参阅图1，所述保护板10的内部两侧位置设有内膜盘9，所述内膜盘9位于冷却杆7的上部位置，减少了对内膜盘9的磨损，提高了装置本体1的使用寿命，方便了装置本体1的使用。本技术所述的一种新型环状靶材结构，使用者在对该装置进行使用时，通过装置本体1底部设有的夹板2，可以使装置本体1对外部的靶座进行连接，通过传动轮5可以对传动轮5上部的装置进行转动，从而可以使装置本体1进行工作，通过装置本体1上部设有的保护板10可以使靶材12在进行工作时减少靶材12的消耗，提高了靶材12的工作时间，靶材12在工作时储液板8及其内部设有的冷却杆7可以有效的对装置本体1进行有效的降温冷却，在冷却液需要进行更换时通过储液板8捏不设有的降温孔13即可进行更换，方便了装置本体1的使用，通过以上装置的组合，解决了
技术介绍
提出的问题。本技术的装置本体-1、夹板-2、插销-3、固定轴-4、传动轮-5、转动杆-6、冷却杆-7、储液板-8、内膜盘-9、保护板-10、固定块-11、靶材-12，降温孔-13，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是仅为现有的装置不能在提高装置的工作时间的同时提高装置的冷却效果且不能进行冷却液的更换的问题，本技术通过上述部件的互相组合，通过装置上设有的冷却杆，可以在提高装置的工作时间的同时提高装置的冷却效果，方便了装置的使用，通过装置上设有的储液板，可以方便使用者进行冷却液的更换，提高了装置的生产效率，方便了装置的使用。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型环状靶材结构，其结构包括装置本体(1)、夹板(2)、传动轮(5)、转动杆(6)、储液板(8)、内膜盘(9)、固定块(11)和靶材(12)，其特征在于：所述装置本体(1)的底部设有夹板(2)，所述夹板(2)的内部中间位置设有插销(3)，所述插销(3)与夹板(2)之间的连接方式为可拆卸连接，所述夹板(2)的上部位置设有固定轴(4)，所述固定轴(4)的上部位置设有传动轮(5)，所述传动轮(5)与固定轴(4)之间的连接方式为转动连接；所述传动轮(5)位于装置本体(1)的中部位置，所述传动轮(5)的上部位置设有转动杆(6)，所述转动杆(6)与传动轮(5)之间的连接方式为固定连接，所述转动杆(6)的上部位置设有保护板(10)，所述转动杆(6)与保护板(10)之间通过固定块(11)连接。

【技术特征摘要】
1.一种新型环状靶材结构，其结构包括装置本体(1)、夹板(2)、传动轮(5)、转动杆(6)、储液板(8)、内膜盘(9)、固定块(11)和靶材(12)，其特征在于：所述装置本体(1)的底部设有夹板(2)，所述夹板(2)的内部中间位置设有插销(3)，所述插销(3)与夹板(2)之间的连接方式为可拆卸连接，所述夹板(2)的上部位置设有固定轴(4)，所述固定轴(4)的上部位置设有传动轮(5)，所述传动轮(5)与固定轴(4)之间的连接方式为转动连接；所述传动轮(5)位于装置本体(1)的中部位置，所述传动轮(5)的上部位置设有转动杆(6)，所述转动杆(6)与传动轮(5)之间的连接方式为固定连接，所述转动杆(6)的上部位置设有保护板(10)，所述转动杆(6)与保护板(10)之间通过固定块(11)连接。2.根据权利要求1所述的一种新型环状靶材结构，其特征在于：所述保护板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟华，
申请(专利权)人：南京迪纳科材料发展股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32