The invention discloses a wafer transmission device, whose hardware includes: guide rod locking flange (1), adjusting base plate (2), sensor combination (3), wafer box tray (4), sensor positioning frame (5), wafer box (6) and detection sensor (7). Both the guide rod locking flange (1) and the adjusting base plate (2) are installed under the sheet box tray (4), and the fixing device and the adjusting balance function of the guide rod locking flange (1) and the adjusting base plate (2) are arranged under the sheet box tray (4). The detection sensor (7) is mounted on the sensor positioning frame (5) to detect the wafer to prevent the position deviation. The wafer box (6) is placed on the wafer box tray (4) and moves up and down with the device to realize the fetching and placing of the wafer. The invention relates to an ion implantation device, which belongs to the field of semiconductor manufacturing.
【技术实现步骤摘要】
一种晶片传输装置
本专利技术涉及一种集成电路制造控制系统，即离子注入机，特别地涉及一种用于离子注入机晶片传输过程的一种装置。将晶片传输到后续工序加工的过程，需要一种快速的晶片传输装置。
技术介绍
随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求，离子注入角度和晶片传输位置的准确快速都是离子注入设备的重要指标。离子注入机通过改变注入离子的角度实现各种材料改性、半导体器件的制造以及大功率器件制造等领域。对于离子注入角度有着严格的技术要求，对晶片传输过程中晶片位置准确放置与晶片快速传输都有很高的要求。为实现上述晶片的工艺，如离子注入、光刻等工艺，晶片需要快速的在设备之间传输，甚至在设备内进行传输，这就要求晶片传输装置能够定位精准，不会发生偏移。通常，在晶片传输过程中需要实时监测晶片尺寸与位置。现有的晶片传输装置无法保证能够实时监测晶片位置，容易发生晶片损坏的状况。
技术实现思路
本专利技术公开了一种晶片传输装置，可用于离子注入机晶片传输过程，操作简单，实用性强，可实时监测晶片位置，防止晶片发生损坏。本专利技术通过以下技术方案实现：1.一种晶片传输装置，硬件包括：导杆锁紧法兰(1)、调节底板(2)、传感器组合(3)、片盒托盘(4)、传感器定位架(5)、晶片盒(6)、检测传感器(7)。2.一种晶片传输装置，其特征在于导杆锁紧法兰(1)通过固定螺栓将其固定在移动轴(8)上，保证定位精度高的同时，确保晶片传输装置随移动轴(8)可上下移动。3.一种晶片传输装置，其特征在于调节底板(2)与片盒托盘(4)相连接，通过调节紧定螺纹，实现调节片盒托盘的平衡与稳定，确保晶片的...
【技术保护点】
1.一种晶片传输装置，硬件包括：导杆锁紧法兰(1)、调节底板(2)、传感器组合(3)、片盒托盘(4)、传感器定位架(5)、晶片盒(6)、检测传感器(7)。
【技术特征摘要】
1.一种晶片传输装置，硬件包括：导杆锁紧法兰(1)、调节底板(2)、传感器组合(3)、片盒托盘(4)、传感器定位架(5)、晶片盒(6)、检测传感器(7)。2.如权利要求1所述的一种晶片传输装置，其特征在于导杆锁紧法兰(1)通过固定螺栓将其固定在移动轴上，保证定位精度高的同时，确保晶片传输装置随移动轴可上下移动。3.如权利要求1所述的一种晶片传输装置，其特征在于调节底板(2)与片盒托盘(4)相连接，通过调节紧定螺纹，实现调节片...
【专利技术属性】
技术研发人员：王成华，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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