小电阻元件电阻温度系数的测试装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，包括如下部件：导热块(3)；加热片(4)；制冷装置(2)；电阻采集装置(5)；电阻测试板(10)；温度控制装置(6)；显示屏(8)。本发明专利技术还公开了所述测试装置测量小电阻元件电阻温度系数的测量方法。

【技术实现步骤摘要】
小电阻元件电阻温度系数的测试装置及方法
本专利技术属于测试
，特别涉及一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置及方法。
技术介绍
随着设备的更新和工艺技术的进步，混合集成电路的小电阻元件越来越多，为了保证混合集成电路正常工作，不仅要求小电阻元件的电阻精度高，而且要求小电阻元件电阻的温度系数恒定在某一适合值。通过电阻温度系数的测量和计算，用于其对发热性能进行研究和优化电阻浆料。电阻温度系数的测量和计算方法如下：TCR(平均)＝(R2-R1)/(R1*(T2-T1))＝(R2-R1)/(R1*ΔT)，其中，TCR为电阻温度系数，T1为初始温度值，T2为预设高温的温度值，R1为初始温度下的电阻值，R2为升温至预设高温下的电阻值。即可得到对应小电阻元件的平均TCR值。在科研生产领域的工作中，每天都有大量的小电阻元件需测定电阻的温度系数，较多电路要求标出电阻的温度系数的精确值，因此需要开发出准确测定电阻温度系数的装置。中芯国际集成电路制造(上海)有限公司公布号为CN101329295B的专利公开了电阻温度系数测量方法，该专利采用热盘加热到设定点温度测量电阻，并建立电阻与电流的对应关系，然后确定电流与温度的关系，最终在数据库中根据相关公式计算出TCR值，但是该专利忽略了测量电阻时应在设定温度恒温一段时间测量静态电阻值，边通电加热边实时采集电阻值将会影响测量电阻阻值的准确性，尤其对于小阻值电阻将带来无法忽略的影响。上海华虹宏力半导体制造有限公司公布号为CN102636695B的专利也公开了一种电阻温度系数测量的方法，该专利详细说明了应测量探针自身电阻、探针和探垫的接触电阻的影响，及在实际测试中无法避免因测量端与电阻接触的松紧度影响测量电阻的阻值准确度，但是未公开关于如何测量相应TCR值的方法。现有技术的电阻温度系数测量存在以下缺点：1、测量过程为人工操作，工序较为复杂，测试时间长，测量精度易受人工操作影响，不能自动采集不同温度对应电阻值，误差较大。2、电阻小于1Ω的电阻温度系数测量较为繁杂，且难以实现实时测量。3、现有技术的电阻温度系数的测量为边通电加热边实时采集电阻值和温度值，电阻和温度的精度有待提高。4、现有技术的电阻温度系数的设备测量端与电阻接触端的松紧度也影响电阻值测量结果的准确性。为解决上述问题，提出本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，有效解决了测量小电阻元件的电阻温度系数存在的测量工序繁杂、不能自动采集不同温度对应的电阻、带电测量电阻的准确性，以及设备测量端与电阻接触端的松紧度影响电阻温度系数测量结果的准确性等问题。本专利技术的目的通过以下技术方案予以实现：本专利技术第一方面公开了一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，所述小电阻元件为用于集成电路中的元件；所述测试装置包括如下部件：--导热块3，大致为立方体状，其内布置有温度检测装置7，其一侧面开有若干测试槽9；--加热片4，贴合布置在所述导热块3下端面；--制冷装置2，布置在所述导热块3上面；--电阻采集装置5；--电阻测试板10，其上有测试通孔1002，通过连接线1001与所述电阻采集装置5电连接；--温度控制装置6，与所述温度检测装置7、加热片4和制冷装置2电连接；--显示屏8，与上述各部件电连接。优选地，所述温度检测装置7的精度高于0.001℃；所述电阻采集装置5的精度高于10-6Ω。温度检测装置7检测导热块3中温度变化并通过温度控制装置6控制程序进行采集处理，温度控制装置6通过温度检测装置7读取导热块3的温度值，与预设的温度值进行比较，当实际温度低于预设温度时控制加热片4对导热块3进行加热并实时测量温度值，直至达到预设温度；当实际温度高于预设温度时控制制冷装置2对导热块3进行降温并实时测量其温度值，直至达到预设温度，使温度一直稳定在预设温度精度的范围内。并且由于电阻采集装置5的精度较高，电阻小于1Ω的电阻温度系数测量的也较高。优选地，所述测试通孔1002用来焊接固定小电阻元件的引脚，通过电阻测试板10的连接铜线1001即可将小电阻元件与电阻采集装置5连接。可避免电阻引脚直接与测试端相连时，引脚与测试端连接松紧度对小电阻测量的影响，提高了小电阻元件电阻测量的精确度优选地，所述导热块3、加热片4和制冷装置2整体的除开有测试槽9侧面外的其他侧面都包覆有耐温保温绝缘材料。由于保温效果较好，使得温度的精度较高；且在测量设定温度下的电阻值时，加热片4不再通电。优选地，所述测试槽9为圆筒状、正方体状或三棱体状。优选地，所述的测试装置还包括外壳1，其他部件布置在所述外壳1内。优选地，所述导热块3为金属制成的块；所述加热片4为碳素纤维管制成的片；所述连接线1001为铜线。