脆性材料基板的截断装置及其截断方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种脆性材料基板的截断装置以及其截断方法，在进行脆性材料基板的截断工序之前，使用能够吸附和气浮的固定台和能够吸附和气浮的移动台来搬运脆性材料基板，从而能够防止脆性材料基板的表面不良或者完全截断。本发明专利技术的脆性材料基板的截断装置包括：上部构件(100)，其具有多个固定台(110)和位于所述固定台(110)之间且能够移动的移动台(120)；下部构件(300)，其具有支承板(310)和结合于所述支承板(310)的下部的升降部(320)；以及中间构件(200)，其具有在所述支承板(310)的上部沿长边方向移动的长边方向移动部(230)。

The Cutting Device of Brittle Material Substrate and Its Cutting Method

The invention provides a truncation device for brittle material base plate and a truncation method thereof. Before the truncation process of brittle material base plate is carried out, a fixed platform capable of adsorption and air floatation and a mobile platform capable of adsorption and air floatation are used to carry the brittle material base plate, thereby preventing the surface of the brittle material base plate from being bad or completely truncated. The truncation device of the brittle material substrate of the present invention includes: an upper member (100), which has a plurality of fixed platforms (110) and a movable mobile platform (120) between the fixed platforms (110); a lower member (300), which has a supporting plate (310) and a rising and falling part (320) attached to the lower part of the supporting plate (310); and an intermediate member (200), which has an upper edge of the supporting plate (310). A long-side moving part (230) moving in a long-side direction.

【技术实现步骤摘要】
脆性材料基板的截断装置及其截断方法
本专利技术涉及脆性材料基板的截断装置以及截断方法，更详细地说，涉及能够防止在进行脆性材料基板的截断工序之前会在搬运中产生的脆性材料基板的表面不良或者完全截断的脆性材料基板的截断装置以及截断方法。
技术介绍
一般来说，在玻璃基板等脆性材料基板中，为了对基板进行截断加工，在基板上沿截断预定线形成刻痕线之后，经由截断(breaking)工序来截断基板。关于在基板形成刻痕线的方法，具有利用刀轮等进行的机械加工、利用激光光束的照射进行的非接触式加工方法。另外，在向基板沿截断预定线形成有刻痕线之后，为了完全截断基板进行截断工序，关于基板的截断方法，具有使用滚子(roller)、推动器(pusher)等对基板施加冲击的接触式方法和使用激光或者蒸汽(steam)等对基板进行加热后使基板冷却的非接触式方法。然而，接触式截断工序存在对基板施加物理的冲击而产生表面不良、产生误差以及不能使用的范畴较大这样的问题点。另外，在现有的非接触式截断工序中，使用因基板的热变化而引起的膨胀收缩，但是存在对于因热变化而引起的拉伸力较小的材料而言效果不明显的问题点。在先技术文献专利文献1：韩国公开专利公报第2014-0018504号
技术实现思路
对此，本专利技术是为了消除所述那样的要求而提出的专利技术，其目的在于提供一种脆性材料基板的截断装置以及截断方法，在进行脆性材料基板的截断工序之前，通过使用能够进行吸附和气浮的固定台以及能够进行吸附和气浮的移动台对脆性材料基板进行搬运，从而能够防止脆性材料基板的表面不良或者完全截断。为了实现所述目的，本专利技术的脆性材料基板的截断装置包括：上部构件100，其具有多个固定台110和位于所述固定台110之间且能够移动的移动台120；下部构件300，其具有支承板310和结合于所述支承板310的下部的升降部320；以及中间构件200，其具有在所述支承板310的上部沿长边方向移动的长边方向移动部230。另外，在本专利技术的脆性材料基板的截断装置中，所述长边方向移动部230还包括：导轨210，其被多个支承台211支承，该多个支承台211在所述支承板310的两侧沿长边方向设置；移动构件251，其沿所述导轨210移动；T字型托架250，其连结于所述移动构件251；第一驱动部221，其在所述下部构件300的中心部位沿长边方向设置，并驱动所述移动构件251；以及U字型托架240，其经由两端向相互相反方向弯曲的杆型托架220连结于所述第一驱动部221的一侧上部，所述移动台120的下部分别连结于所述T字型托架250的上表面以及所述U字型托架240的上表面。另外，在本专利技术的脆性材料基板的截断装置中，所述两端向相互相反方向弯曲的杆型托架220由所述第一驱动部221驱动。另外，在本专利技术的脆性材料基板的截断装置中，所述固定台110和所述移动台120还包括喷出或者吸附空气的多个贯通孔。另外，在本专利技术的脆性材料基板的截断装置中，所述固定台110和所述移动台120包括陶瓷材料质的上部板111、112、113、121、122和石材质的下部组件130。另外，在本专利技术的脆性材料基板的截断装置中，所述升降部320还包括：多个倾斜板322；倾斜导轨323，其位于所述倾斜板322的倾斜面；多个倾斜导轨移动构件324，它们沿所述倾斜导轨323移动；第二驱动部321，其位于所述倾斜板322之间，并用于驱动所述倾斜导轨移动构件324；以及升降盖325，其连结于所述倾斜导轨移动构件324，在所述第二驱动部321驱动时，所述升降盖325借助所述倾斜导轨移动构件324而上升下降。另外，为了实现所述目的，本专利技术的脆性材料基板的截断方法包括：向上部构件100上安装脆性材料基板400的第一阶段S100；所述上部构件100的移动台120前进移动而使第一脆性材料基板410向截断部500上移动的第二阶段S200；所述上部构件100的移动台120后退移动的第三阶段S300；以及所述截断部500自所述上部构件100分隔移动而将所述第一脆性材料基板410与第二脆性材料基板420之间的刻痕线截断的第四阶段S400。另外，关于本专利技术的脆性材料基板的截断方法，在所述第一阶段S100中，所述移动台120的多个贯通孔吸附空气，所述固定台110的多个贯通孔喷出空气，所述脆性材料基板400在被固定于所述移动台120的状态下与所述固定台110隔开预先决定的间隔而分隔开来。另外，关于本专利技术的脆性材料基板的截断方法，在所述第二阶段S200中，在所述第一脆性材料基板410移动到所述截断部500上时，在所述固定台110的多个贯通孔喷出空气结束并且吸附空气，在所述脆性材料基板400被固定于所述固定台110的状态下，所述移动台120下降。另外，关于本专利技术的脆性材料基板的截断方法，在第四阶段S400中，在所述第一脆性材料基板410与第二脆性材料基板420之间的刻痕线截断时，在下降了的状态下后退移动后的所述移动台120上升。专利技术效果根据本专利技术，具有如下效果：在进行脆性材料基板的截断工序之前，通过使用能够吸附和气浮的固定台和能够吸附和气浮的移动台来搬运脆性材料基板，从而能够防止脆性材料基板的表面不良或者完全截断。附图说明图1是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断装置的整体结构的立体图。图2是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断装置中的上部构件的分解后的样子的分解立体图。图3是表示本专利技术的一实施例的本专利技术的脆性材料基板的截断装置中的中间构件的立体图。图4是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断装置中的下部构件的分解后的样子的分解立体图。图5是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断方法的第一阶段的图。图6是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断方法的第二阶段的图。图7是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断方法的第三阶段的图。图8是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断方法的第四阶段的图。图9是表示本专利技术的一实施例的脆性材料基板的截断方法的第五阶段的图。附图标记说明：100上部构件；110固定台；111、112、113、121、122上部板；120移动台；130下部组件；200中间构件；210导轨；220杆型托架；221第一驱动部；230长边方向移动部；240U字型托架；250T字型托架；251移动构件；300下部构件；310支承板；320升降部；321第二驱动部；322多个倾斜板；323倾斜导轨；324倾斜导轨移动构件；400脆性材料基板；500截断部；1000脆性材料基板的截断装置。具体实施方式本专利技术能够进行多样的变换，能够具有各种实施例，在附图中例示特定实施例，利用详细的说明来详细地进行说明。但是，这并非用于将本专利技术限定为特定的实施方式，应当理解的是，本专利技术包括在本专利技术的思想以及技术范围内的所有变换、等同物或者代替物。第一、第二等用语能够被用于对多样的构成要素进行说明，所述构成要素并不被所述用语所限定。所述用语仅用于将一个构成要素与其他的构成要素区别开来。在本说明书中使用的用语，单纯用于对特定的实施例进行说明而使用，其并没有想要限定本专利技术的意图。单数的表达只要不是在前后文的关系上明显的具有不同意味，就也包括复数的表达。在本说明书，“包括”或者“具有”等用语用于指定存本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脆性材料基板的截断装置，其中，所述脆性材料基板的截断装置包括：上部构件(100)，其具有多个固定台(110)和位于所述固定台(110)之间且能够移动的移动台(120)；下部构件(300)，其具有支承板(310)和与所述支承板(310)的下部结合的升降部(320)；以及中间构件(200)，其具有在所述支承板(310)的上部沿长边方向移动的长边方向移动部(230)。

