滤波器晶圆旋转冲洗甩干机制造技术

本发明专利技术涉及滤波器晶圆冲洗设备技术领域，提出了滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，包括机架，设置在机架上的冲洗机构、甩干机构和烘干机构，甩干机构包括：甩干筒设置在机架上，旋转架转动设置在甩干筒内，旋转架上具有若干托板，若干托板沿旋转架圆周间隔分布，夹紧机构设置在托板上，晶圆盒设置在托板上，晶圆盒具有若干平行间隔分布的放置槽，夹紧机构用于夹紧晶圆盒，限位垫设置在放置槽两端，盖板设置在晶圆盒上，第一驱动件设置在机架上，第一驱动件用于驱动旋转架转动。通过上述技术方案，解决了现有技术中的不便对晶圆进行冲洗甩干的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
滤波器晶圆旋转冲洗甩干机


[0001]本专利技术涉及滤波器晶圆冲洗设备
，具体的，涉及滤波器晶圆旋转冲洗甩干机。

技术介绍

[0002]滤波器是由电容、电感和电阻组成的滤波电路。滤波器可以对电源线中特定频率的频点或该频点以外的频率进行有效滤除，得到一个特定频率的电源信号，或消除一个特定频率后的电源信号。芯片是滤波器生产过程中必不可少的组成部件，而晶圆是芯片的载体，在晶圆的生产过程中会有一些微尘残留在晶圆表面，若不及时清洗将严重影响产品的良品率。晶圆的清洗干燥通常用旋转冲洗甩干机完成，现有的旋转冲洗甩干机在对晶圆进行清洗时，通常是将多片晶圆间隔放在一个一个晶圆盒内，不便对所有的晶圆进行冲洗。在旋转甩干的过程中晶圆会相对晶圆盒产生微小的位移，晶圆的边缘可能产生磕破损，影响晶圆的良品率。

