下载一种单晶炉及单晶硅的制备方法的技术资料

文档序号:20756890

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本发明实施例提供一种单晶炉及单晶硅的制备方法,该单晶炉包括:重锤和与重锤连接的籽晶夹头,重锤包括:用于与钨丝线连接的第一上部件和用于与籽晶夹头连接的第一下部件,重锤或籽晶夹头上设置分流结构,分流结构用于调整单晶炉内保护气体的流动方式,在单晶...
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