场效应管以及制造方法技术

技术编号:20760028 阅读:71 留言:0更新日期:2019-04-03 13:16
一种场效应管以及制造方法,属于电子技术领域。场效应管包括:衬底层(201);设置于衬底层(201)之上的第一背栅电极(202)和第二背栅电极(203);覆盖于衬底层(201)和第一背栅电极(202)和第二背栅电极(203)之上的背栅绝缘层(204);覆盖于背栅绝缘层(204)之上的半导体层(205);覆盖于半导体层(205)之上的顶栅绝缘层(206);设置于背栅绝缘层(204)之上的漏电极(207)和源电极(208),漏电极(207)的一部分覆盖于半导体层(205)的第一边缘,源电极(207)的一部分覆盖于半导体层(205)的第二边缘;设置于顶栅绝缘层(206)之上的第一顶栅电极(209)和第二顶栅电极(210),其中,漏电极(207)和第二顶栅电极(210)电连接。这种场效应管具有高峰值电流,芯片占用面积小,制造工艺复杂度低,可实现大面积、低成本制造。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请,说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请,权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请,...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖祥徐慧龙张臣雄
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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