切削刀具的安装机构制造技术

提供切削刀具的安装机构，无需另外准备负压的产生源。该切削刀具的安装机构包含：安装于主轴的刀具安装座；以及对刀具安装座提供空气的空气提供单元，刀具安装座包含：柱状的凸台部，其贯穿插入至设置于切削刀具的环状的基台的贯通孔中；凸缘部，其从凸台部的基端侧向径向突出；和抽气式的刀具吸引部，其具有将从空气提供单元提供空气的提供口与排出空气的排出口连接起来的第一空气流路、以及将在凸缘部的支承面侧开口的吸引口与第一空气流路连接起来的第二空气流路，通过从吸引口作用的负压对切削刀具进行吸引，在凸台部的外周面上形成有多个排出口，通过从排出口排出的空气对切削刀具的环状的基台的内周面与凸台部的外周面之间的间隔进行调整。

【技术实现步骤摘要】
切削刀具的安装机构
本专利技术涉及切削刀具的安装机构，其用于将切削刀具安装于主轴。
技术介绍
为了对以半导体晶片及封装基板为代表的板状的被加工物进行加工，使用在作为旋转轴的主轴上安装有环状的切削刀具的切削装置(例如，参照专利文献1)。切削刀具借助夹着其两侧的刀具安装座等安装器具而安装于主轴的前端部，当磨损至某一程度时对切削刀具进行更换。切削刀具的更换通常通过操作者的手动作业而实施。该作业中使用各种工具，以便不损伤切削装置内的各种机构及安装器具、切削刀具等。因此，对于切削刀具的更换而言，不仅需要熟练的操作者，而且需要一定程度的作业时间。与此相对，近年来，提出了如下的安装机构：从固定于主轴的安装器具对切削刀具作用负压，通过该负压对切削刀具进行吸引、固定(例如，参照专利文献2)。若使用该安装机构，则与使用夹着切削刀具的两侧的以往的安装器具的情况相比，能够短时间且简单地更换切削刀具。专利文献1：日本实开平5-54821号公报专利文献2：日本特开2002-154054号公报但是，在目前的切削装置中，虽然使用了例如用于对主轴等提供空气的空气提供源，但未使用真空泵那样的负压的产生源(吸引源)。因此，在采用通过负压对切削刀具进行吸引、固定的上述那样的安装机构的情况下，需要新准备负压的产生源。另外，当前将形成于切削刀具的中央部的贯通孔的内径形成得略微大于插入至该贯通孔的安装器具的插入部(凸台部)的外径，以便不会因与切削刀具的过度干涉而使安装器具磨损。因此，仅在对主轴安装切削刀具时，主轴的旋转的中心与切削刀具的旋转的中心发生偏移的情况也较多。例如能够通过被称为修圆修整等的处理对切削刀具的外周进行局部磨损而使切削刀具的旋转的中心与主轴的旋转的中心一致。但是，当利用该处理使切削刀具局部磨损时，切削刀具所能够切削的被加工物的数量也会减少。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供切削刀具的安装机构，无需另外准备负压的产生源，并且容易进行切削刀具相对于主轴的对位。根据本专利技术的一个方式，提供切削刀具的安装机构，其用于在切削装置的主轴的前端部安装切削刀具，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及切削单元，其利用该切削刀具对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削，该切削刀具安装于被主轴壳体支承为能够旋转的该主轴的该前端部，在环状的基台的外周具有切刃，其中，该切削刀具的安装机构包含：刀具安装座，其安装于该主轴的该前端部；以及空气提供单元，其对该刀具安装座提供空气，该刀具安装座包含：柱状的凸台部，其贯穿插入至设置于该切削刀具的该环状的基台的贯通孔中；凸缘部，其从该凸台部的基端侧向径向突出，具有对该切削刀具进行支承的支承面；以及抽气式的刀具吸引部，其具有将从该空气提供单元提供空气的提供口与排出该空气的排出口连接起来的第一空气流路、以及将在该凸缘部的该支承面侧开口的吸引口与该第一空气流路连接起来的第二空气流路，通过从该吸引口作用的负压对该切削刀具进行吸引，在该凸台部的外周面上形成有多个该排出口，通过从该排出口排出的空气对该凸台部所贯穿插入的该切削刀具的该环状的基台的内周面与该凸台部的该外周面之间的间隔进行调整。在本专利技术的一个方式中，优选在将该第一空气流路与该第二空气流路连接起来的连接区域处，该第二空气流路的内径小于该第一空气流路的内径。另外，在本专利技术的一个方式中，该空气提供单元也可以是旋转接头，其固定于该主轴壳体，对与该主轴一起旋转的该刀具安装座提供空气。另外，在本专利技术的一个方式中，也可以是，在该主轴壳体的内部设置有空气轴承部，该空气轴承部通过所提供的空气将主轴支承为能够旋转，并从该主轴壳体与该主轴之间的间隙朝向该主轴的该前端部侧排出该空气，对该刀具安装座的该提供口提供从该间隙排出的空气。本专利技术的一个方式的切削刀具的安装机构具有：空气提供单元，其用于提供空气；以及刀具安装座，其包含利用从空气提供单元提供的空气产生负压的抽气式的刀具吸引部。由此，能够利用从刀具吸引部产生的负压对切削刀具进行吸引、固定，因此无需另外准备负压的产生源。另外，在本专利技术的一个方式的切削刀具的安装机构中，在凸台部的外周面上形成有多个排出口，因此通过从排出口排出的空气对凸台部所贯穿插入的切削刀具的环状的基台的内周面与凸台部的外周面之间的间隔进行调整。由此，容易进行切削刀具相对于主轴的对位。附图说明图1是示意性示出切削装置的结构例的立体图。图2是示意性示出切削单元的结构例的分解立体图。