【技术特征摘要】
2017.08.29 KR 10-2017-01094781.一种脆性材料基板的截断装置，其中，所述脆性材料基板的截断装置包括：上部构件(100)，其具有多个固定台(110)和位于所述固定台(110)之间且能够移动的移动台(120)；下部构件(300)，其具有支承板(310)和与所述支承板(310)的下部结合的升降部(320)；以及中间构件(200)，其具有在所述支承板(310)的上部沿长边方向移动的长边方向移动部(230)。2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的截断装置，其中，所述长边方向移动部(230)还包括：导轨(210)，其被多个支承台(211)支承，该多个支承台(211)在所述支承板(310)的两侧沿着长边方向设置；移动构件(251)，其沿着所述导轨(210)移动；T字型托架(250)，其与所述移动构件(251)连结；第一驱动部(221)，其在所述下部构件(300)的中心部位沿着长边方向设置，并驱动所述移动构件(251)；以及U字型托架(240)，其经由两端向相互相反方向弯曲的杆型托架(220)而与所述第一驱动部(221)的一侧上部连结，所述移动台(120)的下部分别与所述T字型托架(250)的上表面以及所述U字型托架(240)的上表面连结。3.根据权利要求2所述的脆性材料基板的截断装置，其中，所述两端向相互相反方向弯曲的杆型托架(220)由所述第一驱动部(221)驱动。4.根据权利要求1所述的脆性材料基板的截断装置，其中，所述固定台(110)和所述移动台(120)还包括喷出或者吸附空气的多个贯通孔。5.根据权利要求1所述的脆性材料基板的截断装置，其中，所述固定台(110)和所述移动台(120)包括陶瓷材料质的上部板(111、112、113、121、122)和石材质的下部组件(130)。6.根据权利要求1所述的脆性材料基板的截断装置，其中，所述升降部(320)还包括：多个倾斜板(322...

【专利技术属性】
技术研发人员：金荣男，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP