柔性显示基板及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性显示基板及其制作方法，柔性显示基板设有弯折区和显示区，柔性显示基板包括第一有机层、多个形成于所述第一有机层的其中一表面上的第一凹槽、覆于所述第一有机层的另一表面上的中间层、覆于所述中间层上的第二有机层、形成于所述第二有机层的远离所述第一凹槽的其中一表面上的第二凹槽、覆盖所述第二有机层的所述其中一表面上的缓冲层、以及覆于所述缓冲层上的数据线。本发明专利技术的柔性显示基板及其制作方法，有效较少弯折区域的应力，提高柔性显示器弯折时抗损伤能力，避免无机层发生裂痕及金属线断裂。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示基板及其制作方法
本专利技术涉及柔性显示器领域，具体为一种柔性显示基板及其制作方法。
技术介绍
随着科技的不断发展，显示技术也一直在持续更新。显示器的未来需求也逐渐朝着更加便捷、时尚，适用环境更为广泛。采用柔性基板制成的柔性器件有望成为下一代光电子器件的主流设备。柔性显示，如柔性有源矩阵有机发光二极体(flexibleorganiclight-emittingdiode，FOLED)，具有自发光显示、响应速度快、亮度高、视角宽等优点，它可以被卷曲、折叠，因此，相比于传统的硬屏显示器，柔性显示器具有重量轻、体积小，携带便捷，具有十分广阔的应用前景。柔性显示面板为了实现更小的边界和高屏占比，常会使用在外脚绑定区域进行弯折(padbending)。但在进行弯折时，在柔性基板上存在大量的无机层和金属线，弯折半径的减少会出现应力的大量集中，导致显示面板的无机膜层开裂已经金属走线断裂的情况，导致显示面板中的电信号无法顺利传导。对于弯折(padbending)区域的所有膜层而言，柔性基板的厚度占了所有膜层厚度的绝大部分，这就导致了弯折应力急剧增大，增加了上面无机层及金属线断裂的概率。
技术实现思路
为了解决上述技术问题：本专利技术提供一种柔性显示基板，其通过对外脚绑定区域进行一定的图案化，即在弯折区设置有多个凹槽，以有效较少弯折区域的应力，提高柔性显示基板弯折时的抗损伤能力，避免无机层发生裂痕及金属线断裂。解决上述问题的技术方案是：提供一种柔性显示基板，设有弯折区和显示区，所述柔性显示基板包括第一有机层；第一凹槽，从所述第一有机层的一面延伸至所述第一有机层的内部；所述第一凹槽对应所述弯折区；中间层，覆于所述第一有机层远离所述第一凹槽的一面；第二有机层，覆于所述中间层上；第二凹槽，对应于所述弯折区，从所述第二有机层的远离所述第一凹槽的一面延伸至所述第二有机层的内部，所述第二凹槽的两侧为凸起部；缓冲层，覆于所述第二有机层上，其中，在所述弯折区，所述缓冲层覆于所述凸起部上；数据线，覆于所述缓冲层上且对应于所述弯折区。在本专利技术一实施例中，在所述显示区，所述柔性显示基板还包括有源层，设于所述缓冲层上，所述有源层具有源极区和漏极区；栅极绝缘层，覆于所述有源层以及所述缓冲层上；栅极，设于所述栅极绝缘层上；层间电介质层，覆于所述栅极和所述栅极绝缘层上；接触孔，从所述层间电介质层贯穿至所述有源层上，且其中一所述接触孔对应于源极区，其中另一所述接触孔对应于所述漏极区；源极和漏极，设于所述层间电介质层上，所述源极从对应的所述接触孔连接至所述源极区，所述漏极从对应的所述接触孔连接至所述漏极区；平坦层，覆于所述源极、所述漏极以及所述层间电介质层上；有机发光层，设于所述平坦层上；封装层，设于所述有机发光层上。在本专利技术一实施例中，在所述弯折区，所述柔性显示基板还包括金属保护层，覆于所述数据线上。在本专利技术一实施例中，所述第一有机层和第二有机层所用材料的粘度为3000-5000cps，所述第一有机层或所述第二有机层的厚度均为6μm-10μm。在本专利技术一实施例中，所述第一有机层的厚度小于或等于所述第二有机层的厚度。在本专利技术一实施例中，所述第一凹槽和所述第二凹槽的深度均为1μm-4μm；所述第一凹槽对应于所述第二凹槽。在本专利技术一实施例中，所述中间层的所用材料为氧化硅、氮化硅、氧化硅和氮化硅的复合材料、氧化铝中的一种，所述中间层的厚度为450nm-550nm。本专利技术还提供了一种柔性显示基板的制作方法，包括以下步骤：提供一承载基底；形成无机层于所述承载基底上，在所述弯折区，刻蚀出贯穿整个所述无机层的若干凹槽；在所述显示区，去除全部所述无机层；形成第一有机层于所述承载基底上且所述第一有机层填充并覆盖所有所述凹槽；形成中间层于所述第一有机层上；形成第二有机层于所述中间层上，在所述弯折区，刻蚀出从所述第二有机层的表面延伸至所述第二有机层的内部的第二凹槽，同时所述第二凹槽的两侧形成对应的凸起部；形成缓冲层于所述第二有机层上，在所述弯折区，所述缓冲层覆于所述凸起部上；形成数据线于所述缓冲层上且对应于所述弯折区；将所述承载基底、所述无机层从所述第一有机层上剥离，同时在所述第一有机层对应所述凹槽之间的区域形成第一凹槽。在本专利技术一实施例中，在形成缓冲层步骤与将所述承载基底、所述无机层从所述第一有机层上剥离步骤之间还包括以下步骤：形成有源层于所述缓冲层上，所述有源层具有源极区和漏极区；形成栅极绝缘层于所述有源层以及所述缓冲层上；形成栅极于所述栅极绝缘层上；形成层间电介质层于所述栅极和所述栅极绝缘层上；形成接触孔，从所述层间电介质层贯穿至所述有源层上，且其中一所述接触孔对应于源极区，其中另一所述接触孔对应于所述漏极区；形成源极和漏极于所述层间电介质层上，所述源极从对应的所述接触孔连接至所述源极区，所述漏极从对应的所述接触孔连接至所述漏极区，其中，形成数据线步骤与形成源极和漏极步骤同步进行；形成平坦层于所述源极、所述漏极以及所述层间电介质层上；形成有机发光层于所述平坦层上；形成封装层于所述有机发光层上。在本专利技术一实施例中，在形成平坦层步骤过程中，包括在弯折区，形成金属保护层于所述数据线上。