一种半导体制造用机械手臂制造技术

本实用新型专利技术提供了一种半导体制造用机械手臂，涉及半导体制造技术领域，该半导体制造用机械手臂，包括第一机械臂、第二机械臂、横置滑轨以及固定连接板，第一机械臂的底部和第二机械臂的底部均滑动设置在横置滑轨上，固定连接板的一端与第一机械臂的底端连接，固定连接板的另一端与第二机械臂的底端连接，以使第一机械臂和第二机械臂同步运动，第一机械臂的顶端设置有第一装夹机构，第二机械臂的顶端设置有第二装夹机构。相较于现有技术，本实用新型专利技术提供的一种半导体制造用机械手臂，在夹取晶圆的过程中能够使得晶圆受力均匀，避免夹取时损坏晶圆，提高了晶圆质量。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造用机械手臂
本技术涉及半导体制造
，具体而言，涉及一种半导体制造用机械手臂。
技术介绍
在半导体(例如积体电路、动态随机存取记忆体等)制造当中,大而薄的晶圆(典型者如矽)必须经常从一制程室搬移至另一制程室，在现有的晶圆制作工艺中，通常大量使用工业机器人对晶圆进行转移操作。现有的工业机器人通常为单臂构型，通过单个机械臂对晶圆实现拾取和转运的操作，由于晶圆呈圆形，通过单个机械臂很难使得晶圆上受力均匀，由于晶圆的自重在夹取过程中容易对晶圆造成损坏，此外，现有的单个机械臂通过单个夹指对晶圆进行夹取，进一步提高了晶圆损坏的风险。有鉴于此，设计制造出一种能够使得晶圆受力均匀，避免夹取时损坏晶圆的半导体制造用机械手臂就显得尤为重要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体制造用机械手臂，其在夹取晶圆的过程中能够使得晶圆受力均匀，避免夹取时损坏晶圆，提高晶圆质量。本技术是采用以下的技术方案来实现的。一种半导体制造用机械手臂，包括第一机械臂、第二机械臂、横置滑轨以及固定连接板，第一机械臂的底部和第二机械臂的底部均滑动设置在横置滑轨上，固定连接板的一端与第一机械臂的底端连接，固定连接板的另一端与第二机械臂的底端连接，以使第一机械臂和第二机械臂同步运动；第一机械臂的顶端设置有第一装夹机构，第一装夹机构包括第一集合夹板、第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指，第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第一夹持空间，第一集合夹板设置在第一机械臂的顶端并分别与第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指连接；第二机械臂的顶端设置有第二装夹机构，第二装夹机构包括第二集合夹板、第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指，第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第二夹持空间，且第二上夹指与第一上夹指相对设置，第二中夹指与第一中夹指相对设置，第二下夹指与第一下夹指相对设置，第二集合夹板设置在第二机械臂的顶端并分别与第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指连接。进一步地，第一机械臂包括第一连接底座、第一手臂连接杆、第一旋转臂以及第一旋转头，第一连接底座滑动设置在横置滑轨上并与固定连接板的一端连接，第一手臂连接杆连接在第一连接底座上并向上延伸，第一旋转臂的一端铰接在第一手臂连接杆远离第一连接底座的一端，第一旋转头固定设置在第一旋转臂远离第一手臂连接杆的一端，第一旋转头与第一集合夹板连接，用于带动第一集合夹板转动。进一步地，第一手臂连接杆上设置有第一液压驱动件，第一液压驱动件与第一旋转臂连接，用于带动第一旋转臂相对第一手臂连接杆转动。进一步地，第一旋转头包括第一固定套、第一旋转芯轴和第一驱动电机，第一固定套与第一旋转臂远离第一手臂连接杆的一端固定连接，第一旋转芯轴容置在第一固定套中并与第一固定套旋转配合，第一驱动电机设置在第一固定套上并与第一旋转芯轴传动连接，用于带动第一旋转芯轴相对第一固定套转动，第一集合夹板与第一旋转芯轴连接。进一步地，第一集合夹板具有相对的第一上集合夹板和第一下集合夹板，第一下集合夹板与第一旋转芯轴连接，第一上集合夹板和第一下集合夹板之间设置有第一夹持驱动件，用于驱动第一上集合夹板靠近或者远离第一下集合夹板。进一步地，第二机械臂包括第二连接底座、第二手臂连接杆、第二旋转臂以及第二旋转头，第二连接底座滑动设置在横置滑轨上并与固定连接板的另一端连接，第二手臂连接杆连接在第二连接底座上并向上延伸，第二旋转臂的一端铰接在第二手臂连接杆远离第二连接底座的一端，第二旋转头固定设置在第二旋转臂远离第二手臂连接杆的一端，第二旋转头与第二集合夹板连接，用于带动第二集合夹板转动。进一步地，第二手臂连接杆上设置有第二液压驱动件，第二液压驱动件与第二旋转臂连接，用于带动第二旋转臂相对第二手臂连接杆转动。