脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及薄膜材料加工技术领域，公开了一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统。所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。本实用新型专利技术的技术方案，使脉冲激光沉积设备的外壳及真空仓可持续降温，避免了薄膜被杂质污染和被氧化，提升了脉冲激光沉积设备薄膜制备的质量、重复性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统
本技术涉及薄膜材料加工
，尤其涉及一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统。
技术介绍
脉冲激光沉积设备(PulsedLaserDeposition,PLD)可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物、金刚石、立方氮化物等各种材料的薄膜。脉冲激光沉积设备在制备薄膜时，其内腔和外壳温度过高，密封的橡胶圈容易发生老化变形，其密封性变差导致真空腔体会漏气，薄膜容易被空气中的杂质污染和被氧化。同时，高温也会加快靶材齿轮传动装置的磨损和噪音，影响加工能耗和加工精度。此外，内壁沉积的各种材料会由于高温而挥发沉积到基底上，对薄膜造成污染，影响薄膜制备的质量、重复性和稳定性。
技术实现思路
鉴于此，本技术提供一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统，解决现有脉冲激光沉积设备制备薄膜时温度过高导致薄膜容易被氧化和被污染而影响薄膜制备的质量、重复性和稳定性的技术问题。根据本技术的实施例，提供一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。优选的，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置还包括分子泵以及设置在所述分子泵外壳上的第二水冷管，所述第二水冷管的端口与所述水冷机的第二端口密封连接，所述水冷机用于向所述第二水冷管循环输出水冷液。优选的，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置还包括设置在所述脉冲激光沉积设备内腔的温度传感器，所述水冷机用于根据所述温度传感器检测到的温度数据自动开机和关机。优选的，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置还包括设置在所述脉冲激光沉积设备外壳上的显示模块，用于显示所述温度传感器检测到的温度数据。优选的，所述显示模块为LCD屏、LED屏或OLED屏。优选的，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置还包括设置在所述脉冲激光沉积设备内腔的温度传感器，所述水冷机用于根据所述温度传感器检测到的温度数据自动调整水冷液的流速和温度，以保持所述脉冲激光沉积设备内腔温度在预设范围。优选的，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置还包括设置在所述脉冲激光沉积设备外壳上的提示模块，用于当所述温度传感器检测到的实时温度数据超过预设温度值时进行提示。优选的，所述提示装置为指示灯、显示屏或警报器。优选的，所述第一水冷管在所述脉冲激光沉积设备外壳侧面呈环形紧密分布、在所述脉冲激光沉积设备外壳顶面呈圆盘形紧密分布。根据本技术的另一个实施例，还提供一种脉冲激光沉积系统，包括脉冲激光沉积设备以及上述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置用于给所述脉冲激光沉积设备降温。本技术提供的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，通过设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，向第一水冷管循环输出水冷液在所述第一水冷管中循环流动，使贴近的脉冲激光沉积设备的外壳及真空仓持续降温，这样脉冲激光沉积设备的橡胶圈不容易发生老化变形，提升了密封性而真空腔体不会漏气，避免了薄膜被空气中的杂质污染和被氧化，同时也会降低靶材齿轮传动装置的磨损和噪音，减低薄膜的加工能耗，提升加工精度，此外所述脉冲激光沉积设备内壁沉积的各种材料也不会由于高温而挥发沉积到基底上对薄膜造成污染，提升了脉冲激光沉积设备薄膜制备的质量、重复性和稳定性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一个实施例中脉冲激光沉积设备的水冷循环装置的结构示意图。图2为本技术又一个实施例中脉冲激光沉积设备的水冷循环装置的结构示意图。图3为本技术另一个实施例中脉冲激光沉积设备的水冷循环装置的结构示意图。图4为本技术再一个实施例中脉冲激光沉积系统的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术的技术方案作进一步更详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以结合具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。参见图1，本技术一个实施例的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置100，包括第一水冷管1以及水冷机2。所述第一水冷管1设置在脉冲激光沉积设备300外壳3上比如侧面和顶部。优选的，所述第一水冷管1可配置为在所述脉冲激光沉积设备外壳3侧面呈环形紧密分布、在所述脉冲激光沉积设备外壳3顶面呈圆盘形紧密分布，通过在不同位置的紧密分布水冷管1提升降温效果。所述第一水冷管1的端口与所述水冷机2的第一端口密封连接，所述水冷机2配置为可向所述第一水冷管1循环输出水冷液，水冷液可在所述第一水冷管1中循环流动，使贴近的脉冲激光沉积设备300的外壳3及真空腔4持续降温，这样所述脉冲激光沉积设备300的橡胶圈不容易发生老化变形，提升了密封性而真空腔体不会漏气，避免了薄膜被空气中的杂质污染和被氧化，同时也会降低靶材齿轮传动装置的磨损和噪音，降低了薄膜的加工能耗，提升了加工精度，此外所述脉冲激光沉积设备300内壁沉积的各种材料也不会由于高温而挥发沉积到基底上对薄膜造成污染，提升了脉冲激光沉积设备300薄膜制备的质量、重复性和稳定性。参见图2，在一些实施例中，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置100还可进一步包括温度传感器7、显示模块8和提示模块9。所述温度传感器7设置在所述脉冲激光沉积设备300内腔，用于实时检测所述脉冲激光沉积设备300内腔的温度数据。所述显示模块8设置在所述脉冲激光沉积设备300外壳3上且与所述温度传感器7电气连接，可选用LCD屏、LED屏或OLED屏，用于显示所述温度传感器7检测到的温度数据。所述提示模块可配置在所述脉冲激光沉积设备300外壳3上，可选用指示灯、显示屏或警报器，用于当所述温度传感器7检测到的实时温度数据超过预设警报温度值时进行提示，便于及时提醒所述脉冲激光沉积设备300内腔的温度警报。在本实施例中，所述水冷机2可配置为可根据所述温度传感器7检测到的温度数据自动开机和关机，即在所述脉冲激光沉积设备300内腔达到预设警戒温度时自动开机进行降温，而在所述脉冲激光沉积设备300内腔达到预设安全温度时自动关机以降低能耗。在一些实施例中，所述水冷机2还可进一步配置为根据预设温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。

【技术特征摘要】
1.一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。2.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括分子泵以及设置在所述分子泵外壳上的第二水冷管，所述第二水冷管的端口与所述水冷机的第二端口密封连接，所述水冷机用于向所述第二水冷管循环输出水冷液。3.根据权利要求1或2所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括设置在所述脉冲激光沉积设备内腔的温度传感器，所述水冷机用于根据所述温度传感器检测到的温度数据自动开机和关机。4.根据权利要求3所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括设置在所述脉冲激光沉积设备外壳上的显示模块，用于显示所述温度传感器检测到的温度数据。5.根据权利要求4所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，所述显示模块为LCD屏、LED屏或OLED屏。6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：代瑞娜，张晓军，胡凯，陈志强，方安安，姜鹭，潘恒，王岩，王峻岭，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44