本发明专利技术提供一种偏振光照射装置及偏振光照射方法，能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光。偏振光照射装置(100)具备：光源(11)；导光光纤(20)，具有供来自光源(11)的光入射的入射端(23)和沿着一方向配置并供从入射端(23)入射的光出射的出射端(22)；透镜单元(30)，具有偏振元件(34)，并使利用偏振元件(34)而使从导光光纤(20)的出射端(22)出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域(34)；及倾斜照射机构(40)，以任意的角度固定透镜单元(30)，以对被处理物(工件W)的光照射面倾斜地照射偏振光。
Polarized Illumination Device and Polarized Illumination Method
The invention provides a polarized light illumination device and a polarized light illumination method, which can illuminate the polarized light obliquely to the workpiece without the large-scale device. The polarized light irradiation device (100) has: a light source (11); a light guide fiber (20), an incident end (23) for light incident from the light source (11) and an exit end (22) arranged in one direction for light incident from the incident end (23); a lens unit (30) having a polarizing element (34) and polarizing the light emitted from the output end (22) of the light guide fiber (20) by using a polarizing element (34). Vibrating light is emitted to form a linear illumination region (34) along the direction mentioned above, and an inclined illumination mechanism (40) to fix the lens unit (30) at an arbitrary angle to illuminate polarized light obliquely on the illumination surface of the processed object (workpiece W).
【技术实现步骤摘要】
偏振光照射装置及偏振光照射方法
本专利技术涉及向工件照射偏振光的偏振光照射装置及偏振光照射方法。
技术介绍
近年来，关于以液晶面板为首的液晶显示元件的配向膜或视角补偿膜的配向层等的光配向处理，采用照射预定的波长的偏振光而进行配向的被称作光配向的技术。作为进行上述那样的光配向处理的装置，例如专利文献1公开了如下的曝光装置：使光照射部倾斜而对作为被处理物的工件(基板)倾斜地照射光。另外，专利文献2公开了如下的方法：通过使支撑被处理物(基板)的支架倾斜而使被处理物倾斜，从而对被处理物倾斜地照射光。现有技术文献专利文献1：日本特开平10-154658号公报专利文献2：日本特开2011-107731号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上述各专利文献所记载的那样，以前，在液晶面板(液晶基板)的制造工序中，进行对基板倾斜地照射光的处理。另外，近年来，也期望对基板倾斜地照射偏振光。然而，近年来，液晶基板成为一边为2m以上的大小，对这样的大型的基板照射偏振光的装置的光照射部和支撑基板的工作台伴随着基板的大型化而变得大型且重量较重。因而，在如上述各专利文献所记载的技术那样，在使光照射部或工作台倾斜的构造的情况下，用于进行该倾斜的倾斜机构变得大型化。因此，装置整体大型化，装置的成本也变高。因此，本专利技术的课题在于提供能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光的偏振光照射装置及偏振光照射方法。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，本专利技术的偏振光照射装置的一个技术方案具备：光源；导光光纤，具有供来自上述光源的光入射的入射端和沿着一方向配置并供从上述入射端入射的光出射的出射端；透镜单元，具有偏振元件，并使利用上述偏振元件而使从上述导光光纤的上述出射端出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域；及倾斜照射机构，以任意的角度固定上述透镜单元，以对被处理物的光照射面倾斜地照射上述偏振光。这样，通过将透镜单元固定为任意的角度而对被处理物的光照射面倾斜地照射偏振光，因此无需使包括光源在内的光照射部整体倾斜或者使保持被处理物的工作台倾斜。因而，能够在避免装置大型化的情况下对被处理物的光照射面倾斜地照射偏振光。另外，在上述偏振光照射装置的基础上，也可以是，上述导光光纤由多个光纤束构成，上述多个光纤束分别集束预定条数的多条光纤线材而成，上述多个光纤束的光出射侧端部沿着上述一方向排列配置而构成上述出射端。在该情况下，能够容易且适当地形成沿着一方向延伸的出射端。此外，在上述偏振光照射装置的基础上，也可以是，上述偏振光照射装置具备多个上述光源，构成与多个上述光源分别对应地设置的上述导光光纤的、上述多个光纤束的光出射侧端部，每预定个数地相互沿着上述一方向排列配置而构成上述出射端。在该情况下，即使在存在有多个光源间的照度的偏差的情况下，也能够抑制光照射区域中的照度的偏差，能够对被处理物照射均匀的光。另外，在上述偏振光照射装置的基础上，也可以是，上述导光光纤由将多条光纤线材集束成一束而成的一个光纤束构成，上述一个光纤束的光出射侧端部被以沿着上述一方向延伸的方式集束而构成上述出射端。