下载脆性材料基板的截断装置及其截断方法的技术资料

文档序号:20507314

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本发明提供一种脆性材料基板的截断装置以及其截断方法,在进行脆性材料基板的截断工序之前,使用能够吸附和气浮的固定台和能够吸附和气浮的移动台来搬运脆性材料基板,从而能够防止脆性材料基板的表面不良或者完全截断。本发明的脆性材料基板的截断装置包括:...
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