本申请公开了一种适用于超声设备的水浴降温装置，包括：循环水供应单元、控制单元和温度采集单元。其中，所述循环水供应单元包括供水部，供水部通过管路与降温空间连通设置；所述供水部用于向所述降温空间内部输送液体；所述温度采集单元设置于超声设备的侧壁，且温度采集单元的采集端与可循环液体接触，用于采集可循环液体的水温；所述控制单元与循环水供应单元以及温度采集单元电连接。本申请通过温度采集单元对超声设备内部水温进行监测，随后控制单元与循环水供应单元配合形成对其内部液体进行循环换热操作，保证水温不会影响到药液槽内部晶圆，本装置不仅结构简单、便于操作，还具有智能化环节，节省了人力。节省了人力。节省了人力。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于超声设备的水浴降温装置
[0001]本公开一般涉及超声设备降温
，具体涉及一种适用于超声设备的水浴降温装置。
技术介绍
[0002]众所周知，半导体晶圆在电器元件中起到至关重要的作用，其表面洁净度，产品质量直接决定了电器元件使用寿命的长短，半导体晶圆在生产制造过程中为了保证半导体晶圆的质量需要把控半导体晶圆的温度。半导体生产工艺中，超声设备里面为水介质，同时药液槽位于水介质中利用超声设备得到加热。在超声设备连续工作时，水在超声作用下，水分子摩擦产生热量，水温度能达到很高，超过50度药液槽里的晶圆就容易碎裂。
[0003]现有半导体晶圆温度控制装置，例如中国专利文献公开了为一种半导体晶圆快速冷却控制装置(公开号：CN213878032U)，包括箱体、中控器、冷却仓以及预冷仓，箱体上设有工作台、水箱以及液氮箱，工作台安装在箱体的上端，水箱以及液氮箱均安装在箱体的内部，水箱上设有进水管以及回水管，液氮箱上设有液氮运输管，预冷仓上设有冷凝管，冷却仓上设有冷风机以及液氮控制器，通过设有冷凝管以及水箱，使预冷仓具有预冷的效果，防止半导体晶圆遇到突然的低温而发生损坏，但是该装置结构比较复杂，也并非是结合超声设备以及半导体晶圆控温角度进行考虑，为此，我们提出一种适用于超声设备的水浴降温装置用于对半导体晶圆进行降温。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可把控温度、结构简单的适用于超声设备的水浴降温装置。
[0005]本申请提供一种适用于超声设备的水浴降温装置，所述超声设备具有降温空间，所述降温空间中设有可循环液体；所述降温空间与水浴降温装置连通设置，所述水浴降温装置包括：
[0006]循环水供应单元，所述循环水供应单元包括供水部，所述供水部通过管路与所述降温空间连通设置；所述供水部用于向所述降温空间内部输送液体；
[0007]温度采集单元，所述温度采集单元设置于所述超声设备的侧壁，且所述温度采集单元的采集端与所述可循环液体接触，用于采集所述可循环液体的水温；
[0008]控制单元，所述控制单元与所述循环水供应单元以及所述温度采集单元电连接；所述控制单元配置用于接收所述可循环液体的水温数值，并，向所述供水部发出控制信号。
[0009]根据本申请实施例提供的技术方案，所述供水部包括：至少两个水槽和水泵；
[0010]所述水槽内部设有可循环液体，且所述管路一端伸入所述降温空间，另一端伸入所述水槽内部；
[0011]所述管路伸入所述水槽的一端与所述水泵的输出端相连。
[0012]根据本申请实施例提供的技术方案，所述管路上设有切换件，所述切换件用于控
制液体输送；所述切换件与所述控制单元电连接。
[0013]根据本申请实施例提供的技术方案，所述温度采集单元包括：设置于所述超声设备侧壁的固定架和设置于所述固定架上的温度采集探针，所述温度采集探针用于采集所述可循环液体的温度。
[0014]根据本申请实施例提供的技术方案，所述温度采集探针靠近所述超声设备底部的一端设置有温度传感器，所述温度传感器与所述控制单元电性连接；所述温度传感器形成所述采集端。
[0015]根据本申请实施例提供的技术方案，还包括水位检测单元；
[0016]所述水位检测单元可浮动地设置于所述可循环液体上，用以监测所述降温空间内部水位。
[0017]根据本申请实施例提供的技术方案，所述水位检测单元包括：浮球和与所述浮球连接的支撑杆；
[0018]所述浮球浮动设置所述可循环液体的液面上；
[0019]所述支撑杆为轻质材料，且其一端与所述浮球连接，另一端与所述超声设备的侧壁处活动连接，用于使得浮球具有可浮动空间。
[0020]根据本申请实施例提供的技术方案，所述支撑杆远离所述浮球的一端连接有活动轴，所述活动轴贯穿所述超声设备的侧壁向远离所述降温空间的方向延伸，且其与所述超声设备侧壁活动连接；
[0021]所述活动轴远离所述支撑杆的一端设置有感应件，所述感应件能够与所述水泵的控制开关相接触，用于对所述水泵的工况进行控制。