图3是示意性示出将切削刀具安装于切削单元之前的状态的剖视图。图4是示意性示出将切削刀具安装于切削单元之后的状态的剖视图。图5是示意性示出切削单元所具有的主轴和主轴壳体的结构例的剖视图。图6是示意性示出变形例的切削单元的结构例的分解立体图。图7是示意性示出将切削刀具安装于变形例的切削单元之前的状态的剖视图。图8是示意性示出将切削刀具安装于变形例的切削单元之后的状态的剖视图。标号说明2：切削装置；4：基台；4a、4b、4c：开口；6：盒支承台；8：盒；10：X轴移动机构；10a：X轴移动工作台；12：防尘防滴罩；14：卡盘工作台；14a：保持面；16：夹具；22、22a：切削单元；24：支承构造；26：切削单元移动机构；28：Y轴导轨；30：Y轴移动板；32：Y轴滚珠丝杠；34：Y轴脉冲电动机；36：Z轴导轨；38：Z轴移动板；40：Z轴滚珠丝杠；42：Z轴脉冲电动机；44：主轴；44a：止推片；44b：一个端部(前端部)；44c：螺纹孔；46：主轴壳体；46a：空气提供路；46b：空气提供口；46c：第一提供路；46d：第二提供路；46e：开口部；46f：一个端面(前端面)；46g：螺纹孔；48：切削刀具；50：空气提供源；52：切削液提供源；54：拍摄单元(相机)；56：自动刀具更换器；58：第一刀具装卸单元；60：第二刀具装卸单元；62：刀架；64：清洗单元；66：径向空气轴承部(空气轴承)；68：止推空气轴承部(空气轴承)；70：电动机；72：定子；74：转子；76：气封部(气封)；78：旋转接头(空气提供单元)；80：基部；80a：正面；80b：贯通孔；80c：贯通孔；82：收纳部；82a：贯通孔；84：连接部；84a：空气流路；86：刀具安装座；88：凸台部(插入部)；88a：贯通孔；90：凸缘部；90a：凹部；90b：里侧部分；90c：支承面；92：螺钉；94：基台；94a：贯通孔；96：切刃；98、98a：刀具吸引部；100：提供口；102：第一空气流路；104a：第一排出口；104b：第二排出口；106：第二空气流路；108：吸引口；110：整流板(空气提供单元)；110a：贯通孔；110b：贯通孔；112：提供口；114：第一空气流路；116a：第一排出口；116b：第二排出口；118：第二空气流路；120：吸引口；A：连接区域；11：被加工物；13：器件；15：粘接带(划片带)；17：框架。具体实施方式参照附图对本专利技术的一个方式的实施方式进行说明。图1是示意性示出组装有本实施方式的切削刀具的安装机构(以下称为安装机构)的切削装置的结构例的立体图。如图1所示，切削装置2具有对各构成要素进行支承的基台4。在基台4的前方的角部形成有开口4a，在该开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种切削刀具的安装机构，其用于在切削装置的主轴的前端部安装切削刀具，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及切削单元，其利用该切削刀具对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削，该切削刀具安装于被主轴壳体支承为能够旋转的该主轴的该前端部，在环状的基台的外周具有切刃，该切削刀具的安装机构的特征在于，其包含：刀具安装座，其安装于该主轴的该前端部；以及空气提供单元，其对该刀具安装座提供空气，该刀具安装座包含：柱状的凸台部，其贯穿插入至设置于该切削刀具的该环状的基台的贯通孔中；凸缘部，其从该凸台部的基端侧向径向突出，具有对该切削刀具进行支承的支承面；以及抽气式的刀具吸引部，其具有将从该空气提供单元提供空气的提供口与排出该空气的排出口连接起来的第一空气流路、以及将在该凸缘部的该支承面侧开口的吸引口与该第一空气流路连接起来的第二空气流路，通过从该吸引口作用的负压对该切削刀具进行吸引，在该凸台部的外周面上形成有多个该排出口，通过从该排出口排出的空气对该凸台部所贯穿插入的该切削刀具的该环状的基台的内周面与该凸台部的该外周面之间的间隔进行调整。

【技术特征摘要】
2017.09.21 JP 2017-1810051.一种切削刀具的安装机构，其用于在切削装置的主轴的前端部安装切削刀具，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及切削单元，其利用该切削刀具对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削，该切削刀具安装于被主轴壳体支承为能够旋转的该主轴的该前端部，在环状的基台的外周具有切刃，该切削刀具的安装机构的特征在于，其包含：刀具安装座，其安装于该主轴的该前端部；以及空气提供单元，其对该刀具安装座提供空气，该刀具安装座包含：柱状的凸台部，其贯穿插入至设置于该切削刀具的该环状的基台的贯通孔中；凸缘部，其从该凸台部的基端侧向径向突出，具有对该切削刀具进行支承的支承面；以及抽气式的刀具吸引部，其具有将从该空气提供单元提供空气的提供口与排出该空气的排出口连接起来的第一空气流路、以及将在该凸缘部的该支承面侧开口的吸引口...

【专利技术属性】
技术研发人员：关家一马，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP