一种显示面板及其制作方法技术

本发明专利技术提供一种显示面板及其制作方法，该制作方法包括：在栅极上制作第一金属层；所述第一金属层包括第一部分和第一金属走线，所述第一部分与所述栅极的位置对应；在所述第一金属层上制作隔离层，对所述隔离层进行图案化处理，以在显示区域的所述隔离层上形成两个第一过孔、第二过孔以及在弯折区域的隔离层上形成第三过孔；在所述第一过孔内、第二过孔内以及所述隔离层上形成第二金属层，对所述第二金属层进行图案化处理，以使位于显示区域的所述第二金属层分别形成第二金属走线、源极以及漏极。本发明专利技术的显示面板及其制作方法，能够提高生产效率，降低生产成本。

A Display Panel and Its Making Method

The invention provides a display panel and a manufacturing method thereof. The manufacturing method includes: making a first metal layer on a gate; the first metal layer includes a first part and a first metal wiring, the first part corresponds to the position of the gate; making an isolation layer on the first metal layer and patterning the isolation layer to isolate the display area. Two first and second pass holes are formed on the layer and a third pass hole is formed on the isolation layer of the bending area; a second metal layer is formed in the first pass hole, the second pass hole and the isolation layer, and the second metal layer is patterned so that the second metal layer located in the display area can form a second metal line, a source and a drain pole, respectively. The display panel and its manufacturing method of the invention can improve production efficiency and reduce production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制作方法
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种显示面板及其制作方法。
技术介绍
为了实现小尺寸窄边框的显示面板，实现屏幕更大的屏占比，通常是减小面板边缘区域的尺寸，目前采用焊盘弯曲(padbending)技术，将屏幕的一部分金属走线、驱动芯片及柔性电路板弯折到屏幕的背面进行焊接，以减小下边缘区域的尺寸。当边缘区域进一步减小时，伴随着VSS，VDD走线区域变窄，导致压降(IRdrop)会随之增大以及面板均匀性变差。因此为了克服此现象，目前采用双层网状的SD结构也即设置两层SD1和SD2，且SD1和SD2通过过孔连接，这种设计可有效降低压降，改善面板均匀性，但是由于这种结构中的SD2的膜厚、成分均与SD1的膜厚、成分一致，因此需要在SD1与SD2之间增加多层绝缘层，从而增加了光罩的数量，增加了光罩成本，从而增加了生产成本，且降低了生产效率。因此，有必要提供一种显示面板及其制作方法，以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种显示面板及其制作方法，能够提高生产效率，降低生产成本。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种显示面板的制作方法，其包括：在柔性衬底上制作栅极；在所述栅极上制作第一金属层，对所述第一金属层进行图案化处理，以使位于显示区域的第一金属层形成第一部分和第一金属走线，所述第一部分与所述栅极的位置对应；在所述第一金属层上制作隔离层，对所述隔离层进行图案化处理，以在所述显示区域的隔离层上形成两个第一过孔、第二过孔以及在弯折区域的隔离层上形成第三过孔；在所述第一过孔内、第二过孔内以及所述隔离层上形成第二金属层，对所述第二金属层进行图案化处理，以使位于所述显示区域的第二金属层分别形成第二金属走线、源极以及漏极，所述第一金属走线通过所述第二过孔与所述第二金属走线连接，其中所述显示面板包括所述显示区域和所述弯折区域。在本专利技术的显示面板的制作方法中，所述隔离层包括依次位于所述第一金属层上的钝化层、第一平坦层、第一绝缘层，所述对所述隔离层进行图案化处理，以在所述显示区域的隔离层上形成第二过孔步骤包括：对所述钝化层进行图案化处理以及依次对所述第一平坦层以及所述第一绝缘层进行图案化处理，以形成第二过孔。