支撑结构制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种支撑结构，所述支撑结构包括：连接件；第一螺柱，位于所述连接件的第一端；第二螺柱，位于所述连接件的第二端；以及支撑件，所述支撑件内设置有第一螺纹孔，所述支撑件通过所述第一螺纹孔与所述第二螺柱螺纹连接。本实用新型专利技术实施例提供了一种支撑结构，支撑结构的支撑件相当于螺母，与连接件上的螺柱螺纹连接，当机械强度较连接件低的支撑件损坏时，可以只更换支撑件即可，缩短了更换时间，以达到提高生产效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
支撑结构
本技术实施例涉及半导体设备
，尤其涉及一种支撑结构。
技术介绍
阵列退火炉用于完成各种半导体材料进行退火工艺，以改善半导体材料的力学和电学性能。支撑部件位于阵列退火炉上的母板与工件之间，用于支撑工件。支撑部件包括连接件和支撑件，现有技术中的支撑件在实际应用的过程中，很容易发生损耗，尤其当支撑件发生断裂时，会导致在母板上固定的连接件也必须更换，由于更换比较耗时，因此生产效率较低。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供了一种支撑结构，减少了支撑结构的断裂频率，缩短了支撑结构的更换时间，增加了支撑结构的机械强度，从而降低了生产成本，提高了产能。本技术实施例提供了一种支撑结构，所述支撑结构包括：连接件；第一螺柱，位于所述连接件的第一端；第二螺柱，位于所述连接件的第二端；以及支撑件，所述支撑件内设置有第一螺纹孔，所述支撑件通过所述第一螺纹孔与所述第二螺柱螺纹连接。可选的，还包括中间连接部，位于所述第一螺柱和所述第二螺柱之间，用于连接所述第一螺柱和所述第二螺柱。可选的，所述连接件的中间连接部、所述第一螺柱和所述第二螺柱一体成型。可选的，所述第二螺柱为双头螺柱；所述中间连接部和所述第一螺柱一体成型；所述中间连接部内设置有第二螺纹孔，所述中间连接部通过所述第二螺纹孔与所述双头螺柱螺纹连接。可选的，还包括第一钢丝螺套，位于所述中间连接部内，与所述双头螺柱螺纹连接。可选的，还包括第二钢丝螺套，位于所述支撑件内，与所述第二螺柱螺纹连接。可选的，所述第二螺柱的直径大于或等于4毫米，小于或等于5毫米。可选的，所述第二螺柱的长度大于或等于20毫米，小于或等于25毫米。可选的，还包括十字型凹槽或一字型凹槽，设置在所述第二螺柱远离所述中间连接部的一端的表面，用于旋转所述第二螺柱。本实施例提供的支撑结构，包括支撑件和连接件，支撑件内设置有第一螺纹孔，支撑件通过第一螺纹孔与第二螺柱螺纹连接。支撑件损坏时，只可直接更换支撑件即可，延长了连接件的使用寿命，避免了现有技术中螺柱断在连接件内的螺纹孔内的情况，减少了整个支撑结构的断裂频率，缩短了支撑结构的更换时间，增加了支撑结构的机械强度，从而降低了生产成本，提高了产能。附图说明通过阅读参照以下附图说明所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将变得更明显。图1为本技术实施例提供的一种支撑结构；图2为现有技术中的一种支撑结构；图3为本技术实施例提供的又一种支撑结构；图4为本技术实施例提供的又一种支撑结构。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。图1为本技术实施例提供的一种支撑结构。参见图1，该支撑结构包括：连接件1；第一螺柱2，位于连接件1的第一端；第二螺柱3，位于连接件1的第二端；以及支撑件4，支撑件4内设置有第一螺纹孔，支撑件4通过第一螺纹孔与第二螺柱3螺纹连接。需要说明的是，阵列退火炉上的母板5内设置有内置螺纹，与第一螺柱2螺纹连接。支撑件4与工件6接触，通过调节第二螺柱3与支撑件4内设置的第一螺纹孔之间螺纹连接的长度来改变工件6与母板5之间的距离。图2为现有技术中的支撑结构。参见图2，该支撑结构包括：连接件1；第一螺柱2，位于连接件1的第一端；第二螺柱3，位于支撑件4的第一端；连接件1第二端内设置有内置螺纹孔，连接件1与支撑件4之间螺纹连接。连接件1的机械强度大于支撑件4的机械强度。现有技术中存在的问题是：第三螺柱3的机械强度较低，容易断在连接件1内螺纹孔内。支撑件4的机械强度较低，示例性的采用聚醚醚酮(polyetheretherketone，PEEK)，它是分子主链中含有链节的线性芳香族高分子化合物。其构成单位为氧-对亚苯基-氧-羰-对亚苯基，是半结晶性、热塑性塑料。