The invention relates to the technical field of monocrystalline silicon growth equipment, and discloses a fast cooling device for a monocrystalline furnace. The fast cooling device of the single crystal furnace provided by the invention comprises a furnace bottom plate, a step motor is arranged on the lower end surface of the furnace bottom plate, a furnace heating chamber, a carbon support ring and an upper insulation layer are arranged on the upper end surface of the furnace bottom plate from bottom to top, a heating layer is arranged in the furnace heating chamber, a furnace heating chamber is fixedly connected with the furnace bottom plate, and a carbon support ring is fixedly connected with the upper insulation layer on the side of the furnace heating chamber. One end of the lifter is fixed with the carbon support ring, the other end is connected with the stepping motor through the bottom plate of the furnace. The stepping motor is used to drive the lifter up and down. When the workpiece is heated by the single crystal furnace, the upper insulation layer is opened quickly, which can reduce the problems in the single crystal furnace quickly, save time for the next batch of workpiece processing, and improve the processing efficiency of single crystal silicon.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉快速冷却装置
本专利技术涉及单晶硅生长设备
,尤其涉及了一种单晶炉快速冷却装置。
技术介绍
现在的单晶炉在使用中,没有上保温层的开启装置,以至于在被加热工件在加热完成后,只能依靠自然的冷却方法非常缓慢得完成冷却,然后再进行下一批工件的加热。因为有保温层的存在,自然冷却的时间需要很长,使加热的工作效率比较低。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本专利技术的目的在于一种可以使单晶炉快速冷却的装置,其能够在完成对工件的加热后,快速打开上保温层,使炉内温度可以快速降低。本专利技术的目的采用如下技术方案实现:一种单晶炉快速冷却装置,包括炉底板,所述炉底板下方设有步进电机,所述炉底板上方从下到上依次设有炉加热腔、碳支撑环和上保温层,所述炉加热腔内设有加热层,所述炉加热腔与所述炉底板固定连接,所述碳支撑环与所述上保温层固定连接;所述炉加热腔侧面设有顶升件,所述顶升件一端与所述碳支撑环固定连接,另一端贯穿所述炉底板并由所述步进电机推动而作上下运动。进一步地,所述单晶炉快速冷却装置还包括设于所述炉底板下方的传动装置,所述传动装置包括直线模组,所述直线模组包括顶升基座和滚珠丝杠,所述滚珠丝杠包括螺杆和螺母,所述顶升基座分别与所述螺母和所述顶升件连接,所述步进电机驱动所述螺杆旋转。采用滚珠丝杠将步进电机的回转运动转换为顶升件的顶升运动。进一步地,所述传动装置包括波纹管,所述顶升件穿过所述波纹管与所述顶升基座连接,所述波纹管两端分别与所述炉底板和所述顶升基座密封连接。由于单晶炉内工作时有真空密封要求,所以对伸进炉内的顶升件需要在升降运动中与外界保持密封,因而使用了 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉快速冷却装置,其特征在于,包括炉底板,所述炉底板下方设有步进电机,所述炉底板上方从下到上依次设有炉加热腔、碳支撑环和上保温层,所述炉加热腔内设有加热层,所述炉加热腔与所述炉底板固定连接,所述碳支撑环与所述上保温层固定连接;所述炉加热腔侧面设有顶升件,所述顶升件一端与所述碳支撑环固定连接,另一端贯穿所述炉底板并由所述步进电机推动而作上下运动。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉快速冷却装置,其特征在于,包括炉底板,所述炉底板下方设有步进电机,所述炉底板上方从下到上依次设有炉加热腔、碳支撑环和上保温层,所述炉加热腔内设有加热层,所述炉加热腔与所述炉底板固定连接,所述碳支撑环与所述上保温层固定连接;所述炉加热腔侧面设有顶升件,所述顶升件一端与所述碳支撑环固定连接,另一端贯穿所述炉底板并由所述步进电机推动而作上下运动。2.如权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于,所述单晶炉快速冷却装置还包括设于所述炉底板下方的传动装置,所述传动装置包括直线模组,所述直线模组包括顶升基座和滚珠丝杠,所述滚珠丝杠包括螺杆和螺母,所述顶升基座分别与所述螺母和所述顶升件连接,所述步进电机驱动所述螺杆旋转。3.如权利要求2所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于,所述传动装置包括波纹管,所述顶升件穿过所述波纹管与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:侯继伟,
申请(专利权)人:杭州弘晟智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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