The utility model provides a crucible rack assembly, which comprises a plane chassis, several crucible racks vertically fixed on the chassis, a handle vertically fixed on the center of the chassis, the handle and the crucible rack are fixed on the same side of the chassis, the top height of the handle is higher than the top height of the crucible rack, and each crucible rack includes a support handle, a first ring rack and a handle. The first ring rack and the second ring rack are horizontally fixed on one side of the support handle. The inner ring radius of the first ring rack is larger than the inner ring radius of the second ring rack. The first ring rack is above the second ring rack. The crucible can be placed on the crucible rack from above. The transition part is fixed on the first ring rack, and the mouth is fixed on the second ring rack. The crucible rack assembly of the utility model, combined with a manipulator, can realize the mechanical automatic movement of the crucible rack. When the crucible needs to be placed, the crucible rack assembly can stably place multiple crucibles.
【技术实现步骤摘要】
坩埚架总成
本技术涉及半导体材料制备领域,尤其涉及用于放置坩埚的一种坩埚架总成。
技术介绍
在半导体材料制备领域,需要用到坩埚,且坩埚通常包括一直筒部以及自直筒部向下收窄延伸的嘴部,这样结构的坩埚容易倾倒,且处理过程中坩埚不能用手触碰,坩埚还需要便于移动,现有的坩埚架或坩埚架总成都未能解决上述这些技术问题。因此,有必要设计一种新的坩埚架总成以解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述技术问题,提出一种坩埚放置稳固、便于机械手移动坩埚的坩埚架总成。为实现前述目的,本技术采用如下技术方案:一种坩埚架总成,用于放置坩埚,所述坩埚包括自上向下延伸的一直筒部、一过渡部以及一嘴部,所述直筒部的截面半径大于过渡部的截面半径,所述过渡部逐渐收窄,所述坩埚架总成包括一平面底盘、垂直固定于底盘上的若干坩埚架、垂直固定于底盘中心的一提手,所述提手和坩埚架固定于底盘的同一面,所述提手的顶端高度高于坩埚架的顶端高度,每一坩埚架包括一支撑柄、一第一环架、一第二环架,所述第一环架、第二环架均水平固定于支撑柄的一侧,所述第一环架的内环半径大于第二环架的内环半径,所述第一环架位于第二环架的上方,坩埚能够自上方放置于坩埚架上,所述过渡部固定于第一环架上,同时嘴部固定于第二环架上。作为本技术的进一步改进,所述坩埚架围绕底盘中心均匀分布。作为本技术的进一步改进,坩埚固定在坩埚架上时,所述提手的顶端高度高于坩埚的顶端高度。作为本技术的进一步改进,所述底盘上开设有若干异型孔,所述异型孔均匀分布在底盘上。作为本技术的进一步改进,所述支撑柄包括一曲部和自曲部向下延伸的一直部,所述直部垂直于底盘固 ...
【技术保护点】
1.一种坩埚架总成,用于放置坩埚,所述坩埚包括自上向下延伸的一直筒部、一过渡部以及一嘴部,所述直筒部的截面半径大于过渡部的截面半径,所述过渡部逐渐收窄,其特征在于:所述坩埚架总成包括一平面底盘、垂直固定于底盘上的若干坩埚架、垂直固定于底盘中心的一提手,所述提手和坩埚架固定于底盘的同一面,所述提手的顶端高度高于坩埚架的顶端高度,每一坩埚架包括一支撑柄、一第一环架、一第二环架,所述第一环架、第二环架均水平固定于支撑柄的一侧,所述第一环架的内环半径大于第二环架的内环半径,所述第一环架位于第二环架的上方,坩埚能够自上方放置于坩埚架上,所述过渡部固定于第一环架上,同时嘴部固定于第二环架上。
【技术特征摘要】
1.一种坩埚架总成,用于放置坩埚,所述坩埚包括自上向下延伸的一直筒部、一过渡部以及一嘴部,所述直筒部的截面半径大于过渡部的截面半径,所述过渡部逐渐收窄,其特征在于:所述坩埚架总成包括一平面底盘、垂直固定于底盘上的若干坩埚架、垂直固定于底盘中心的一提手,所述提手和坩埚架固定于底盘的同一面,所述提手的顶端高度高于坩埚架的顶端高度,每一坩埚架包括一支撑柄、一第一环架、一第二环架,所述第一环架、第二环架均水平固定于支撑柄的一侧,所述第一环架的内环半径大于第二环架的内环半径,所述第一环架位于第二环架的上方,坩埚能够自上方放置于坩埚架上,所述过渡部固定于第一环架...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗爱斌,周铁军,宾启雄,陈章水,易明辉,李勇,吴远高,刘留,
申请(专利权)人:广东长信精密设备有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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