曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种曝光装置。具有RtoR(Roll to Roll carrier：卷筒对卷筒输送系统)输送系统，在抑制长基板的曲折前行的同时进行曝光。一种曝光装置(10)，其具有输送长基板(W1、W2)的RtoR输送系统，其中，在该曝光装置(10)中设置有：基板供给装置(20)，其保持设置于曝光载台(15)的上游侧的供给卷轴(22A、22B)；以及基板收卷装置(30)，其保持设置于下游侧的收卷卷轴(32A、32B)。在曝光动作时，曝光载台(15)利用载台移动机构(50)在X方向上移动，同时，基板供给装置(20)和基板收卷装置(30)利用输送部移动机构60一起在X方向上移动。

Exposure device

The invention provides an exposure device. With RtoR (Roll to Roll carrier: drum to drum conveying system) conveying system, the exposure is carried out while restraining the zigzag forward of the long substrate. An exposure device (10) has a ToR conveying system for conveying a long substrate (W1, W2), in which a substrate supplying device (20) is provided, which maintains a supply reel (22A, 22B) on the upstream side of the exposure platform (15) and a substrate winding device (30) which maintains a reel (32A, 32B) on the downstream side. In the exposure action, the exposure platform (15) moves in the X direction by means of the platform moving mechanism (50), while the base plate feeding device (20) and the base plate winding device (30) move in the X direction together by means of the conveyor moving mechanism 60.

