【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉及单晶硅的制备方法
本专利技术实施例涉及单晶硅生产制造领域，具体涉及一种单晶炉及单晶硅的制备方法。
技术介绍
作为集成电路基底材料的单晶硅片，其制造工艺是通过直拉法拉制单晶硅棒，再经过多线切割、刻蚀、研磨、倒角、抛光和清洗等工序，制造单晶硅片。单晶硅棒是通过具有相同晶向的单晶籽晶进行引晶，从熔融的硅熔体中生长单晶硅棒。为了防止单晶硅棒生长过程中环境对晶棒的影响，采用氩气作为保护气体，并在拉晶炉内部形成合适的氩气流动方式，及时带走拉晶过程中释放的杂质，进一步降低环境对晶体生长的影响。但是，单晶硅生产制造过程中，现有的氩气的流动方式会影响单晶硅生长质量，因此，亟需对单晶硅生产制造过程中氩气的流动方式进行调整，避免由于氩气的流动方式影响单晶硅生长质量。
技术实现思路
本专利技术实施例的一个目的在于提供一种单晶炉及单晶硅的制备方法，解决现有的氩气的流动方式影响单晶硅生长质量的问题。第一方面，本专利技术实施例提供了一种单晶炉，包括：重锤和与所述重锤连接的籽晶夹头，其中所述重锤包括：用于与钨丝线连接的第一上部件和用于与所述籽晶夹头连接的第一下部件，所述重锤或所述籽晶夹头...
【技术保护点】
1.一种单晶炉，包括：重锤和与所述重锤连接的籽晶夹头，其中所述重锤包括：用于与钨丝线连接的第一上部件和用于与所述籽晶夹头连接的第一下部件，其特征在于，所述重锤或所述籽晶夹头上设置分流结构，所述分流结构用于调整所述单晶炉内保护气体的流动方式，在所述单晶炉内使至少部分所述保护气体以第一方向流动，其中所述第一方向不是沿着所述重锤或所述籽晶夹头轴向向下的方向。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉，包括：重锤和与所述重锤连接的籽晶夹头，其中所述重锤包括：用于与钨丝线连接的第一上部件和用于与所述籽晶夹头连接的第一下部件，其特征在于，所述重锤或所述籽晶夹头上设置分流结构，所述分流结构用于调整所述单晶炉内保护气体的流动方式，在所述单晶炉内使至少部分所述保护气体以第一方向流动，其中所述第一方向不是沿着所述重锤或所述籽晶夹头轴向向下的方向。2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述分流结构设置在所述第一上部件和所述第一下部件的连接处，所述第一下部件的直径大于所述第一上部件的直径，且所述第一下部件的直径大于所述籽晶夹头的直径。3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，设置在所述第一上部件和所述第一下部件的连接处的所述分流结构呈现水平的形状或向下倾斜的形状。4.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述籽晶夹头包括：用于与所述第一下部件连接的第二上部件和与所述第二上部件连接的第二下部件，其中所述第二上部件和所述第二下部件的连接处的直径大于所述第一下部件和所述第二上部件的连接处的直径，所述分流结构设置在所述第二上...
【专利技术属性】
技术研发人员：兰洵，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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