技术实现思路

[0003]本专利技术提出滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，解决了相关技术中的不便对所有晶圆进行冲洗甩干的问题。
[0004]本专利技术的技术方案如下：滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，包括机架，设置在所述机架上的冲洗机构、甩干机构和烘干机构，所述甩干机构包括：甩干筒，设置在所述机架上；旋转架，转动设置在所述甩干筒内，所述旋转架上具有若干托板，所述托板上端与所述旋转架铰接，若干托板沿所述旋转架圆周间隔分布；夹紧机构，设置在所述托板上；晶圆盒，设置在所述托板上，所述晶圆盒具有若干放置槽，若干所述放置槽平行间隔分布，所述放置槽用于盛放晶圆，所述夹紧机构用于夹紧所述晶圆盒；限位垫，具有若干个，设置在所述放置槽两端，若干所述限位垫形成限位空间；翻转机构，设置在所述晶圆盒上；盖板，设置在所述翻转机构上，所述盖板上具有若干通孔，所述翻转机构翻转所述盖板后将所述晶圆盒闭合；第一驱动件，设置在所述机架上，所述第一驱动件用于驱动所述旋转架转动。
[0005]作为进一步的技术方案，所述晶圆盒底部具有连接块，所述夹紧机构包括：安装框，设置在所述托板上；夹紧件，具有若干个，转动设置在所述安装框上，若干所述夹紧件形成夹紧空间，所述连接块位于所述夹紧空间内；第一弹性件，两端分别设置在所述安装框和所述夹紧件上，所述第一弹性件用于
带动若干所述夹紧件的分离端相互靠近。
[0006]作为进一步的技术方案，所述翻转机构两端分别设置在所述晶圆盒和所述盖板上，所述翻转机构具有两个，两个所述翻转机构设置在所述盖板两侧，所述翻转机构包括：第一安装座，设置在所述晶圆盒上；传动部，设置在所述第一安装座上；第二安装座，设置在所述传动部上，所述盖板设置在所述第二安装座上；第二驱动件，设置在所述第一安装座上，所述第二驱动件用于驱动所述传动部带动所述第二安装座翻转所述盖板。
[0007]作为进一步的技术方案，所述传动部包括：第一连杆，一端转动设置在所述第一安装座上；第二连杆，一端转动设置在所述第一安装座上，所述第二连杆具有折弯部；第三连杆，所述第二连杆位L型，所述第三连杆一端转动设置在所述第一连杆的另一端，所述第三连杆的中部与所述第二连杆的折弯部铰接；第四连杆，一端转动设置在所述第二连杆的另一端，所述第三连杆和所述第四连杆的另一端均转动设置在第二安装座上。
[0008]作为进一步的技术方案，所述冲洗机构包括：安装架，设置在所述甩干筒上；驱动杆，转动设置在所述安装架上，所述驱动杆一端具有拨动杆；U型架，转动设置在所述拨动杆上；冲洗头，转动设置在所述U型架上，所述冲洗头一端具有连接杆，所述连接杆转动设置在所述安装架上；进水管，设置在所述冲洗头的另一端，所述进水管一端转动设置在所述安装架上；第三驱动件，设置在所述安装架上，所述第三驱动件用于驱动所述驱动杆转动。
[0009]作为进一步的技术方案，所述冲洗头的出水口由中心向两端高度依次降低。
[0010]作为进一步的技术方案，所述晶圆盒的两个侧壁上端间距大于两个所述侧壁下端间距。
[0011]作为进一步的技术方案，所述托板上具有若干通槽，所述夹紧机构位于所述通槽下方，所述连接块穿过所述通槽后，所述夹紧机构夹紧所述连接块。
[0012]本专利技术的工作原理及有益效果为：本专利技术中，为了解决相关技术中的不便对晶圆进行冲洗甩干的问题，对旋转冲洗甩干机的甩干机构进行了改进，首先在旋转架上设置了若干个托板，使多个晶圆盒可以在圆周方向分散设置在旋转架上，避免大量的晶圆堆叠在一起，不便冲洗机构对晶圆进行冲洗，同时在甩干时也会互相干扰。晶圆盒可以通过夹紧机构固定在托板上，避免在旋转架旋转的过程中产生晃动，在放置晶圆的放置槽末端还设置了限位垫用于缓冲，一个放置槽末端的两个限位垫形成连续的三角形区域，在容纳并与晶圆抵接的同时，尽可能减少与晶圆的接触，避免冲洗机构不能对晶圆进行完全冲洗，同时限位垫还避免晶圆与放置槽的侧壁产生磕碰，影响晶圆的良品率。在进行晶圆的冲洗时，盖板处于打开状态，旋转架加快速度旋转对晶圆进行甩干时，为了避免晶圆从晶圆盒内脱出，盖板处于关闭状态，盖板上具有若干通孔，甩离的液体可以由通孔中溢出。在使用旋转冲洗甩干机对晶圆进行清洗烘干时，首
先打开甩干筒的盖子，从旋转架的最低点开始，依次将放好晶圆的晶圆盒放置在托板上，夹紧机构同时夹紧晶圆盒，关闭甩干筒，打开晶圆盒的盖板。第一驱动件驱动旋转架转动，此时，为了保证冲洗效果，旋转架处于慢速旋转状态。若干个晶圆盒依次经过冲洗机构的下方，冲洗机构即可对晶圆进行冲洗。待所有的晶圆冲洗完毕后，关闭盖板，第一驱动件开始驱动旋转架进行高速旋转，以达到进行甩干的目的，此时限位垫将晶圆限制在放置槽内，能尽可能减少晶圆与放置槽之间的相对移动，避免晶圆表面和边缘产生划痕，影响产品的质量。在甩干的同时，烘干机构也开始工作，提高晶圆的清洗效率。
附图说明
[0013]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0014]图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术内部结构示意图；图3为本专利技术晶圆盒结构示意图；图4为本专利技术A处放大结构示意图；图5为本专利技术B处放大结构示意图；图6为本专利技术晶圆盒与盖板连接结构示意图；图7为本专利技术翻转机构与盖板连接结构示意图；图8为本专利技术冲洗机构结构示意图；图9为本专利技术C处放大结构示意图；图中：1、机架，2、冲洗机构，3、甩干机构，4、烘干机构，5、甩干筒，6、旋转架，7、托板，8、夹紧机构，9、晶圆盒，10、放置槽，11、限位垫，12、盖板，13、第一驱动件，14、连接块，15、安装框，16、夹紧件，17、第一弹性件，18、翻转机构，19、第一安装座，20、传动部，21、第二安装座，22、第二驱动件，23、第一连杆，24、第二连杆，25、第三连杆，26、第四连杆，27、安装架，28、驱动杆，29、拨动杆，30、U型架，31、冲洗头，32、连接杆，33、进水管，34、第三驱动件，35、出水口，36、侧壁，37、通槽。
具体实施方式
[0015]下面将结合本专利技术实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，包括机架（1），设置在所述机架（1）上的冲洗机构（2）、甩干机构（3）和烘干机构（4），其特征在于，所述甩干机构（3）包括：甩干筒（5），设置在所述机架（1）上；旋转架（6），转动设置在所述甩干筒（5）内，所述旋转架（6）上具有若干托板（7），所述托板（7）上端与所述旋转架（6）铰接，若干托板（7）沿所述旋转架（6）圆周间隔分布；夹紧机构（8），设置在所述托板（7）上；晶圆盒（9），设置在所述托板（7）上，所述晶圆盒（9）具有若干放置槽（10），若干所述放置槽（10）平行间隔分布，所述放置槽（10）用于盛放晶圆，所述夹紧机构（8）用于夹紧所述晶圆盒（9）；限位垫（11），具有若干个，设置在所述放置槽（10）内，若干所述限位垫（11）形成限位空间；翻转机构（18），设置在所述晶圆盒（9）上；盖板（12），设置在所述翻转机构（18）上，所述盖板（12）上具有若干通孔，所述翻转机构（18）翻转所述盖板（12）后将所述晶圆盒（9）闭合；第一驱动件（13），设置在所述机架（1）上，所述第一驱动件（13）用于驱动所述旋转架（6）转动。2.根据权利要求1所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述晶圆盒（9）底部具有连接块（14），所述夹紧机构（8）包括：安装框（15），设置在所述托板（7）上；夹紧件（16），具有若干个，转动设置在所述安装框（15）上，若干所述夹紧件（16）形成夹紧空间，所述连接块（14）位于所述夹紧空间内；第一弹性件（17），两端分别设置在所述安装框（15）和所述夹紧件（16）上，所述第一弹性件（17）用于提供若干所述夹紧件（16）相互靠近的力。3.根据权利要求1所述的滤波器晶圆旋转冲洗甩干机，其特征在于，所述翻转机构（18）包括：第一安装座（19），设置在所述晶圆盒（9）上；传动部（20），设置在所述第一安装座（19）上；第二安装座（21），设置在所述传动部（20）上，所述盖板（12）设置在所述第二安装座（21）上；第二驱动件（22），设置在所述第一安装座（19）上，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢翠，张太鑫，左伟平，梁浩，徐江坤，
申请(专利权)人：河北时硕微芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：