在本专利技术的显示面板的制作方法中，所述显示面板包括位于所述柔性衬底和所述栅极之间的半导体层，所述半导体层用于形成沟道，所述对所述隔离层进行图案化处理，以在显示区域的所述隔离层上形成两个第一过孔的步骤包括：当依次对所述第一平坦层、所述第一绝缘层进行图案化处理时，形成第一过孔的第一梯度，其中所述第一过孔的第一梯度从所述第一绝缘层延伸到所述第一平坦层；对所述第一过孔的第一梯度所在的区域进行蚀刻，以形成第一过孔的第二梯度，其中所述第一过孔的第二梯度从所述钝化层延伸到所述沟道的上方。在本专利技术的显示面板的制作方法中，所述显示面板的制作方法包括位于所述柔性衬底和所述半导体层之间的屏障层，所述对所述隔离层进行图案化处理，以在弯折区域的隔离层上形成第三过孔的步骤包括：当依次对所述第一平坦层、所述第一绝缘层进行图案化处理时，形成第三过孔的第一梯度；其中所述第三过孔的第一梯度从所述第一绝缘层延伸到所述第一平坦层；对所述第三过孔的第一梯度所在的区域进行刻蚀，以形成第三过孔的第二梯度，其中所述第三过孔的第二梯度从所述钝化层延伸到所述屏障层。在本专利技术的显示面板的制作方法中，所述在弯折区域的隔离层上形成第三过孔的步骤之后，以及在所述第一过孔内、第二过孔内以及所述隔离层上形成第二金属层的步骤之前，所述方法还包括：在所述第三过孔内填充有机材料。在本专利技术的显示面板的制作方法中，所述方法还包括：当对所述第二金属层进行图案化处理时，以使位于所述弯折区域的第二金属层形成多条间隔设置的第三金属走线，所述第三金属走线位于所述有机材料上。在本专利技术的显示面板的制作方法中，所述第一绝缘层的厚度小于预设厚度。在本专利技术的显示面板的制作方法中，所述第一金属层和所述第二金属层的截面结构都为Ti/Al/Ti，所述栅极的材料为Mo。本专利技术还提供一种显示面板，其包括：柔性衬底；设置在所述柔性衬底上的栅极；设置在所述栅极上的第一金属层；所述第一金属层包括第一部分和第一金属走线，所述第一部分与所述栅极的位置对应；设置在所述第一金属层上的隔离层；位于显示区域的所述隔离层上设置有两个第一过孔、第二过孔；位于弯折区域的隔离层上设置有第三过孔；设置在所述第一过孔内、第二过孔内以及所述隔离层上的第二金属层，所述第二金属层包括位于所述显示区域的第二金属走线、源极以及漏极，所述第一金属走线通过所述第二过孔与所述第二金属走线连接，其中所述显示面板包括所述显示区域和所述弯折区域。在本专利技术的显示面板中，所述第三过孔内填充有有机材料。本专利技术的显示面板及其制作方法，通过第二金属层替代现有技术中的金属部，在省去金属部的同时，减少了光罩数量，提高了生产效率且降低了生产成本。【附图说明】图1为现有显示面板的结构示意图；图2为本专利技术显示面板的制作方法的第一步的结构示意图。图3为本专利技术显示面板的制作方法的第二步中第一分步的结构示意图。图4为本专利技术显示面板的制作方法的第二步中第二分步的结构示意图。图5为本专利技术显示面板的制作方法的第二步中第三分步的结构示意图。图6为本专利技术显示面板的制作方法的第二步中第四分步的结构示意图。图7为本专利技术显示面板的制作方法的第二步中第五分步的结构示意图。图8为本专利技术显示面板的制作方法的第二步中第六分步的结构示意图。图9为本专利技术显示面板的制作方法的第三步的结构示意图。图10为本专利技术显示面板的制作方法的第四步的结构示意图。【具体实施方式】以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。请参照图1，图1为现有显示面板的结构示意图。如图1所示，现有的显示面板包括显示区域101和弯折区域102，其制作方法主要包括如下步骤：S101、在柔性衬底上依次形成缓冲层、半导体层、第一栅极、第一栅极绝缘层、金属部、第二栅极绝缘层；如图1所示，依次在柔性衬底11上形成缓冲层12、半导体层13、第一栅极绝缘层14、第一栅极15、第二栅极绝缘层16、金属部17、层间绝缘层18。其中，通过光罩制程对该半导体层13进行图案化处理形成沟道。具体地，通过一掩膜板对该半导体层13进行曝光显影以形成沟道。其中第一栅极的具体制作过程为：在第一栅极绝缘层14上先形成第一金属层，再通过一掩膜板对该第一金属层进行图案化处理形成第一栅极15。其中金属部的具体制作过程为：在第二栅绝缘层16上形成第二金属层，再通过一掩膜板对该第二金属层进行图案化处理形成金属部17。S102、使用掩膜板对所述层间绝缘层进行图案化处理，以使位于显示区域的所述层间绝缘层形成两个第一过孔和第二过孔；使用一掩膜板对所述层间绝缘层18进行图案化处理形成两个第一过孔201、202以及第二过孔203，其中一个第一过孔201的位置与源极的位置对应；另外一个第一过孔202的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板的制作方法，其包括：在柔性衬底上制作栅极；在所述栅极上制作第一金属层，对所述第一金属层进行图案化处理，以使位于显示区域的第一金属层形成第一部分和第一金属走线，所述第一部分与所述栅极的位置对应；在所述第一金属层上制作隔离层，对所述隔离层进行图案化处理，以在所述显示区域的隔离层上形成两个第一过孔、第二过孔以及在弯折区域的隔离层上形成第三过孔；在所述第一过孔内、第二过孔内以及所述隔离层上形成第二金属层，对所述第二金属层进行图案化处理，以使位于所述显示区域的第二金属层分别形成第二金属走线、源极以及漏极，所述第一金属走线通过所述第二过孔与所述第二金属走线连接，其中所述显示面板包括所述显示区域和所述弯折区域。

