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本实用新型属于真空镀膜设备领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜机靶前挡板传动密封装置。所述装置包括驱动控制组件和波纹管传动密封装置；波纹管传动密封装置包括主动传力轴、转动接头、从动传力轴、密封波纹管、支撑壳体和法兰；其中，法兰的一端固定在真空腔室...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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