[0022]根据本申请实施例提供的技术方案，所述控制单元包括：主控模块、温度采集模块、处理模块和数据传输接口；
[0023]所述主控模块通过所述数据传输接口与所述处理模块进行信息交换；
[0024]所述温度采集模块用于接收所述温度传感器采集到的温度数值，并将所述温度数值传输至所述主控模块。
[0025]综上所述，本技术方案具体地公开了一种适用于超声设备的水浴降温装置，包括：循环水供应单元、温度采集单元和控制单元。其中，所述循环水供应单元包括供水部，所述供水部通过管路与所述降温空间连通设置；所述供水部用于向所述降温空间内部输送液体，以使得输送的液体与超声设备内部的初始液体形成一个可循环的换液过程，液体在循环过程中能够带走热量达到对超声设备内部降温的作用；所述温度采集单元设置于所述超声设备的侧壁，且温度采集单元的采集端与可循环液体接触，用于采集所述可循环液体的温度，当温度超出或低于一定范围时与控制单元配合进行停止循环换热或者开启循环换热的操作；所述控制单元与所述循环水供应单元以及所述温度采集单元电连接；所述控制单元配置用于接收所述可循环液体的温度数值，并，向所述供水部发出控制信号。
[0026]本申请通过温度采集单元对超声设备内部水温进行监测，当内部水温超出范围或者低于范围，随后控制单元与循环水供应单元配合形成对其内部液体进行与水温相符合的循环换热操作，保证水温适宜，不会影响到药液槽内部晶圆，本申请所公开的装置不仅结构简单、便于操作，还利用较为智能化的温度采集以及温度超出范围控制相应器件打开等环节，节省了人力。
附图说明
[0027]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0028]图1为一种适用于超声设备的水浴降温装置的结构示意图。
[0029]图2为一种适用于超声设备的水浴降温装置的结构俯视图。
[0030]图3为一种适用于超声设备的水浴降温装置的控制单元结构示意图。
[0031]图中标号：100、循环水供应单元；101、管路；102、水槽；103、水泵；104、切换件；200、温度采集单元；201、固定架；202、温度采集探针；300、控制单元；400、水位检测单元；401、浮球；402、支撑杆；403、活动轴。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0033]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0034]实施例1
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于超声设备的水浴降温装置，所述超声设备(000)具有降温空间，所述降温空间中设有可循环液体；所述降温空间与水浴降温装置连通设置，其特征在于，所述水浴降温装置包括：循环水供应单元(100)，所述循环水供应单元(100)包括供水部，所述供水部通过管路(101)与所述降温空间连通设置；所述供水部用于向所述降温空间内部输送液体；温度采集单元(200)，所述温度采集单元(200)设置于所述超声设备的侧壁，且所述温度采集单元(200)的采集端与所述可循环液体接触，用于采集所述可循环液体的水温；控制单元(300)，所述控制单元(300)与所述循环水供应单元(100)以及所述温度采集单元(200)电连接；所述控制单元(300)配置用于接收所述可循环液体的水温数值，并，向所述供水部发出控制信号。2.根据权利要求1所述的一种适用于超声设备的水浴降温装置，其特征在于，所述供水部包括：至少两个水槽(102)和水泵(103)；所述水槽(102)内部设有可循环液体，且所述管路(101)一端伸入所述降温空间，另一端伸入所述水槽(102)内部；所述管路(101)伸入所述水槽(102)的一端与所述水泵(103)的输出端相连。3.根据权利要求1或2所述的一种适用于超声设备的水浴降温装置，其特征在于，所述管路(101)上设有切换件(104)，所述切换件(104)用于控制液体输送；所述切换件(104)与所述控制单元(300)电连接。4.根据权利要求3所述的一种适用于超声设备的水浴降温装置，其特征在于，所述温度采集单元(200)包括：设置于所述超声设备(000)侧壁的固定架(201)和设置于所述固定架(201)上的温度采集探针(202)，所述温度采集探针(202)用于采集所述可循环液体的温度。5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯永增，
申请(专利权)人：河北时硕微芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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