阵列退火炉的制程温度为230℃，因工件6，示例性的为玻璃的频繁移动，Peek材质的支撑件4的第三螺柱3，在高温及玻璃重力的作用下，支撑件4的第三螺柱3容易发生断裂，造成支撑件4的损耗，增加成本；支撑件4的第三螺柱3会断在连接件1的内置螺纹孔内，严重影响更换速度，增加更换时间。本实施例提供的支撑结构，支撑件4内设置有第一螺纹孔，支撑件4通过第一螺纹孔与连接件1第二端的第二螺柱3螺纹连接，连接件1第一端的第一螺柱2与母板5螺纹连接，来使得支撑件4和母板5之间固定相连。相比现有技术中，支撑件4第一端的第二螺柱3和连接件1第二端内设置的螺纹孔螺纹连接，连接件1第一端的第一螺柱2与母板5螺纹连接，来使得支撑件4和母板5之间固定相连，第二螺柱3设置在连接件1的第二端，第二螺柱3的机械强度高于支撑件4的机械强度，支撑件损坏时，只可直接更换支撑件4即可，延长了连接件1的使用寿命，避免了螺柱断在连接件内的螺纹孔内的情况，减少了支撑结构的断裂频率，从而降低了生产成本，缩短了支撑结构的更换时间，增加了支撑结构的机械强度，提高了产能。可选的，参见图1，第二螺柱3的直径大于或等于4毫米，小于或等于5毫米。需要说明的是，第二螺柱3的直径指的是第二螺柱3的大径。可选的，参见图1，第二螺柱3的长度大于或等于20毫米，小于或等于25毫米。适当的增大直径，减小长度，可以增加第二螺柱3的机械强度。可选的，参见图1，该支撑结构还包括中间连接部7，位于第一螺柱2和第二螺柱3之间，用于连接第一螺柱2和第二螺柱3。其中，需要说明的是，第二螺柱3与中间连接部7的连接关系有以下两种情况。可选的，参见图1，连接件1的中间连接部7、第一螺柱2和第二螺柱3一体成型。可选的，参见图3，第二螺柱3为双头螺柱；中间连接部7和第一螺柱2一体成型；中间连接部7内设置有第二螺纹孔，中间连接部7通过第二螺纹孔与双头螺柱3螺纹连接。双头螺柱的材料一般为不锈钢，增加了连接件和支撑件的机械强度。可选的，参见图4，还包括第一钢丝螺套8，位于中间连接部内，与双头螺柱螺纹连接。第一钢丝螺套8的作用之一和中间连接部7内设置有第二螺纹孔的作用相似，使得中间连接部7通过第二螺纹孔与双头螺柱3螺纹连接。第一钢丝螺套8的作用之二是当第一钢丝螺套8损坏后，易于更换，且增加了中间连接部7的机械强度。可选的，参见图4，还包括第二钢丝螺套9，位于支撑件内，与第二螺柱螺纹连接，增加了支撑件的机械强度。可选的，还包括十字型凹槽或一字型凹槽，设置在第二螺柱远离中间连接部的一端的表面，用于旋转第二螺柱3。注意，上述仅为本技术的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本技术不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本技术的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本技术进行了较为详细的说明，但是本技术不仅仅限于以上实施例，在不脱离本技术构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本技术的范围由所附的权利要求范围决定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种支撑结构，其特征在于，所述支撑结构包括：连接件；第一螺柱，位于所述连接件的第一端；第二螺柱，位于所述连接件的第二端；以及支撑件，所述支撑件内设置有第一螺纹孔，所述支撑件通过所述第一螺纹孔与所述第二螺柱螺纹连接。

【技术特征摘要】
1.一种支撑结构，其特征在于，所述支撑结构包括：连接件；第一螺柱，位于所述连接件的第一端；第二螺柱，位于所述连接件的第二端；以及支撑件，所述支撑件内设置有第一螺纹孔，所述支撑件通过所述第一螺纹孔与所述第二螺柱螺纹连接。2.根据权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，还包括中间连接部，位于所述第一螺柱和所述第二螺柱之间，用于连接所述第一螺柱和所述第二螺柱。3.根据权利要求2所述的支撑结构，其特征在于，所述连接件的中间连接部、所述第一螺柱和所述第二螺柱一体成型。4.根据权利要求2所述的支撑结构，其特征在于，所述第二螺柱为双头螺柱；所述中间连接部和所述第一螺柱一体成型；所述中间连接部内设置有第二螺纹孔，所述中间连接部通过所述第二螺纹孔与所述双头螺柱螺纹连接。5.根据权利要求4所述的支撑结构，其特征在于，还包括第一钢丝螺套，位于所述中间连接部内，与所述双头螺柱螺纹连接。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：何怀亮，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44