进一步地，第二旋转头包括第二固定套、第二旋转芯轴和第二驱动电机，第二固定套与第二旋转臂远离第二手臂连接杆的一端固定连接，第二旋转芯轴容置在第二固定套中并与第二固定套旋转配合，第二驱动电机设置在第二固定套上并与第二旋转芯轴传动连接，用于带动第二旋转芯轴相对第二固定套转动，第二集合夹板与第二旋转芯轴连接。进一步地，第二集合夹板具有相对的第二上集合夹板和第二下集合夹板，第二下集合夹板与第二旋转芯轴连接，第二上集合夹板和第二下集合夹板之间设置有第二夹持驱动件，用于驱动第二上集合夹板靠近或者远离第二下集合夹板。一种半导体制造用机械手臂，包括第一机械臂、第二机械臂、横置滑轨、两个相对设置的固定滑轨以及固定连接板，横置滑轨滑动设置在两个固定滑轨上，第一机械臂的底部和第二机械臂的底部均滑动设置在横置滑轨上，固定连接板的一端与第一机械臂的底端连接，固定连接板的另一端与第二机械臂的底端连接，以使第一机械臂和第二机械臂同步运动；第一机械臂的顶端设置有第一装夹机构，第一装夹机构包括第一集合夹板、第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指，第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第一夹持空间，第一集合夹板设置在第一机械臂的顶端并分别与第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指连接；第二机械臂的顶端设置有第二装夹机构，第二装夹机构包括第二集合夹板、第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指，第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第二夹持空间，且第二上夹指与第一上夹指相对设置，第二中夹指与第一中夹指相对设置，第二下夹指与第一下夹指相对设置，第二集合夹板设置在第二机械臂的顶端并分别与第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指连接。本技术具有以下有益效果：本技术提供的一种半导体制造用机械手臂，将第一机械臂的底部和第二机械臂的底部均滑动设置在横置滑轨上，固定连接板的一端与第一机械臂的底端连接，固定连接板的另一端与第二机械臂的底端连接。在第一机械臂的顶端设置有第一装夹机构，第一装夹机构通过第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指共同夹取晶圆，在第二机械臂的顶端设置有第二装夹机构，第二装夹机构通过第二上夹指，第二中夹指以及第一下夹指共同夹取晶圆。其中第一装夹机构的夹取位置与第二装夹机构的夹取位置相对，通过多个夹持位置、多个方向对晶圆进行夹持，保证晶圆各处夹持受力均匀，避免对晶圆造成损坏。相较于现有技术，本技术提供的一种半导体制造用机械手臂，在夹取晶圆的过程中能够使得晶圆受力均匀，避免夹取时损坏晶圆，提高了晶圆质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术第一实施例提供的半导体制造用机械手臂的结构示意图；图2为图1中第一机械臂的结构示意图；图3为图2中Ⅲ的局部放大图；图4为图1中第二机械臂的结构示意图；图5为图4中Ⅳ的局部放大图。图标：100-半导体制造用机械手臂；110-第一机械臂；111-第一连接底座；113-第一手臂连接杆；115-第一旋转臂；117-第一旋转头；1171-第一固定套；1173-第一旋转芯轴；11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体制造用机械手臂，其特征在于，包括第一机械臂、第二机械臂、横置滑轨以及固定连接板，所述第一机械臂的底部和所述第二机械臂的底部均滑动设置在所述横置滑轨上，所述固定连接板的一端与所述第一机械臂的底端连接，所述固定连接板的另一端与所述第二机械臂的底端连接，以使所述第一机械臂和所述第二机械臂同步运动；所述第一机械臂的顶端设置有第一装夹机构，所述第一装夹机构包括第一集合夹板、第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指，所述第一上夹指、所述第一中夹指以及所述第一下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第一夹持空间，所述第一集合夹板设置在所述第一机械臂的顶端并分别与所述第一上夹指、所述第一中夹指以及所述第一下夹指连接；所述第二机械臂的顶端设置有第二装夹机构，所述第二装夹机构包括第二集合夹板、第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指，所述第二上夹指、所述第二中夹指以及所述第二下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第二夹持空间，且所述第二上夹指与所述第一上夹指相对设置，所述第二中夹指与所述第一中夹指相对设置，所述第二下夹指与所述第一下夹指相对设置，所述第二集合夹板设置在所述第二机械臂的顶端并分别与所述第二上夹指、所述第二中夹指以及所述第二下夹指连接。...

