基片台及镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基片台及镀膜设备，其中，基片台包括：载台，具有沿厚度方向相对布置的第一端部以及第二端部，第一端部具有承载面，承载面用于承载基片，第一端部内设有第一换热腔室，第一换热腔室用于导入流体介质，流体介质用于对承载面进行降温；电加热部，设于第二端部；以及，第一导热部，连接于载台，且第一导热部穿设于第一换热腔室，第一导热部配置成能够将电加热部的热量传导至承载面；其中，电加热部与流体介质能够同时调节承载面的温度。本实用新型专利技术中，基片台既能够对基片进行降温，又能够对基片进行加热。并且，电加热部的加热部件在加热的同时不会被流体介质进行快速降温，电加热部的加热部件的使用寿命更长。电加热部的加热部件的使用寿命更长。电加热部的加热部件的使用寿命更长。

【技术实现步骤摘要】
基片台及镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜设备的
，特别涉及一种基片台及镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着薄膜材料的应用和真空镀膜设备的发展，在镀膜工艺中，有的情况下需对基片台进行冷却，有的情况下需对基片台进行加热。如果基片台只含有加热或者冷却的一种功能，需要制备不同工艺的薄膜时，则需要搭配两个基片台在同一个腔体。现有的单独的基片台难以同时满足既能够冷却基片，又能够加热基片的需求。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提出一种基片台及镀膜设备，其中，基片台能够同时冷却和加热基片，同时，还能够提升基片台的使用寿命。
[0004]为实现上述目的，本技术提出一种基片台，包括：
[0005]载台，具有沿厚度方向相对布置的第一端部以及第二端部，所述第一端部具有承载面，所述承载面用于承载基片，所述第一端部内设有第一换热腔室，所述第一换热腔室用于导入流体介质，所述流体介质用于对所述承载面进行降温；
[0006]电加热部，设于所述第二端部；以及，
[0007]第一导热部，连接于所述载台，且所述第一导热部穿设于所述第一换热腔室，所述第一导热部配置成能够将所述电加热部的热量传导至所述承载面；
[0008]其中，所述电加热部与所述流体介质能够同时调节所述承载面的温度。
[0009]在一些实施例中，所述第一导热部与所述载台一体式连接，所述电加热部与所述载台接触，所述电加热部加热所述载台，且所述第一导热部与所述载台换热后将热量传导至所述承载面。
[0010]在一些实施例中，所述第一端部设有第一凹腔，所述第一凹腔具有背离所述第二端部设置的第一开口，所述第一端部包括第一盖板，所述第一盖板盖设于所述第一开口从而限定出所述第一换热腔室，所述第一导热部穿过所述第一盖板，且所述第一导热部背离所述第二端部的壁面与所述第一盖板背离所述第二端部的壁面平齐，所述承载面包括所述第一盖板背离所述第二端部的壁面以及所述第一导热部背离所述第二端部的壁面。
[0011]在一些实施例中，所述第一端部设有第一凹腔，所述第一凹腔具有背离所述第二端部设置的第一开口，所述第一端部包括第一盖板，所述承载面包括所述第一盖板背离所述第二端部的壁面，所述第一盖板盖设于所述第一开口从而限定出所述第一换热腔室，所述第一导热部背离所述第二端部的端面抵接所述第一盖板面向所述第二端部的壁面。
[0012]在一些实施例中，所述第一导热部呈条状，所述第一导热部将所述第一换热腔室分隔成至少一条第一换热通道。
[0013]在一些实施例中，所述至少一条第一换热通道的一端设有进液口、另一端设有出液口，所述载台设有贯穿所述第二端部的进液孔，所述进液孔与所述进液口连通，所述载台
还设有贯穿所述第二端部的出液孔，所述出液孔与所述出液口连通；
[0014]所述基片台还包括进液管以及出液管，所述进液管插设于所述进液孔，以向所述至少一条第一换热通道内导入所述流体介质，所述出液管插设于所述出液孔，以将所述至少一条第一换热通道内的所述流体介质导出。
[0015]在一些实施例中，所述第一导热部呈螺旋形，且所述第一导热部将所述第一换热腔室分隔成呈螺旋形的第一换热通道。
[0016]在一些实施例中，所述第一导热部包括第一导热条以及第二导热条，所述第一导热条与所述第二导热条均沿曲线延伸，所述第一导热条位于所述第二导热条的外周，所述第一导热条与所述第二导热条共同将所述第一换热腔室分隔成多条第一换热通道。
[0017]在一些实施例中，所述第一导热部包括多个导热凸起，各所述导热凸起呈矩形阵列排布或圆形阵列排布。
[0018]在一些实施例中，所述第二端部设有第二凹腔，所述第二凹腔具有背离所述第一端部布置的第二开口，所述第二端部包括第二盖板，所述第二盖板盖设于所述第二开口从而限定出第二换热腔室，所述电加热部设置于所述第二换热腔室。