在该情况下，能够容易且适当地形成沿着一方向延伸的出射端。此外，在上述偏振光照射装置的基础上，也可以是，上述透镜单元还具备：光学系统，将从上述导光光纤的上述出射端出射的光作为入射光，使该入射光的照度均匀；及会聚透镜，对来自上述光学系统的出射光进行会聚，上述偏振元件使由上述会聚透镜进行会聚后的光偏振。在该情况下，能够适当地形成照度均匀的沿着一方向的光照射区域。此外，若在偏振元件的出射侧不设置其他光学元件而将通过偏振元件而偏振后的偏振光直接向被处理物照射，则能够抑制偏振轴的意外的旋转，能够适当地照射所期望的偏振光。另外，在上述偏振光照射装置的基础上，也可以是，上述光学系统是具有沿着上述一方向配置的长边的玻璃板。在该情况下，能够通过简单的结构使入射光的照度均匀。另外，在上述偏振光照射装置的基础上，也可以是，上述会聚透镜是柱面透镜。在该情况下，能够通过简单的结构适当地形成沿着一方向的线状的光。另外，在上述偏振光照射装置的基础上，也可以是，上述倾斜照射机构构成为能够调整上述透镜单元相对于上述光照射面的角度。在该情况下，能够调整从透镜单元出射的光相对于被处理物的光照射面的入射角度。此外，本专利技术的偏振光照射方法的一技术方案包括如下步骤：使来自光源的光向导光光纤的入射端入射，并从沿着一方向配置的出射端出射；使从上述导光光纤的上述出射端出射的光向具有偏振元件的透镜单元入射，并使利用上述偏振元件而使该入射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域；及以任意的角度固定上述透镜单元，以对被处理物的光照射面倾斜地照射上述偏振光。这样，由于通过将透镜单元固定为任意的角度而对被处理物的光照射面倾斜地照射偏振光，因此无需使包括光源在内的光照射部整体倾斜或者使保持被处理物的工作台倾斜。因此，能够在避免装置大型化的情况下对被处理物的光照射面倾斜地照射偏振光。专利技术效果根据本专利技术，能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光。附图说明图1是表示本实施方式的偏振光照射装置的概略结构图。图2是灯具(灯箱)的结构例。图3是导光光纤的结构例。图4是透镜单元的结构例。具体实施方式以下，基于附图来说明本专利技术的实施方式。(第一实施方式)图1是表示本实施方式的偏振光照射装置100的概略结构图。偏振光照射装置100具备：光照射部，构成为包括第一灯具(灯箱)10A、第二灯具(灯箱)10B、导光光纤20及透镜单元30；倾斜照射机构40；及工件工作台50。作为偏振光照射装置100的被处理物的工件W例如是在光照射面上形成有光配向膜的矩形的基板。偏振光照射装置100一边出射偏振光(偏振后的光)一边通过未图示的输送部使工件工作台50进行直线移动，对形成于由工件工作台50输送的工件W的光照射面的光配向膜照射上述偏振光而进行光配向处理。在本实施方式中，偏振光照射装置100能够实施对工件W的光照射面倾斜地照射偏振光的光配向处理。如图2所示，第一灯具10A具备放射紫外线的光源11和反射镜12。第二灯具10B具有与第一灯具10A相同的结构，因此在此仅说明第一灯具10A的结构。光源11例如能够使用短弧型的超高压水银灯或金属卤化物灯等灯，放射与封入发光材质对应的波长的紫外光。另外，光源11不限定于灯，例如也能够使用LED或LD。光源11的种类能够根据需要的波长而适当地选择。反射镜12反射来自光源11的紫外线并将其向导光光纤20的入射端23会聚。例如，反射镜12是其截面为椭圆形状的碗(bowl)状会聚镜，在光源11为灯的情况下，以使其发光点与椭圆的第一焦点一致的方式进行配置。另外，在光源11为灯的情况下，光源11既可以为水平点亮，也可以为垂直点亮。另外，在本实施方式中，说明光照射部具备两个灯具10A、10B的情况，但是灯具的数量不限定于上述数量。灯具的数量根据后述光照射区域34的大小或照度等而适当地设定。导光光纤20与灯具10A及10B分别对应地设置。导光光纤20将来自灯具10A、10B的光向透镜单元30引导。导光光纤20由多个较细的光纤线材21构成，能够柔软地弯曲(具有挠性)。导光光纤2本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：光源；导光光纤，具有供来自所述光源的光入射的入射端和沿着一方向配置并供从所述入射端入射的光出射的出射端；透镜单元，具有偏振元件，并使利用所述偏振元件而使从所述导光光纤的所述出射端出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着所述一方向的线状的光照射区域；及倾斜照射机构，以任意的角度固定所述透镜单元，以对被处理物的光照射面倾斜地照射所述偏振光。
【技术特征摘要】
2017.08.28 JP 2017-1635191.一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：光源；导光光纤，具有供来自所述光源的光入射的入射端和沿着一方向配置并供从所述入射端入射的光出射的出射端；透镜单元，具有偏振元件，并使利用所述偏振元件而使从所述导光光纤的所述出射端出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着所述一方向的线状的光照射区域；及倾斜照射机构，以任意的角度固定所述透镜单元，以对被处理物的光照射面倾斜地照射所述偏振光。2.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述导光光纤由多个光纤束构成，所述多个光纤束各集束预定条数的多条光纤线材而成，所述多个光纤束的光出射侧端部沿着所述一方向排列配置而构成所述出射端。3.根据权利要求2所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述偏振光照射装置具备多个所述光源，构成与多个所述光源分别对应地设置的所述导光光纤的、所述多个光纤束的光出射侧端部，每预定个数地相互沿着所述一方向排列配置而构成所述出射端。4.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述导光光纤由将多条光纤线材集束成一束而成的一个光...
【专利技术属性】
技术研发人员：石井一正，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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