优选地，所述导热块3为铜制成的块。优选地，所述温度检测装置7为热电偶。本专利技术第二方面公开了所述的测试装置测量小电阻元件电阻温度系数方法，步骤如下：将小电阻元件放置于测试槽9中，小电阻元件的引脚放入电阻测试板10的测试通孔1002中焊接固定，通过电阻测试板10上的连接铜线1001即可将小电阻元件与电阻采集装置5连接；在显示屏8上设定温度采集频率、保温时间、起始温度T1、设定温度T2；启动测试程序，加热片4发热并将热量传到导热块3上，继而将温度传到被测小电阻元件上，当温度一直恒定在目标温度时，电阻采集装置5自动采集到T1对应的电阻值R1、T2对应的电阻值R2；然后根据公式TCR(平均)＝(R2-R1)/(R1*(T2-T1))＝(R2-R1)/(R1*ΔT)计算出TCR即得到小电阻元件的电阻温度系数。本专利技术的有益效果：1、本专利技术的测试装置将测量电阻引脚焊接固定于电阻测试板10上，再将电阻测试板10直接与电阻采集装置5连接，可避免电阻引脚直接与测试端相连时，引脚与测试端连接松紧度对小电阻测量的影响，提高了小电阻元件电阻测量的精确度。2、本专利技术的测试装置可根据用户需求设定测量的起始温度、设定温度、温度间隔、采集频率的设定，自动采集不同温度对应的电阻值，从而解决人工操作带来的影响，提高了测量精度。3、本专利技术的测试装置的测试槽9为圆筒状、正方体状或三棱体状或设计为需要的形状，可适配各种形状及尺寸的小电阻元件，给小电阻元件均匀提供热量，避免加热不均匀的问题，提高了测量的精度。4、本专利技术的测试装置保温效果较好、温度检测装置7的精度高，可以在设定温度恒温一段时间后再对被测的小电阻元件的阻值进行采集，避免了边通电加热边实时采集电阻值对电阻元件阻值准确性的影响。附图说明图1是本专利技术装置的结构示意图；图2是本专利技术中测试板示意图；1-外壳，2-制冷装置，3-导热块，4-加热片，5-电阻采集装置，6-温度控制装置，7-温度检测装置，8-显示屏，9-测试槽，10-电阻测试板，1001-连接线，1002-测试通孔。具体实施方式以下实施例旨在说明本专利技术的内容，而不是对本专利技术保护范围的进一步限定。实施例一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，如图1所示，所述小电阻元件为用于集成电路中的元件；所述测试装置包括如下部件：--导热块3，大致为立方体状，其内布置有温度检测装置7，其侧面开有若干测试槽9；导热块3为铜制成；所述温度检测装置7为热电偶，其精度高于0.01℃；所述测试槽9为圆筒状。--本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，其特征在于，所述小电阻元件为用于集成电路中的元件；所述测试装置包括如下部件：‑‑导热块(3)，大致为立方体状，其内布置有温度检测装置(7)，其一侧面开有若干测试槽(9)；‑‑加热片(4)，贴合布置在所述导热块(3)下端面；‑‑制冷装置(2)，布置在所述导热块(3)上面；‑‑电阻采集装置(5)；‑‑电阻测试板(10)，其上有测试通孔(1002)，通过连接线(1001)与所述电阻采集装置(5)电连接；‑‑温度控制装置(6)，与所述温度检测装置(7)、加热片(4)和制冷装置(2)电连接；‑显示屏(8)，与上述各部件电连接。

【技术特征摘要】
1.一种小电阻元件电阻温度系数的测试装置，其特征在于，所述小电阻元件为用于集成电路中的元件；所述测试装置包括如下部件：--导热块(3)，大致为立方体状，其内布置有温度检测装置(7)，其一侧面开有若干测试槽(9)；--加热片(4)，贴合布置在所述导热块(3)下端面；--制冷装置(2)，布置在所述导热块(3)上面；--电阻采集装置(5)；--电阻测试板(10)，其上有测试通孔(1002)，通过连接线(1001)与所述电阻采集装置(5)电连接；--温度控制装置(6)，与所述温度检测装置(7)、加热片(4)和制冷装置(2)电连接；-显示屏(8)，与上述各部件电连接。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述温度检测装置(7)的精度高于0.001℃；所述电阻采集装置(5)的精度高于10-6Ω。3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试通孔(1002)用来焊接待测小电阻元件的引脚。4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述导热块(3)、加热片(4)和制冷装置(2)整体的除开有测试槽(9)外的其他侧面包覆有耐温保温绝缘材料。5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试槽(9)为圆筒状、正方体状或三棱体状。6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤建国，李志强，郑绪东，尚善斋，韩敬美，雷萍，李正风，樊瑛，王程娅，王汝，袁大林，冒德寿，龚为民，廖晓祥，向能军，杨国荣，
申请(专利权)人：云南中烟工业有限责任公司，
类型：发明
国别省市：云南,53