【技术实现步骤摘要】
曝光装置
本专利技术涉及利用卷筒对卷筒输送系统(RolltoRollcarrier，以下，称作RtoR输送系统)来输送柔性印刷基板等长基板(工件)的曝光装置。
技术介绍
在具有RtoR输送系统的曝光装置中，分别在曝光载台的上游侧配置供给卷轴(卷出卷筒)，在下游侧配置收卷卷轴(收卷卷筒)，在将印刷布线基板等长基板卷绕到供给卷轴、收卷卷轴上之后，从上游侧向下游侧输送并同时进行曝光。具体而言，使吸附支承长基板的反面的曝光载台沿着长基板输送方向移动，并同时利用设置于长基板上方的曝光头投射与投影区域(曝光对象区域)的位置对应的图案光。当曝光载台移动至曝光完成位置时，曝光载台下降，返回到最初的曝光位置。通过反复执行相同的曝光动作，在整个长基板上形成图案。现有的RtoR输送系统被固定于曝光装置的基座(壳体)上。因此，长基板在曝光开始之前从供给卷轴间歇地拉出，向下游侧送出。此外，伴随着在曝光结束之后曝光载台返回上游侧，有时会产生长基板向上游侧的反卷。由于这样的基板的移动会在长基板上曲折前行，并且，产生曝光位置的偏差或者长基板的翘曲、褶皱擦痕等损伤。特别是，在使多个长基板并列前行并同时进行曝光的情况下，曲折前行调整变得困难。因此，需要构建能够可靠地抑制长基板的曲折的基板输送系统。专利文献1：日本特开2015-222370号公报
技术实现思路
本专利技术的曝光装置具有：曝光载台，其支承长基板，能够沿着基板输送线而往返移动；基板供给部，其配置于曝光载台的上游侧，设置有供给卷轴；以及基板收卷部，其配置于曝光载台的下游侧，设置有收卷卷轴。这里的“上游侧”表示曝光载台的供给卷轴侧，“下游侧”表示收卷卷轴侧。例如，能够采用基板供给部具有上游侧支承辊，基板收卷部设置有下游侧支承辊的结构。此外，还能够由并列的多个长基板构成长基板。曝光载台例如构成为能够在吸附保持所述长基板的同时进行移动、并且进行升降即可。在本专利技术中，基板供给部及基板收卷部能够沿着基板输送线移动。这里的“基板输送线”表示基板被送出的方向或者其相反方向，对应于曝光载台的移动方向。在曝光动作时，基板供给部及基板收卷部对应着曝光载台的移动而进行移动即可。作为曝光装置，能够设置如下机构：载台移动机构，其使曝光载台沿着基板输送线而往返移动；以及输送部移动机构，其使基板供给部及基板收卷部沿着基板输送线而往返移动。输送部移动机构例如能够利用1个移动机构使基板供给部与基板收卷部联动、即一体地移动。此外，还能够设置移动控制部，该移动控制部以维持曝光载台与基板供给部及基板收卷部的相对位置关系的方式，控制基板供给部和基板收卷部的移动。例如，只要设置检测基板供给部和基板收卷部中的至少一方与曝光载台的距离间隔的传感器，并由移动控制部根据所检测到的距离间隔来控制曝光载台与基板供给部及基板收卷部的移动即可。本专利技术的其它方式的曝光装置具有：曝光载台，其支承并列着的多个长基板，能够沿着基板输送线而往返移动；以及多个卷轴对，其中，卷轴对的卷轴分别对置配置于曝光载台的两侧，输送多个长基板，多个卷轴对能够与曝光载台一起沿着基板输送线而往返移动。多个卷轴对还能够将多个长基板向相同方向收卷，并且，还能够采用多个卷轴对中的至少1个卷轴对向与其它长基板不同的方向进行收卷的结构。本专利技术的其它方式的曝光装置具有：曝光载台，其支承长基板；一对卷轴，它们分别配置于曝光载台的上游侧和下游侧；以及曝光部，其对长基板进行曝光，曝光部能够相对于曝光载台和一对卷轴沿着基板输送线进行相对移动。专利技术效果根据本专利技术，在具有RtoR输送系统的曝光装置中，能够在抑制长基板的曲折前行的同时进行曝光。附图说明图1是本实施方式的曝光装置的概要结构图。图2是示意性地示出曝光装置的一部分的立体图。图3是曝光装置的概要框图。图4是示出曝光开始时和曝光完成时的曝光载台和输送系统的位置的图。标号说明10：曝光装置；15：曝光载台；20：基板供给装置；22A、22B：供给卷轴；30：基板收卷装置；32A、32B：收卷卷轴；40：曝光部；50：载台移动机构；60：输送部移动机构；70：移动控制部；80：位置传感器；90：位置检测用光电传感器。具体实施方式以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。图1是本实施方式的曝光装置的概要结构图。图2是示意性地示出曝光装置的一部分的立体图。图3是曝光装置的概要框图。曝光装置10是具有在输送卷绕成卷筒状的长基板W的同时进行曝光动作的RtoR输送系统的曝光装置，该曝光装置10具有基板供给装置20、基板收卷装置30和曝光部40。这里，长基板W是由长条片状的基板卷绕而形成为卷筒状的，该长条片状的基板是在长条薄膜上形成铜薄膜层之后、涂覆(或者粘贴)光致抗蚀剂等感光材料而成的。如图2所示，长基板W由宽度相同的2条(一对)基板W1、W2构成。曝光载台(工件台)15能够吸附长基板W的反面并平坦地保持该长基板W、并且在反面吸附位置和从反面离开的规定分离位置之间于Z方向上进行升降，其利用未图示的升降机构进行升降。如后所述，曝光载台15被载台移动机构50支承，能够沿着X方向移动。另外，以下，用“X”表示沿着长基板W的输送方向(输送线)M的方向，用“Y”表示与输送方向M垂直的方向(基板宽度方向)，并且，用“Z”表示与X、Y垂直的方向(铅垂方向)。曝光部40配置于从长基板W1、W2起在Z方向上离开了规定距离的位置，经由未图示的框架而固定于基座(基台)10B上。如图3所示，曝光部40由多个曝光头构成，各曝光头被规定了沿着输送方向M的曝光区域，该多个曝光头分别具有半导体激光器等光源41、照明光学系统42、呈矩阵状地排列有多个微镜的DMD(DigitalMicro-mirrorDevice：数字微镜装置)43、成像光学系统44等。光源41由光源控制部110驱动。各曝光头的DMD根据从曝光控制部120发送的与曝光区域位置对应的描绘数据(栅格数据)对微镜的姿态进行定位，由此将图案光投射到长基板W1、W2上。通过根据长基板W1、W2相对于曝光部40的相对移动来切换微镜的姿态、从而进行对长基板W1、W2的感光材料的曝光(多重曝光等)，由此形成图案。控制器100(参照图3)控制曝光装置10的整体曝光动作。另外，还能够由使用了掩膜的曝光部构成。基板供给装置20具有：供给卷轴22A、22B，它们配置于曝光载台15的上游侧；支承辊24；以及驱动机构(未图示)，其使供给卷轴22A、22B分别进行轴旋转。驱动机构例如由步进马达等构成。被基板供给装置20悬臂支承的供给卷轴22A、22B能够分别将长基板W1、W2的未曝光部分在卷绕成卷筒状的状态下保持并固定，并且通过进行轴旋转将长基板W朝向下游侧送出。另外，设在从曝光载台15观察时，供给卷轴22A、22B侧为“上游侧”、收卷卷轴32A、32B侧为“下游侧”。基板收卷装置30具有：收卷卷轴32A、32B，它们配置于曝光载台15的下游侧；支承辊34；以及驱动机构(未图示)，其使收卷卷轴32A、32B分别进行轴旋转。收卷卷轴32A、32B能够分别将长基板W1、W2的已曝光部分在卷绕成卷筒状的状态下保持并固定，并通过进行轴旋转对长基板W1、W2进行收卷。由输送控制部130(参照图3)来控制基板供给装置20、基板收卷装置30对长基板W1、W2进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种曝光装置，其特征在于，具有：曝光载台，其支承长基板，并且能够沿着基板输送线而往返移动；基板供给部，其配置于所述曝光载台的上游侧，设置有供给卷轴；以及基板收卷部，其配置于所述曝光载台的下游侧，设置有收卷卷轴，所述基板供给部和所述基板收卷部能够沿着基板输送线而进行移动。

【技术特征摘要】
2017.09.13 JP 2017-1761231.一种曝光装置，其特征在于，具有：曝光载台，其支承长基板，并且能够沿着基板输送线而往返移动；基板供给部，其配置于所述曝光载台的上游侧，设置有供给卷轴；以及基板收卷部，其配置于所述曝光载台的下游侧，设置有收卷卷轴，所述基板供给部和所述基板收卷部能够沿着基板输送线而进行移动。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，还具有：载台移动机构，其使所述曝光载台沿着基板输送线而往返移动；以及输送部移动机构，其使所述基板供给部和所述基板收卷部沿着基板输送线而往返移动。3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，还具有移动控制部，该移动控制部控制所述基板供给部及所述基板收卷部的移动，以维持所述曝光载台与所述基板供给部及所述基板收卷部的相对位置关系。4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，还具有传感器，该传感器检测所述基板供给部和所述基板收卷部中的至少一方与所述曝光载台的距离间隔，所述移动控制部根据所检测到的距离间隔来控制所述曝光载台与所述基板供给部及所述基板收卷部的移动。5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的曝光装置，其特征在于，所述基板供给部与所述基板收卷部联动。6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的曝光装置，其特征在于，所述基板供给部具有上游侧支承辊，所述基板收卷部具有下游侧支承辊。7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的曝光装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：山贺胜，绿川悟，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP