多晶硅生产炉体防压差密封塞制造技术

本发明专利技术的多晶硅生产炉体防压差密封塞，封堵塞具有位于下部的圆柱形塞体，和位于上部的直径大于塞体的塞帽，塞体中部设置有环形凹槽，环形凹槽内卡装有密封圈，塞体靠近下端的部分为倒置锥台形，锥台最大直径大于多晶硅生产炉体上通孔直径构成限位台阶，锥台由内部盲孔侧壁上多条狭长开口槽分隔为具有弹性的爪形膨胀套结构，能够挤压收缩塞入多晶硅生产炉体上通孔内，锥台由通孔另一侧伸出后回弹膨胀，塞帽、锥台同时从通孔两侧限位封堵，不会脱落；塞体因可移动行程小，即使内外压差产生变化，各密封配合面也不会摩擦损伤，防止因两侧压差变化造成密封失效，安装、拆卸操作方便快捷，能够重复利用，提高效率，降低成本。

Pressure differential sealing plug for polycrystalline silicon furnace body

The pressure differential sealing plug of the polycrystalline silicon production furnace body of the present invention has a cylindrical plug located at the lower part and a plug cap whose diameter is larger than that of the plug at the upper part. A ring groove is arranged in the middle of the plug body, and a sealing ring is clamped in the ring groove. The part near the lower end of the plug body is an inverted cone-shaped one. The maximum diameter of the cone-shaped plug body is larger than the diameter of the through hole on the polycrystalline silicon production furnace body. The cone table is divided into several narrow opening slots on the side wall of the inner blind hole into an elastic claw-shaped expansion sleeve structure, which can squeeze and shrink into the through hole on the polycrystalline silicon production furnace body. The cone table springs back and expands after extending from the other side of the through hole. The plug cap and the cone table are blocked from both sides of the through hole at the same time, and will not fall off. The plug body has a small movable travel, even if the pressure difference between inside and outside changes, and each seal is sealed. The mating surface will not be damaged by friction, so as to prevent seal failure due to the change of pressure difference on both sides. The installation and disassembly operation is convenient and fast, and can be reused, improve efficiency and reduce costs.

【技术实现步骤摘要】
多晶硅生产炉体防压差密封塞
本专利技术涉及多晶硅生产炉体的一种防压差密封塞。
技术介绍
随着新能源行业的兴起，市场对多晶硅产品的需求越来越大，而且对多晶硅的纯度也提出了很高的要求，尤其是应用于电子级行业的多晶硅，对纯度的要求更高；相应的对用于制造多晶硅产品的生产设备的洁净度也提出了很高的要求，电子级多晶硅评价炉在万级洁净室内制造组装为整体结构，设备制造完成后，为保证设备内部的洁净要求，必须对设备内部进行密封性检验，最终发货时需要充入高纯氮气对内部保护，保证设备内部的干燥和洁净。设备制作完成后，还需要经过气压试验，密封性试验，充氮保护等工序，在进行密封性检验时，采用氦气检漏的方法，且要求泄漏率≤1.0x10-11Pa.m3/s，要求高，为保证检验效果，还需要对设备内部抽真空，再充入氦气检验，整个设备内部的压力变化为：正压→负压→正压的过程，且设备的上有多个直通孔，无法使用法兰盲板或其他结构封闭。多晶硅生产设备中的炉体通常设置有若干通孔，炉体设备在生产、包装、运输等过程中对炉体内部具有洁净度要求，不能进入灰尘，一般采用在炉体内部填充高纯惰性气体的方式来保持炉体内部清洁，填充高纯惰性气体时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅生产炉体防压差密封塞，其特征在于：包括能够塞入多晶硅生产炉体上通孔内的封堵塞，封堵塞具有位于下部的圆柱形塞体，和位于上部的直径大于塞体的塞帽，塞体中部设置有环形凹槽，环形凹槽内卡装有密封圈，塞体靠近下端的部分为倒置锥台形，锥台最大直径大于多晶硅生产炉体上通孔直径构成限位台阶，锥台内部设置有同轴盲孔，盲孔侧壁上设置有若干内外贯通的狭长开口槽，使得锥台构成具有弹性的膨胀套结构。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产炉体防压差密封塞，其特征在于：包括能够塞入多晶硅生产炉体上通孔内的封堵塞，封堵塞具有位于下部的圆柱形塞体，和位于上部的直径大于塞体的塞帽，塞体中部设置有环形凹槽，环形凹槽内卡装有密封圈，塞体靠近下端的部分为倒置锥台形，锥台最大直径大于多晶硅生产炉体上通孔直径构成限位台阶，锥台内部设置有同轴盲孔，盲孔侧壁上设置有若干内外贯通的狭长开口槽，使得锥台构成具有弹性的膨胀套结构。2.根据权利要求1所述多晶硅生产炉体防压差密封塞，其特征在于：所述锥台内部的盲孔为第一螺纹盲孔，盲孔内部通过螺纹配合连接有加强芯。3.根据权利要求1所述多晶硅生产炉体防压差密封塞，其特征在于：所述塞帽顶面设置有第二螺纹盲孔，第二螺纹盲孔内部设置有提升螺杆。4.根据权利要求1所述多晶硅生产炉体防压差密封塞，其特征在于：所述锥台根部设置有一段圆柱段，圆柱段直径与锥台最大直径一致。5.根据权利要求1所述多晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志刚，洪钰，陆东海，
申请(专利权)人：江苏瑞吉格泰油气工程有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32