一种声表滤波器及制作方法技术

本申请公开了一种声表滤波器及制作方法，包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器，所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。所述散射结构为金属条，所述金属条面向所述换能器的侧面呈锯齿状。制作方法包括以下步骤：清洗；镀膜；去静电；光刻；腐蚀。本申请的有益效果是通过在基片上设置换能器以及金属条结构的散射结构，使得经过所述散射结构的信号发生散射，进而避免了信号经基片端面反射后直接进入换能器内部而产生较大寄生杂波的影响，优化了滤波器的通带波动、带外抑制等电性能指标。

A Soundmeter Filter and Its Fabrication Method

This application discloses a sound meter filter and its fabrication method, including a substrate and a transducer fabricated on a metal film of the substrate. The side of the substrate is perpendicular to the signal transmission direction of the transducer, and a scattering structure is arranged. The scattering structure is a metal strip, which is serrated towards the side of the transducer. The preparation method includes the following steps: cleaning; coating; de-electrostatic; photolithography; corrosion. The beneficial effect of this application is that the scattering structure of transducer and metal strip structure is arranged on the substrate to scatter the signal passing through the scattering structure, thereby avoiding the influence of parasitic clutter caused by the signal directly entering the transducer after being reflected by the end face of the substrate, and optimizing the pass-band fluctuation and out-band suppression of the filter.

【技术实现步骤摘要】
一种声表滤波器及制作方法
本公开一般涉及滤波器领域，具体涉及一种声表滤波器及制作方法。
技术介绍
扇形换能器结构的声表滤波器的特点是相对带宽宽，插入损耗一般在15dB左右，带外抑制一般在45dB左右。滤波器相对带宽较宽时，寄生杂波的影响会更突出，滤波器的通带波动、带外抑制也会随之恶化。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种声表滤波器。第一方面本申请提供一种声表滤波器，包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器，所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。根据本申请实施例提供的技术方案，所述散射结构为金属条，所述金属条面向所述换能器的侧面呈锯齿状。根据本申请实施例提供的技术方案，所述换能器包括采用半导体平面工艺在压电单晶基片表面的金属薄膜上制作的第一扇形换能器和第二扇形换能器；所述散射结构包括设置在所述第一扇形换能器远离第二扇形换能器方向的非换能区由近及远平行设置的第一金属块列和第二金属块列，和，设置在所述第二扇形换能器远离第一扇形换能器方向的非换能区由近及远平行设置的第三金属块列和第四金属块列，所述第一金属块列、第二金属块列、第三金属块列和第四金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声表滤波器，其特征在于，包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器，所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。

【技术特征摘要】
1.一种声表滤波器，其特征在于，包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器，所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。2.根据权利要求1所述的声表滤波器，其特征在于，所述散射结构为金属条，所述金属条面向所述换能器的侧面呈锯齿状。3.根据权利要求1所述的声表滤波器，其特征在于，所述换能器包括采用半导体平面工艺在压电单晶基片表面的金属薄膜上制作的第一扇形换能器和第二扇形换能器；所述散射结构包括设置在所述第一扇形换能器远离第二扇形换能器方向的非换能区由近及远平行设置的第一金属块列和第二金属块列，和，设置在所述第二扇形换能器远离第一扇形换能器方向的非换能区由近及远平行设置的第三金属块列和第四金属块列，所述第一金属块列、第二金属块列、第三金属块列和第四金属块列均由若干金属块排列组成，所述金属块面向换能器的侧面包括至少一个与所述信号传输方向呈非直角的倾斜面。4.根据权利要求3所述的声表滤波器，其特征在于，所述金属块为菱形。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：董启明，
申请(专利权)人：河北时硕微芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13