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脆性材料基板的截断装置及其截断方法制造方法及图纸
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文档序号:20507314
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本发明提供一种脆性材料基板的截断装置以及其截断方法,在进行脆性材料基板的截断工序之前,使用能够吸附和气浮的固定台和能够吸附和气浮的移动台来搬运脆性材料基板,从而能够防止脆性材料基板的表面不良或者完全截断。本发明的脆性材料基板的截断装置包括:...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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