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制作方法，其包括：在柔性衬底上制作栅极；在所述栅极上制作第一金属层，对所述第一金属层进行图案化处理，以使位于显示区域的第一金属层形成第一部分和第一金属走线，所述第一部分与所述栅极的位置对应；在所述第一金属层上制作隔离层，对所述隔离层进行图案化处理，以在所述显示区域的隔离层上形成两个第一过孔、第二过孔以及在弯折区域的隔离层上形成第三过孔；在所述第一过孔内、第二过孔内以及所述隔离层上形成第二金属层，对所述第二金属层进行图案化处理，以使位于所述显示区域的第二金属层分别形成第二金属走线、源极以及漏极，所述第一金属走线通过所述第二过孔与所述第二金属走线连接，其中所述显示面板包括所述显示区域和所述弯折区域。2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述隔离层包括依次位于所述第一金属层上的钝化层、第一平坦层、第一绝缘层，所述对所述隔离层进行图案化处理，以在所述显示区域的隔离层上形成第二过孔步骤包括：对所述钝化层进行图案化处理以及依次对所述第一平坦层以及所述第一绝缘层进行图案化处理，以形成第二过孔。3.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述显示面板包括位于所述柔性衬底和所述栅极之间的半导体层，所述半导体层用于形成沟道，所述对所述隔离层进行图案化处理，以在显示区域的所述隔离层上形成两个第一过孔的步骤包括：当依次对所述第一平坦层、所述第一绝缘层进行图案化处理时，形成第一过孔的第一梯度，其中所述第一过孔的第一梯度从所述第一绝缘层延伸到所述第一平坦层；对所述第一过孔的第一梯度所在的区域进行蚀刻，以形成第一过孔的第二梯度，其中所述第一过孔的第二梯度从所述钝化层延伸到所述沟道的上方。4.根据权利要求3所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述显示面板包括位于所述柔性衬底和所述半导体层之间的屏障层，所述对所述隔离层进行图案化处理，以在弯...

【专利技术属性】
技术研发人员：白思航，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42