【技术特征摘要】
1.一种半导体制造用机械手臂，其特征在于，包括第一机械臂、第二机械臂、横置滑轨以及固定连接板，所述第一机械臂的底部和所述第二机械臂的底部均滑动设置在所述横置滑轨上，所述固定连接板的一端与所述第一机械臂的底端连接，所述固定连接板的另一端与所述第二机械臂的底端连接，以使所述第一机械臂和所述第二机械臂同步运动；所述第一机械臂的顶端设置有第一装夹机构，所述第一装夹机构包括第一集合夹板、第一上夹指、第一中夹指以及第一下夹指，所述第一上夹指、所述第一中夹指以及所述第一下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第一夹持空间，所述第一集合夹板设置在所述第一机械臂的顶端并分别与所述第一上夹指、所述第一中夹指以及所述第一下夹指连接；所述第二机械臂的顶端设置有第二装夹机构，所述第二装夹机构包括第二集合夹板、第二上夹指、第二中夹指以及第二下夹指，所述第二上夹指、所述第二中夹指以及所述第二下夹指并列设置并共同形成用于夹持晶圆的第二夹持空间，且所述第二上夹指与所述第一上夹指相对设置，所述第二中夹指与所述第一中夹指相对设置，所述第二下夹指与所述第一下夹指相对设置，所述第二集合夹板设置在所述第二机械臂的顶端并分别与所述第二上夹指、所述第二中夹指以及所述第二下夹指连接。2.根据权利要求1所述的半导体制造用机械手臂，其特征在于，所述第一机械臂包括第一连接底座、第一手臂连接杆、第一旋转臂以及第一旋转头，所述第一连接底座滑动设置在所述横置滑轨上并与所述固定连接板的一端连接，所述第一手臂连接杆连接在所述第一连接底座上并向上延伸，所述第一旋转臂的一端铰接在所述第一手臂连接杆远离所述第一连接底座的一端，所述第一旋转头固定设置在所述第一旋转臂远离所述第一手臂连接杆的一端，所述第一旋转头与所述第一集合夹板连接，用于带动所述第一集合夹板转动。3.根据权利要求2所述的半导体制造用机械手臂，其特征在于，所述第一手臂连接杆上设置有第一液压驱动件，所述第一液压驱动件与所述第一旋转臂连接，用于带动所述第一旋转臂相对所述第一手臂连接杆转动。4.根据权利要求2所述的半导体制造用机械手臂，其特征在于，所述第一旋转头包括第一固定套、第一旋转芯轴和第一驱动电机，所述第一固定套与所述第一旋转臂远离所述第一手臂连接杆的一端固定连接，所述第一旋转芯轴容置在所述第一固定套中并与所述第一固定套旋转配合，所述第一驱动电机设置在所述第一固定套上并与所述第一旋转芯轴传动连接，用于带动所述第一旋转芯轴相对所述第一固定套转动，所述第一集合夹板与所述第一旋转芯轴连接。5.根据权利要求4所述的半导体制造用机械手臂，其特征在于，所述第一集合夹板具有相对的第一上集合夹板和第一下集合夹板，所述第一下集合夹板与所述第一旋转芯轴连接，所述第一上集合夹板和所述第一下集合夹板之间设置有第一夹持驱动件，用于驱动所述第一上集合夹板靠近或者远离所述第一下集合夹板。6.根据权利要求2所述的半导体制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金章，杨欣泽，
申请(专利权)人：北京蜃景光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11