[0019]在一些实施例中，所述第二换热腔室内设有第二导热部，所述第二导热部与所述载台一体式连接，所述第二导热部将所述第二换热腔室分隔成呈螺旋形的第二换热通道；
[0020]所述电加热部包括加热丝，所述加热丝沿所述第二换热通道的延伸方向螺旋盘绕于所述第二换热通道。
[0021]在一些实施例中，所述基片台还包括温度传感器，所述载台设有温度监测孔，所述温度传感器插设于所述温度监测孔，所述温度传感器用于监测所述电加热部的温度。
[0022]本技术第二方面的实施例提供了一种镀膜设备，包括上述任一项所述的基片台。
[0023]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0024]在本技术的技术方案中，基片台包括载台、电加热部以及第一导热部。载台具有第一端部以及第二端部，第一端部内设有第一换热腔室，第一换热腔室内能够导入流体介质从而对承载面进行降温。并且，电加热部设于载台的第二端部，电加热部的热量能够通过第一导热部传导至承载面，从而能够对基片进行加热。故当基片承载于承载面后，基片台既能够对基片进行降温，又能够对基片进行加热。
[0025]进一步地，本实施例中，电加热部与流体介质能够同时调节承载壁面的温度，电加热部用于将温度升高，同时流体介质用于将升高的温度降低至目标温度，使得对于基片的温控精度更高的同时，还能够与基片进行保护，以防止基片过热。
[0026]进一步地，本实施例中，电加热部与流体介质分别位于载台的相对的两侧，电加热部的加热部件远离流体介质，故当电加热部与流体介质同时进行温度控制时，流体介质的低温不易对电加热部产生影响，相较于电加热部与流体介质处于同一平面位置且彼此直接接触的结构而言，电加热部的加热部件在加热的同时不会被流体介质进行快速降温，使得电加热部的加热部件各部位的温差小，电加热部的加热部件的使用寿命更长。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例
或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0028]图1为本技术第一实施例中基片台的剖视示意图；
[0029]图2为图1中A处的局部放大示意图；
[0030]图3为本技术第一实施例中载台除去第一盖板的立体示意图；
[0031]图4为本技术第一实施例中载台除去第一盖板的侧视示意图；
[0032]图5为本技术第二实施例中载台的爆炸示意图；
[0033]图6为本技术第三实施例中载台的爆炸示意图；
[0034]图7为本技术第三实施例中载台的局部剖视示意图；
[0035]图8为本技术第四实施例中载台的爆炸示意图；
[0036]图9为本技术第一实施例中基片台的侧视示意图；其中，进行了局部剖视；
[0037]图10为本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基片台，其特征在于，包括：载台，具有沿厚度方向相对布置的第一端部以及第二端部，所述第一端部具有承载面，所述承载面用于承载基片，所述第一端部内设有第一换热腔室，所述第一换热腔室用于导入流体介质，所述流体介质用于对所述承载面进行降温；电加热部，设于所述第二端部；以及，第一导热部，连接于所述载台，且所述第一导热部穿设于所述第一换热腔室，所述第一导热部配置成能够将所述电加热部的热量传导至所述承载面；其中，所述电加热部与所述流体介质能够同时调节所述承载面的温度。2.如权利要求1所述的基片台，其特征在于，所述第一导热部与所述载台一体式连接，所述电加热部与所述载台接触，所述电加热部加热所述载台，且所述第一导热部与所述载台换热后将热量传导至所述承载面。3.如权利要求2所述的基片台，其特征在于，所述第一端部设有第一凹腔，所述第一凹腔具有背离所述第二端部设置的第一开口，所述第一端部包括第一盖板，所述第一盖板盖设于所述第一开口从而限定出所述第一换热腔室，所述第一导热部穿过所述第一盖板，且所述第一导热部背离所述第二端部的壁面与所述第一盖板背离所述第二端部的壁面平齐，所述承载面包括所述第一盖板背离所述第二端部的壁面以及所述第一导热部背离所述第二端部的壁面；或者，所述第一端部设有第一凹腔，所述第一凹腔具有背离所述第二端部设置的第一开口，所述第一端部包括第一盖板，所述承载面包括所述第一盖板背离所述第二端部的壁面，所述第一盖板盖设于所述第一开口从而限定出所述第一换热腔室，所述第一导热部背离所述第二端部的端面抵接所述第一盖板面向所述第二端部的壁面。4.如权利要求2所述的基片台，其特征在于，所述第一导热部呈条状，所述第一导热部将所述第一换热腔室分隔成至少一条第一换热通道。5.如权利要求4所述的基片台，其特征在于，所述至少一条第一换热通道的一端设有进液口、另...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙守祥，夏慧，张晓军，李炳坤，龚文志，江元元，姚酉，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：