【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置
本技术属于真空镀膜设备领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜机靶前挡板传动密封装置。
技术介绍
在真空镀膜的应用中，真空腔室内会同时装配多种不同的靶和源等。为了防止镀膜过程中相互影响而污染靶的表面，必须在各自靶和源的前方设置活动遮挡板。遮挡板在真空腔室内开闭，需要传动密封装置将旋转动力从真空腔室外部传入腔室内部。为了保证真空腔室的真空度，要求传动装置穿过腔室壁时能保持良好的密封性能。目前镀膜设传动密封装置多采用O型圈密封或磁流体密封，这种传统的密封方式需要定期维护，存在动密封传动的可靠性和泄露问题，造成真空镀膜腔室污染，严重影响镀膜工艺的稳定性和膜层质量。因此，在真空镀膜领域需要一种更可靠有效的遮挡板传动密封装置。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置，所述装置可有效解决现有遮挡板传动密封装置中易泄露的问题。一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置，所述装置包括驱动控制组件和波纹管传动密封装置；波纹管传动密封装置包括主动传力轴、转动接头、从动传力轴、密封波纹管、支撑壳体和法兰；其中，法兰的一端固定在真空腔室外壁上，另一端与支撑壳体连接，主动传力轴、转动接头、从动传力轴和密封波纹管位于支撑壳体中，密封波纹管的一端与转动接头连接，另一端与支撑壳体连接，主动传力轴穿过支撑壳体壁与驱动控制组件连接，从动传力轴位于密封波纹管中，从动传力轴的一端通过转动接头与主动传力轴连接，另一端穿过支撑壳体壁与真空腔室中的挡板组件连接。进一步的，所述传动密封装置中的真空密封结构均为机械静密封。有益效果：本技术所述装置...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置，其特征在于：所述装置包括驱动控制组件(1)和波纹管传动密封装置(2)；波纹管传动密封装置(2)包括主动传力轴(21)、转动接头(22)、从动传力轴(23)、密封波纹管(24)、支撑壳体(25)和法兰(26)；其中，法兰(26)的一端固定在真空腔室(3)外壁上，另一端与支撑壳体(25)连接，主动传力轴(21)、转动接头(22)、从动传力轴(23)和密封波纹管(24)位于支撑壳体(25)中，密封波纹管(24)的一端与转动接头(22)连接，另一端与支撑壳体(25)连接，主动传力轴(21)穿过支撑壳体(25)壁与驱动控制组件(1)连接，从动传力轴(23)位于密封波纹管(24)中，从动传力轴(23)的一端通过转动接头(22)与主动传力轴(21)连接，另一端穿过支撑壳体(25)壁与真空腔室(3)中的挡板组件(4)连接。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置，其特征在于：所述装置包括驱动控制组件(1)和波纹管传动密封装置(2)；波纹管传动密封装置(2)包括主动传力轴(21)、转动接头(22)、从动传力轴(23)、密封波纹管(24)、支撑壳体(25)和法兰(26)；其中，法兰(26)的一端固定在真空腔室(3)外壁上，另一端与支撑壳体(25)连接，主动传力轴(21)、转动接头(22)、从动传力轴(23)和密封波纹管(24)位于支撑壳体(25)中，密封波...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘强，骆水连，洪明，陈飞鹏，魏广，秦丽丽，李亚丽，夏成明，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：甘肃,62
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