【技术实现步骤摘要】
本技术涉及但不限于真空设备，尤其涉及磁控溅射设备、双轴驱动装置以及真空设备。
技术介绍
1、基于电机驱动的单轴或者多轴机械臂(驱动装置)被广泛地使用在自动化设备中。在作为多轴机械臂使用的情况下，通常以使单轴机械臂的驱动方向正交的方式进行叠加，从而形成例如两轴机械臂或者三轴机械臂。
2、此外，在真空设备当中，有时也需要对真空腔内的部件进行驱动。用于真空腔的基于电机驱动的装置通常是旋转装置，例如，电机固定在真空腔的外部，通过磁流体与真空腔内的部件联接，从而驱动真空腔内的部件工作。例如，通过这种方式，能够驱动真空腔内的基片台转动，或者驱动真空腔内旋转靶材转动等。
3、但是，有时也需要驱动真空腔内的部件呈平面状地移动。例如，在使用平面靶材的磁控溅射设备中，有时需要使磁控管容置在真空腔内，并使磁控管沿平面方向(例如：x轴以及y轴)被驱动。但是，现有的实现部件的多方向被驱动的结构通常是通过以单轴机械臂进行叠加从而形成的多轴机械臂的结构。而在真空设备当中，由于散热等问题，难以将电机置于真空腔室内并进行机械臂的叠加，从而难以使磁...
【技术保护点】
1.磁控溅射设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述镀膜腔的上方具有可处于真空状态的控制腔，所述控制腔与所述镀膜腔隔开；
3.根据权利要求2所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述第一驱动部包括第一电机以及第一丝杆组件，所述第一电机设置在所述控制腔的外部，所述第一丝杆组件设置在所述控制腔的内部，所述第一电机和所述第一丝杆组件经由第一真空用联接器联接；
4.根据权利要求3所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述第一驱动部还包括：第一引导单元以及第一安装单元，所述第一引导单元以及所述第一安装单元分别被设置...
【技术特征摘要】
1.磁控溅射设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述镀膜腔的上方具有可处于真空状态的控制腔，所述控制腔与所述镀膜腔隔开；
3.根据权利要求2所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述第一驱动部包括第一电机以及第一丝杆组件，所述第一电机设置在所述控制腔的外部，所述第一丝杆组件设置在所述控制腔的内部，所述第一电机和所述第一丝杆组件经由第一真空用联接器联接；
4.根据权利要求3所述的磁控溅射设备，其特征在于，所述第一驱动部还包括：第一引导单元以及第一安装单元，所述第一引导单元以及所述第一安装单元分别被设置在所述控制腔内，所述第一引导单元沿所述第一方向进行引导，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：黎佐兴，杨洪生，张晓军，夏慧，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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