本专利技术的有益效果是：本专利技术的柔性显示基板及其制作方法，通过在第一有机层和第二有机层上均进行相应的图案化处理，形成一定排布的凹槽，使得设置在所述柔性基板上的栅极、源漏极和多条导电布线在弯折时，有效较少弯折区域的应力，提高柔性显示器弯折时抗损伤能力，避免无机层发生裂痕及金属线断裂，有效的改善了柔性显示基板的抗弯折效果，提高柔性显示装置的可靠性和寿命。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步解释。图1是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成无机层时的结构图。图2是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成第一有机层时的结构图。图3是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成中间层时的结构图。图4是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成第二有机层时的结构图。图5是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成第二凹槽时的结构图。图6是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成缓冲层时的结构图。图7是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成接触孔时的结构图。图8是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成源极和漏极以及数据线时的结构图。图9是本专利技术实施例的柔性显示基板制作过程中形成平坦层和金属保护层时的结构图。图10是本专利技术实施例的柔性显示基板的结构图。以上附图标记为：1柔性显示基板；10显示区；20弯折区；100承载基底；110无机层；210a、210b第一有机层；300中间层；220a、220b第二有机层；400a、400b缓冲层；500有源层；600栅极绝缘层；700栅极；800层间电介质层；900数据线；910源极；920漏极；930接触孔；1000a平坦层；1000b金属保护层；2000有机发光层；3000封装层；111凹槽；211第一凹槽；221第二凹槽；222凸起部；501源极区；502漏极区。具体实施方式以下实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「顶」、「底」等，仅是参考附加图式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性显示基板，设有弯折区和显示区，其特征在于，所述柔性显示基板包括第一有机层；多个第一凹槽，形成于所述第一有机层的其中一表面；所述第一凹槽对应所述弯折区；中间层，覆于所述第一有机层的另一表面；第二有机层，覆于所述中间层上；多个第二凹槽，形成于所述第二有机层的远离所述第一凹槽的其中一表面，所述第二凹槽的两侧均形成有一凸起部，所述第二凹槽对应所述弯折区；缓冲层，覆于所述第二有机层的所述其中一表面上，其中，在所述弯折区，所述缓冲层覆于所述凸起部上；以及数据线，覆于所述缓冲层上且对应于所述弯折区。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示基板，设有弯折区和显示区，其特征在于，所述柔性显示基板包括第一有机层；多个第一凹槽，形成于所述第一有机层的其中一表面；所述第一凹槽对应所述弯折区；中间层，覆于所述第一有机层的另一表面；第二有机层，覆于所述中间层上；多个第二凹槽，形成于所述第二有机层的远离所述第一凹槽的其中一表面，所述第二凹槽的两侧均形成有一凸起部，所述第二凹槽对应所述弯折区；缓冲层，覆于所述第二有机层的所述其中一表面上，其中，在所述弯折区，所述缓冲层覆于所述凸起部上；以及数据线，覆于所述缓冲层上且对应于所述弯折区。2.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其特征在于，在所述显示区，所述柔性显示基板还包括有源层，设于所述缓冲层上，所述有源层具有源极区和漏极区；栅极绝缘层，覆于所述有源层以及所述缓冲层上；栅极，设于所述栅极绝缘层上；层间电介质层，覆于所述栅极和所述栅极绝缘层上；接触孔，从所述层间电介质层贯穿至所述有源层上，且其中一所述接触孔对应于源极区，其中另一所述接触孔对应于所述漏极区；源极和漏极，设于所述层间电介质层上，所述源极从对应的所述接触孔连接至所述源极区，所述漏极从对应的所述接触孔连接至所述漏极区；平坦层，覆于所述源极、所述漏极以及所述层间电介质层上；有机发光层，设于所述平坦层上；以及封装层，设于所述有机发光层上。3.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其特征在于，在所述弯折区，所述柔性显示基板还包括金属保护层，覆于所述数据线上。4.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其特征在于，所述第一有机层和第二有机层所用材料的粘度为3000cps-5000cps，所述第一有机层和所述第二有机层的厚度均为6μm-10μm。5.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其特征在于，所述第一有机层的厚度小于或等于所述第二有机层的厚度。6.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽的深度均为1μm-4μm；所述第一凹槽对应于所述第二凹槽。7.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑颖，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42