双射束带电粒子显微镜中的样品制备和检查制造技术

一种在具有离子射束柱和电子射束柱的双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，包括：‑在样本保持器上提供前体样本；‑使用该离子射束在该样本的所选部分周围切出沟槽；‑将操纵器针附接至该部分，使该部分与该样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离样本的剩余部分的抬出，特别地包括：‑将操纵器针配置成具有多个运动自由度，其至少包括：•关于通过该离子轴和电子轴的交点且垂直于该电子轴的倾斜轴的优心倾斜θ；•关于针的纵轴的旋转

Sample preparation and examination in double beam charged particle microscopy

A method for preparing samples in a two-beam charged particle microscope with an ion beam column and an electron beam column includes: (1) providing precursor samples on a sample holder; (2) using the ion beam to cut grooves around the selected part of the sample; (2) attaching a manipulator needle to the part, separating the part from the rest of the sample, and using a needle to perform the sample. The lifting of the part away from the rest of the sample includes, in particular,, configuring the manipulator needle to have multiple degrees of freedom of motion, including at least,

【技术实现步骤摘要】
双射束带电粒子显微镜中的样品制备和检查
本专利技术涉及一种在双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，该双射束带电粒子显微镜具有：-离子射束柱，其可以产生沿着离子轴传播的离子射束；-电子射束柱，其可以产生沿着电子轴传播的电子射束，包括以下步骤：-在样本保持器上提供前体样本；-使用所述离子射束在所述样本的所选部分周围切出沟槽（furrow）；-将操纵器针附接至所述部分，使所述部分与所述样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离样本的剩余部分的抬出（lift-out），本专利技术还涉及一种可以在其中执行此类方法的双射束带电粒子显微镜。如在这里提到的操纵器针有时被称为纳米操纵器。
技术介绍
带电粒子显微术是众所周知的并且对于对微观物体成像（特别地以电子显微术的形式）而言是越来越重要的技术。从历史来看，电子显微镜的基本类别已经经历到许多众所周知的装置种类（诸如透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）、和扫描透射电子显微镜（STEM））的演化，并且还经历到各种子种类（诸如所谓的“双射束”装置（例如FIB-SEM））的演化，该“双射束”装置另外采用“加工的”聚焦离子射束（FIB），从而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，该双射束带电粒子显微镜具有：‑ 离子射束柱，其能够产生沿着离子轴传播的离子射束；‑ 电子射束柱，其能够产生沿着电子轴传播的电子射束，该方法包括以下步骤：‑ 在样本保持器上提供前体样本；‑ 使用所述离子射束在所述样本的所选部分周围切出沟槽；‑ 将操纵器针附接至所述部分，使所述部分与所述样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离样本的剩余部分的抬出，其特征在于：‑ 将操纵器针配置成具有多个运动自由度，其至少包括：• 关于通过所述离子轴和电子轴的交点且垂直于所述电子轴的倾斜轴的优心倾斜θ；• 关于针的纵轴的旋转

【技术特征摘要】
2017.07.20 EP 17182299.21.一种在双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，该双射束带电粒子显微镜具有：-离子射束柱，其能够产生沿着离子轴传播的离子射束；-电子射束柱，其能够产生沿着电子轴传播的电子射束，该方法包括以下步骤：-在样本保持器上提供前体样本；-使用所述离子射束在所述样本的所选部分周围切出沟槽；-将操纵器针附接至所述部分，使所述部分与所述样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离样本的剩余部分的抬出，其特征在于：-将操纵器针配置成具有多个运动自由度，其至少包括：•关于通过所述离子轴和电子轴的交点且垂直于所述电子轴的倾斜轴的优心倾斜θ；•关于针的纵轴的旋转；-在将所述部分维持在所述针上的同时，使用所述离子射束对所述部分的至少一个表面进行加工，以便产生所述样品；-在将所述部分维持在所述针上的同时，针对所述旋转的至少两个不同值，利用所述电子射束来检查它。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述检查步骤包括在所述部分上以所述旋转的值范围执行透射电子断层成像术。3.根据权利要求2所述的方法，其中以对应于基本上垂直于所述电子射束的针取向的倾斜值θ=0来执行所述断层成像术。4.根据权利要求1或2所述的方法，其中：-所述针保持一可拆卸工具，其包括：•平板；•从所述平板延伸的至少一个附属物；-将所述样本...

【专利技术属性】
技术研发人员：F瓦斯克，T韦斯特威尔，D伯撒克，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：美国,US